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半导体材料企业 CMP 材料-行业定位/业务方向 国产化进展
吉致电子科技有限
公司
专注于研发化学机械抛光耗材的领域,吉致主要研发两大类产品有“抛
光垫”“抛光液”。 产品广泛应用于金属,光电,半导体,陶瓷,硬
盘面板显示器等需要精密研磨抛认证光的行业,广泛用于平面抛光领域。
上海芯谦集成电路
有限公司
主要从事半导体化学机械抛光耗材的生产与研发,致力于成为国内领先
的CMP耗材生产研发公司,是国内第一批研发并量产8吋和12吋CMP抛
光垫,
有月年产10万片的半导体用抛光垫生产线投产运营
合肥宏光研磨科技
有限公司
是国内光学玻璃及工艺玻璃磨具制造行业新兴的高科技企业,开发有
CMP抛光垫产品。
万桦(常州)新材
料科技有限公司,
是一家具有现代新型管理模式和强大技术实力的聚氨酯(PU)新材料
的绿色环保新型企业,是⼀家集研发、⽣产、检测、营销为⼀体的新型
企业,
万华化学集团电子
材料有限公司
建设有大规模集成电路平坦化关键材料(CMP Pad + slurry)项目:研磨
液和CMP 抛光垫。万华化学具有聚氨酯原料基础和技术储备。
该相关项目投资15.7亿元,达产年,研磨液产量1.5~2万吨
/年,CMP 抛光垫产量60万片/年。
兴硅科技(江苏)
有限公司
有项目总投资45.9亿元建设月产10000张研磨垫及500吨研
磨液项目。
宁波赢伟泰科新材
料有限公司
是一家高新电子材料开发制造企业,专业从事半导体芯片制造用化学机
械抛光工艺耗材的研发及生产,主要产品为化学机械抛光垫和保持环两
大系列。赢伟泰科为江丰电子的关联公司。
半导体材料企业 光刻胶-行业定位/业务方向 国产化进展
南大光电 江苏南大光电材料股份有限公司是一家专业从事高纯电子材料研发、生
产和销售的高新技术企业。先后攻克了国家 863 计划 MO 源全系列产品
产业化、国家“02专项”高纯电子气体(砷烷、磷烷)研发与产业化、
ALD/CVD 前驱体产业化等多个困扰我国数十年的项目,填补了多项国内
空白ArF光刻胶开发和产业化项目”
研发的产品成为国内通过产品验证的第一只国产ArF光刻胶,
。目前公司产品已在下游客户存储芯片50nm和逻辑芯片
55nm技术节点的产品上通过认证。ArF光刻胶目前主要聚
焦28cm-90nm工艺节点的产品验证
晶瑞电材 国内光刻胶先驱,专业从事微电子化学品的产品研发、生产和销售。我
国供应半导体光刻胶出货量最大的本土企业之一。子公司苏州瑞红,是
国内少有的既有规模又有利润的成熟光刻胶企业,销售规模和盈利能力
处于国内领先位置。拥有负型光刻胶系列、宽谱正胶系列、g 线系列、i
线光刻胶系列、KrF 光刻胶系列等数十个型号产品
正在研发ArF光刻胶;i线光刻胶已向知名厂商供货;KrF光
刻胶分辨率达到了0.25~0.13μm的技术要求,已通过客户
测试;KrF光刻胶生产及测试线已经基本建成。
彤程新材 目前已成为全球最大的轮胎橡胶用特种酚醛树脂供应商,战略收购北京
科华、北旭电子,其中,北京科华微电子是中国大陆市占率最高的国产
半导体光刻胶公司,覆盖KrF、I-line、G-l ine、紫外宽谱的光刻胶及配套
试剂,也是国内为数不多可以批量供应KrF光刻胶给本土8寸和12寸晶圆
厂客户的厂商
科华微电子KrF光刻胶率先实现放量,公司率先突破高端
KrF、ArF光刻胶,有望引领国产替代浪潮并充分受益。有
百吨级环化橡胶系紫外负性光刻胶和千吨级负性光刻胶配
套试剂生产线、G/I线正胶生产线(500 吨/年)和正胶配
套试剂生产线(1000 吨/年)、百吨级248nm光刻胶生产
线。
上海新阳 中国集成电路制造与封测关键材料龙头。参与02专项项研发,已成为多
家集成电路制造公司28nm技术节点的基准材料。公司已立项研发集成
电路制造用高分辨率193nmArF光刻胶及配套材料与应用技术,拥有完
整自主可控知识产权的光刻胶产品
积极推进光刻胶ArF、ArF-i研发验证,KrF光刻胶已批量化
生产销售。电镀液及添加剂产品已覆盖90-14nm技术节点,
干法蚀刻后清洗液已经实现14nm以上技术节点全覆盖。
华懋科技 旗下徐州博康承担国家“02专项”中的子课题“ArF光刻胶单体产品的
开发与产业化”、国内公司产品线涵盖193nm/248nm光刻胶单体、
193nm/248nm光刻胶、G线/I线光刻胶、电子束光刻胶等产品。少有能
实现光刻胶单体、树脂、溶剂、成品胶全产业链生产的龙头企业
目前有60多款IC光刻胶处于研发改进阶段,品类覆盖i线、
KrF、ArF干法、Arf湿法光刻胶,其中部分产品量产
飞凯材料 致力于为高科技制造提供优质材料,并努力实现新材料的自主可控。公
司光刻胶产品目前主要有显示面板光刻胶和半导体光刻胶,已开发出适
用于8吋/12吋晶圆制造的Iline光刻胶
公司KrF光刻胶已有一定的技术储备,正在开发过程中
半导体材料企业 光刻胶-行业定位/业务方向 国产化进展
广信材料 公司致力于开发生产高品位、高科技含量的感光新材料。有合资公司扬
明微电优化配置感光材料领域尤其是平板显示及集成电路光刻胶领域的
核心技术等资源
江化微 江化微作为我国国内领先的,以光刻胶及光刻胶配套试剂等湿电子化学
品为主要产品生产企业,公司生产的产品是国内为数不多的能够适用于
平板显示、半导体及LED、光伏太阳能等多领域的企业之一。
容大感光 公司主要产品为PCB光刻胶、平板显示及半导体光刻胶,主要应用领域
为电子电路、平板显示、及半导体等
雅克科技 公司目前光刻胶及配套试剂业务包括彩色光刻胶业务和TFT-PR光刻胶业
务。光刻胶产品主要为面板用光刻胶。其相关技术来源于全资控股的韩
国UPChemical公司。彩色光刻胶技术来源于LG化学下属的彩色光刻胶事
业部(2020年7月份收购)。TFT光刻胶及光刻胶辅助材料、BM树脂等
技术来源于韩国COTEM(202 0年9月份收购)
普利特 主要从事高分子新材料产品及其复合材料的研发、生产、销售和服务。
目前完成了将近十种i线半导体光刻胶的研发,显示用TFT光刻胶已经研
发,各种感光性PSPI光刻胶正在研发中
万润股份 公司光刻胶材料产品主要为半导体制造领域用光刻胶单体和光刻胶树脂
产品,相关产品已经实现供应,生产技术覆盖大部分主要产品。
亚威股份 完成了对韩国WIMAS100%股权的收购。韩国WIMAS主要从事半导体高
端光刻胶的核心主材料的研发、生产和销售,后期计划通过威迈芯材实
现相关技术的国产化落地和延伸拓展
强力新材 成为国内少数从事光刻胶专用电子化学品的研发、生产和销售的企业之
一。目前强力新材已在PCB光刻胶专用电子化学品的细分市场取得了较
高的市场份额