某半导体制造企业主要生产电子材料、芯片等半导体设备,本项目为某半导体有限公
司10/0.4KV用户变电站项目,该变电站供电系统为单母线供电系统,共设一面高压进
线柜、一面计量柜、一面母线PT柜和四面专变出线柜。
配置方案
在本项目的高压配电进线柜处装设一台电能质量监测装置APView500,同时为了保证
整个配电系统日常安全稳定运行,在每面高压开关柜装设一台AM5系列微机保护装置
和一台ASD200智能操控装置。并将所有监测数据上传到Acrel-2000电力监控系统。
项目需求
电能质量监测装置 — 典型案例1 半导体制造项目
半导体制造行业主要电能质量问题有:
1、谐波问题:IC测试台、PLC控制的机械手、芯片制造用的晶圆机或变频控制的半导
体机台都会产生大量的谐波,它们不但会造成机台设备自身的坏机现象,回流进电网
的谐波电流还会引起其他回路的发热、电子开关误动作、供电电压不稳,甚至引起生
产线停线、半成品的报废。而且高能设备如:外延设备、扩散设备、离子注入设备的
频繁加卸载,更加重了用电环境的恶化。
2、电压暂降及中断:现代化的半导体生产设备对电力品质问题非常敏感,相对于传
统工业来说,半导体、LCD制造对电压暂降非常敏感,持续16ms的幅值为额定值
85%-90%电压暂降即可能导致设备停机。短时中断时负载一般与供电系统基本断开
(幅值低于额定值的10%)。对于半导体行业而言,两者均会造成设备停机。但是电
压暂降发生的几率远高于短时中断会发生的几率。有调查显示:在所有配电系统事故
中,电压暂降引起的事故占了70%-80%;而在输电系统事故中,电压暂降引起的事
故所占的比例超过了90%。
电能质量问题
现场运行