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透明、镜面专用传感头
LK-H008
型号 LK-H008
设置模式 镜面反射
参考距离 8 mm
测量范围*1 ±0.5 mm
光源
红色半导体激光
波长 650 nm
激光分类 1 类
输出 0.3 mW
光点直径(在参考距离时) ø20 μm(LK-H008)
20 μm x 550 μm(LK-H008W)
直线性*2 ±0.05% of F.S.(F.S. = 1.0 mm)
重复精度*3 0.005 μm (0.001 μm)
取样频率 2.55/5/10/20/50/100/200/500/1000 μs(9 级可变)
温度特性 0.02% of F.S./°C(F.S. = 1.0 mm)
耐环境性
外壳防护等级 IP67
环境亮度 白炽灯、荧光灯:10000 lux 以下
环境温度*4 0 至 +50°C
环境湿度 35 至 85% RH(无凝结)
耐振动 10 至 55 Hz 双倍振幅 1.5 mm X、Y、Z 各方向 2 小时
材料 铝合金压铸
重量(含电缆) 约 240 g
*1 测量范围为取样频率 20 μs 以上时。
*2 在标准模式下测量本公司标准目标物(金属镜面工件)时的值。
*3 在参考距离下测量本公司标准目标物(金属镜面工件)时,取 16384 次平均值,即为该值。
( )内是以平均次数 65536、取样频率 200 μs 进行测量时的代表例。
*4 环境温度为 40°C 以上时,需安装在金属板上使用。
初学者专用入门指南【基础篇】什么是位移传感器? 7
■ 激光位移传感器(LK-H008)的规格
超高速、超高精度激光位移传感器
LK-G5000 系列
台阶 使用 2D 传感器测量台阶
台阶 通过移动工件或传感器测量台阶
7
高度/台阶/平面度测量
测量方法 对特定点上两个级别(台阶)之间的距离的测量基于获得的目标轮廓。
如果工件是倾斜的,待测量的实际高度会发生变化,这会导致测量错误。倾斜校正功能可检测
并自动校正工件的倾斜,从而稳定测量目标台阶。
要 点 使用倾斜校正功能稳定测量
选 择 要 点 以下是各系列的优点,供您选择时参考。
测量电路板上 IC 的高度 测量 BGA 高度
应用
再现性 适用范围 精细测量
LT-9000·系列
LT-9000·系列
LJ·系列
LJ·系列
LJ·系列
LJ-G·系列
低 窄 小
高 宽 大
测量方法 没有工件时在参照点的测量值称为 \"X\"。工件或传感器移动时
的测量值称为 \"Y\"。工件的台阶通过计算 X-Y 得出。
高度 L = X-Y
线性度
激光位移传感器可测量位移量,但实际测量值与理想线条存在轻微偏差。线性度就是与理想线条的偏差度。
[案例] 假设线性度为 F.S. 的 ±0.1%(F.S. = 测量范围),而测量范围为 ±5 mm,
则激光位移传感器的线性度为 ±10 μm。
线性度:±0.1% x 10 mm = ±10 μm
这意味着线性度更高的测量仪器更能确保测量的高精确度。
* 该结构中移动工件或传感器头的机械精度会影响测量误差。
要 点 测量精度依赖于线性度。
线性度
实际测量值
理想线条
实
际
测
量
值
距离
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定可找到理想产品的测量仪综合
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为您准备了简明解说资料,无论是初学
者还是熟练操作者,均可掌握选择测
量仪所必备的技术信息。敬请使用。
为您介绍厚度测量、高度测量、振动测
量、形状测量等各用途中最适用的测
量仪,并为您准备了简明解说技术资
料,可让您掌握各测量仪的原理和优点
等。
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初学者专用入门指南【基础篇】什么是位移传感器? 3
位移传感器有以下 7 种代表类型。
其各自的优点如下表所示。
项目 激光
位移传感器
2D 激光
位移传感器
透过型 外径 /
尺寸测量仪
图像尺寸
测量仪
涡电流式
位移传感器
超声波式
位移传感器
接触式
位移传感器
检测
目标物
材料 所有物体 所有物体 所有物体 所有物体 金属 所有物体 固体
测量点 小
(最小 ø2 μm) 小 小 小
普通
(传感头外径的
2 倍)
大
(最小 ø15 μm) 小
表面状态
产生的影响 几乎没有 几乎没有 几乎没有 几乎没有 无 无 无法测量柔软物品
测量范围 0.2 至 3500 mm 0 至 290 mm 10 μm 至 120 mm 0.02 至 200 mm 0 至 10 mm 24 至 920 mm 0.8 至 30 mm
重复精度 最小 0.005 μm 最小 0.2 μm 最小 0.03 μm 最小 0.1 μm 最小 0.3 μm 最小 0.1 mm 最小 0.1 μm
响应频率 最大约 392 KHz 最大约 64 KHz 最大约 16 KHz — 最大约 18 KHz 最大约 7 KHz 最大约 40 KHz
耐环境性
(水、油、灰尘等) △ △ △ △ ◎ ○ ○
特征
优点
可测量所有物体
测量点较小
高精度
响应频率快
可测量所有物体
可测量高度差、
形状
稳定度较高
可测量所有物体
稳定度较高
高精度
操作简单
也可进行复杂的
尺寸测量
可测量多个位置
耐环境性强
高精度
响应频率快
可测量所有物体
测量范围广
高精度
缺点
耐环境性弱 耐环境性弱 仅限被投影物体 仅限被投影物体
工件大小受限
仅可测量金属
测量范围较小
测量点较大
精度低
响应频率较慢
无法测量柔软物体
响应频率较慢
激光式位移传感器在测量目标物、测量精度、响应频率等多个项目中均占有优势。
◎:非常好、○:好、△:一般
测量仪有哪些种类?
测量原理
柱面物镜 半导体激光
GP64-处理器
HSE3 2D Ernostar 物镜 -CMOS
3
高度/台阶/平面度测量
高精度测量法使用共焦原理
激光束穿过依靠音叉快速上下振动的物镜聚集在目标表面。从目标表面反射的光束汇集在小孔处,随后进入感光元件。传感器通过测
量物镜在感光时的确切位置精确测出与目标表面的距离,不会受到目标材质、颜色或角度的影响。
LT-9000 系列测量原理(共焦型) 清晰的目标厚度 高精度
接收光亮度较低。 接收光亮度较高。
半导体激光 半导体激光
感光元件
小孔 小孔
传感器 传感器
音叉 音叉
感光元件
一小部分接收光穿过小孔。 所有接收光都穿过小孔。
焦点不在目标表面上 焦点在目标表面上
Ernostar
镜头
如上图所示,半导体激光向目标发出光束。Ernostar 镜头聚集目标反射的光线并在感光元件上形成图像。光点在感光元件上的位置根据
目标的距离而变化。系统对该变化进行估算并转换为目标位置的测量结果。
LK-G 系列测量原理(三角测量型)
LJ 系列测量原理(2D 三角测量型)
参考距离 短距离 长距离
高速度 大范围 连接 12 个传感头
2D 3D 多点 高速度
发射器镜头 发射器镜头 发射器镜头
半导体激光 半导体激光 半导体激光
Ernostar
镜头 Ernostar
镜头
感光元件 感光元件 感光元件
感光元件 感光元件 感光元件
2D 三角测量型
柱面物镜将激光光束扩大为条状,随后激光在目标物上产生
漫射。反射光在 HSE3-CMOS 上成像,通过检测位置、形状
的变化来测量位移和形状。
初学者专用入门指南 【基础篇】什么是位移传感器?
目录
□ 位移传感器可以做些什么?
□ 测量仪有哪些种类?
□ 非接触式测量的优点有哪些?
□ 选择位移传感器的关键是什么?
□ 位移传感器有哪些用途?
□ 请告知具体的位移传感器选择实例。
激光位移传感器
全新
索 引
❚ 产品选择指南······················· 第 2 页
❚ 测量原理····························· 第 3 页到第 4 页
❚ 高度与平面度测量················· 第 5 页
❚ 通过透过型测量仪测量高度···· 第 5 页
❚ 使用多个传感器测量台阶······· 第 6 页
❚ 使用 2D 传感器测量台阶······· 第 7 页
❚ 通过移动工件或传感器测量台阶
··········································· 第 7 页
测量应用
指南 高度/台阶/
平面度测量