www.cleanrooms-china.com

超导腔制程和洁净室设施升级 9

洁净车间异物管理

平衡无菌屏障包装和灭菌要求

17

12

2023年 9月

2 洁净室 CleanRooms China 2023年 9月刊

关于雅时国际商讯 (ACT International)

雅时国际商讯（ACT International）成立于 1998 年，为高速增长的中国市场中广大高技术行业服务。ACT 通过它的一系列产品－包括杂志和网上出版物、培训、会议和活动－为跨国公司及中国企业架设了拓展中国市场的桥梁。

ACT 的产品包括多种技术杂志和相关的网站，以及各种技术会议，服务于机器视觉设计、电子制造、激光 / 光电子、射频 / 微波、化合物半导体、洁净及污染控制、电磁兼容等领域的约十多万专业读者。ACT 亦是若干世界

领先技术出版社及展会的销售代表。ACT 总部在香港，在北京、上海、深圳和武汉设有联络处。 www.actintl.com.hk

About ACT International Media Group

ACT International, established 1998, serves a wide range of high technology sectors in the high-growth China market. Through its range of products -- including magazines and online publishing, training, conferences and events -- ACT

delivers proven access to the China market for international marketing companies and local enterprises. ACT's portfolio includes multiple technical magazine titles and related websites plus a range of conferences serving more than 100,000

professional readers in fields of electronic manufacturing, vision system design, laser/photonics, RF/microwave, cleanroom and contamination control, compound semiconductor, and Electromagnetic Compatibility. ACT International is also

the sales representative for a number of world leading technical publishers and event organizers. ACT is headquartered in Hong Kong and operates liaison offices in Beijing, Shanghai,Shenzhen and Wuhan.

www.actintl.com.hk

《洁净室》杂志

《洁净室》ACT International 旗下的专业季度出版印刷杂志，面向 8,000 名中国读者定期发行，同时亦运营网站，发行电子快讯及电子书等等，服务于超过 27,000 的业界人士。《洁净室》为中国使用污染控制技术的工程师和

高级管理人员提供先进的污染控制技术和应用、设备、材料、技术标准、发展趋势和全球市场的最新信息。本刊的内容是针对中国读者的需要而编辑的，同时保持 ACT International 品牌的编辑风格。《洁净室》杂志是科研、

设计、施工、维护、应用各方与生产厂商、代理商、经销商等产业链间的沟通交流、提供需合作的最佳平台。

CleanRooms China Magazine

CleanRooms China provides builders and operators of cleanrooms as well as contamination-control specialists with in-depth information about advanced, contamination-control technologies and news from around the world. Over 27,000 engineers,

purchasers, and senior managers look to CleanRooms China's print magazine, website, e-newsletters, and conferences for must-know information. CleanRooms China provides a vibrant platform for ommunication and cooperation within the entire

industry chain—from cientific research, to design, to construction, to maintenance. CleanRooms China magazine—the portal's foundation stone—is a quarterly publication, serving over 8,000 engineers and senior executives in China.

目 录

封面专题 Cover Story

9 超导腔制程和洁净室设施升级

Table of Contents

2023 年 9 月刊

Sep, 2023

28 广告索引 AD Index

特写 Special Report

20 实验室自动化的发展历程

3 SEMICON China 展后报告

4 打造洁净行业深圳标准 树立洁净行业湾区标杆

—— 2023 首届“生物洁净技术标准化工作领航发展”学术会议暨 2023 第二届“生

物与工业洁净行业标准宣贯培训”会议在深圳举办

5 聚势共赢，同心致远

5 2023 亚太洁净展已圆满落幕，2024 年 8 月广州再会！

6 137 场专题论坛，13 万平米展览，6 万余人参会、参观，CHCC2023 盛况空前

7 台积电斥 900 亿新台币建先进封装厂

7 粤芯半导体三期厂房封顶

风向 Wind Direction

22 应用材料公司发布最新可持续发展报告

22 拜耳细胞疗法治疗帕金森病 ：首个 I 期临床试验取得积极结果

24 中电二公司承建的浙江果纳 EPC 项目 FAB 厂房主体结构顺利封顶

25 中电三公司与上海强华实业股份有限公司顺利签订施工总承包合同

25 中电四承建芯视佳 12 英寸硅基 OLED 产业园开工建设

26 艾比森推进 MicroLED 的未来发展

企业微时间 Enterprise Micro Time

技术前沿 Tech Frontier

11 平衡无菌屏障包装和灭菌要求

13 提高能效

17 洁净车间异物管理，与时俱进！—— 专访与探讨

新品橱窗 Products Showcase

27 锂电池洁净室

17

20

27

11

Wind Direction 风向

洁净室 CleanRooms China 2023年 9月刊 3

社长 Publisher

麦协林 Adonis Mak

adonism@actintl.com.hk

副总经理 Deputy General Manager

秦泽峰 Floyd Chun

floydC@actintl.com.hk

管理编辑 Managing Editor

张彦雯 Yeva Zhang

yevaz@actintl.com.hk

销售总监 Sales Director

姚丽莹 Hatter Yao

hattery@actintl.com.hk

品牌 / 产品经理 Product Manager

彭珊 Sophie Peng

sophiep@actintl.com.hk

发行 Circulation

谭良辉 Ivy Tan

ivyt@actintl.com.hk

广告服务 AD Service

杨柳 Genevieve Yang

genevievey@actintl.com.hk

财务总监 Financial Director

黃文豪 Howard Wong

howardw@actintl.com.hk

办公室 Offices

中国 / 香港特别行政区 China/Hong Kong SAR

出版社 Publisher

雅时国际商讯 ACT International

香港九龙 Unit B, 13/F, Por Yen Building,

长沙湾青山道 478 号 No.478 Castle Peak Road,

百欣大厦 Cheung Sha Wan,

13 楼 B 室 Kowloon, Hong Kong

电话 (852) 2838 6298

传真 (852) 2838 2766

深圳 Shenzhen

电话 86 755 25988571

传真 86 755 25988567

上海 Shanghai

电话 86 21 62511200

传真 86 21 52410030

北京 Beijing

电话 / 传真 86 10 84844007

《洁净室》专家委员会

涂光备、徐文华、林忠平、秦学礼、

杨子强、钟柯、李峥嵘、吴雪红、

杨一心、张霭珺、张彦国、梁磊、

张训彪、徐义强、丁满生、严建敏、

徐火炬、赵斌、陈尹

ISSN 1817-6925

© 2023 版权所有 翻印必究

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Wind Direction

SEMICON China 展后报告

SEMICON China 和 FPD China 2023——全球规模最大、规格最高、最具

影响力的国际半导体产业链平台，在本届为期一周的盛会里，全球半导体产

业精英汇聚上海，在近 90,000 平方米的 SEMICON/FPD China 展馆里，来自

19 个国家和地区的 1,100 多家展商在 4,200 多个展位上，与来自 50 多个国家

和地区的专业观众进行了面对面的交流和商业洽谈，本届参加的观众及展商

达 130,000 人次。中国的主要芯片制造商、全球龙头封测，设备、材料企业供

应商，投资机构一起参与了这次产业盛宴。同时，多位政府嘉宾也莅临了此

次盛会。4,100 多名专业观众参加了 20 多场产业论坛。

SEMICON China 2023 包括了五大主题展区 ：IC 制造专区、化合物半导

体专区、芯车会专区、Micro-LED 专区和 SEMI 中国英才计划专区。是覆盖芯

片设计、制造、封测、设备、材料、光伏、显示等全产业链携手合作，全球

规模最大、最具影响力的半导体专业展。半导体产业的持续健康发展，人才

是关键因素。目前人才缺口问题已是全球性的挑战，正是基于此，“SEMI 中

国英才计划”与企业密切合作，协助半导体产业引才、育才并留才。其中首

次设立的芯车会专区，吸引聚集完整的汽车半导体供应生态。

汇集全球行业领袖的 SEMICON /FPD China 2023 开幕主题演讲嘉宾，国内

Foundry、存储及设计领域三大顶级玩家悉数到场，与国际领先业者同场对话。

在“SIIP China ：SEMI 产业创新投资”、“汽车芯片”“智能制造”、“先进

封装”、“功率及化合物”、“硅基显示”等主题论坛覆盖半导体产业链、智能制造、

车用半导体、功率及化合物半导体、创新投资等领域。中国国际半导体技术

大会（CSTIC）更是结合产学研的中国最具影响力的国际微电子技术论坛。今

年还首次举办“SCC 碳中和与可持续发展高峰论坛”。

“半导体智能制造 - 未来工厂”论坛上，行业技术专家分享了半导体智能

制造趋势和技术创新，从智能化到人机融合的智造之路。未来工厂将在 4.0 上

升级，合理统筹“人”、“信息系统”、“物理系统”三者之间的关系。“功率及

化合物半导体产业国际论坛”和“功率及化合物半导体汽车应用发展高峰论坛”

邀请全球产业链代表领袖和专家，从产业链各个角度探讨功率及化合物半导

体的全产业链及其在汽车应用方面的行业现状及发展趋势。“中国元宇宙显示

大会 - 硅基显示”论坛上，TCL 华星、豪威、湖畔、君万微、诺视等产业领袖

齐聚中国元宇宙显示大会，分享元宇宙半导体显示生态、硅基半导体显示设备、

材料突破及技术路线，探讨显示增量应用市场前景，探寻产业新动向。

中国是全球最大的芯片消费市场，中国连续三年成为全球最大的半导体

设备市场。搭建产业链平台、为中国半导体创造产业商机、促进国际合作是

SEMICON China 的初心所在，也是 SEMICON China 连续 12 年成为全球规模

最大、最具影响力的半导体专业展的原因。

中国是全球最大的电子产品及集成电路市场，中国需要世界，世界也需

要中国。SEMI 是国际的 SEMI，SEMI 更是中国的 SEMI。

（SEMI）

风向 Wind Direction

4 洁净室 CleanRooms China 2023年 9月刊

打造洁净行业深圳标准 树立洁净行业湾区标杆

—— 2023 首届“生物洁净技术标准化工作领航发展”学术会议

暨 2023 第二届“生物与工业洁净行业标准宣贯培训”会议在深圳举办

在深圳市市场监督管理局指导下，由深圳市生物与工

业洁净行业协会 9 月 15 日主办的本次会议，邀请了来自全

国各地的标准化专家，旨在共同探讨深圳洁净标准，共同

树立湾区洁净标准，共同推动洁净高技术产业高质量发展。

深圳市市场监督管理局标准处处长史诗桢、深圳市生

物与工业洁净行业协会会长林正刚、中国电子科技集团公

司首席专家、中国电子科技集团公司第十四研究所研究员

尹奎英、全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会秘

书长杨子强、广东省标准化协会副会长黄永衡、全国洁净

室及相关受控环境标准化技术委员会秘书郝胤博、深圳市

生物与工业洁净行业协会生物安全与质量技术专业委员会

主任委员、深圳康泰生物制品股份有限公司生物安全总监

刘汝、深圳市科建建设集团有限公司执行总裁冯国庆、中

国电子系统工程第四建设有限公司生物医药事业部总经理

郭军、深圳市中明科技股份有限公司总经理助理乔畅君、

深圳市亿天净化技术有限公司技术总监潘明波、深圳华大

智造科技股份有限公司业务拓展中心经理程宇、深圳市生

物与工业洁净行业协会秘书长王惠芳及企业标准工作相关

代表逾 150 位参加会议。

主旨报告

林正刚会长在致欢迎辞中表示 ：协会携手广大会员企

业，立足湾区，面向国际，立足高于国家行业标准、填补

国内外空白的方向，全心培育和发展社会团体标准的初心

不改。

刘艳从深圳标准专栏介绍、深圳标准领域专项资金资

助奖励、深圳标准认证、企业标准领跑者、标准试点或示

范项目、深圳市地方标准管理、深圳市团体标准管理等方

面，系统的介绍了深圳标准的各项政策。

杨子强秘书长从国家标准的角度介绍了标准的应用、

建造、使用的概念，标准化基础、实用性和通用性，详尽

而细致。

黄永衡教授的报告主题为《生物洁净产业“一带一路”

与中国标准“走出去”》，从自身工作经验、标准的现状、

走出去的必要性及方法，用一如既往的博学和风趣，即普

及了知识又激起大家对标准工作的重视。

圆桌论坛

会议举办的生物洁净技术标准化工作发展圆桌论坛

上，深圳市生物与工业洁净行业协会秘书长王惠芳，深圳

市科建建设集团有限公司执行总裁冯国庆，深圳市亿天净

化技术有限公司技术总监潘明波，深圳市中明科技股份有

限公司总经理助理乔畅君，深圳华大智造科技股份有限公

司业务拓展中心经理程宇在圆桌论坛上分享了本企业在标

准化工作方面的成果及应用效益，探讨了接下来的标准化

工作思路，良好的榜样和表率，为出席会议的企业代表提

供了标准化建设工作思路和方法，获得了参会企业的热烈

好评。

Wind Direction 风向

洁净室 CleanRooms China 2023年 9月刊 5

颁奖仪式

会议授予深圳市华剑建设集团股份有限公司、深圳市

中明科技股份有限公司、深圳华大智造科技股份有限公司、

深圳市科建建设集团有限公司、中国电子系统工程第四建

设有限公司、深圳市亿天净化技术有限公司六家单位“首

届生物与工业洁净领域标准化工作领航企业”奖。

联盟签约

为深入贯彻落实《国家标准化发展纲要》部署要求，

持续完善标准新产业标准体系，推进标准化在新兴产业发

展中的引领作用的本次会议，还在香港举办了生物洁净产

业“一带一路”与“中国标准走出去”圆桌论坛。

会议还举行了深圳市生物与工业洁净行业协会与粤

港澳大湾区生物科技联盟签约。

连续三天的深圳和香港互动标准化建设工作，为推进

粤港澳大湾区洁净行业发展持续赋能。洁净行业、立标福

民。

深圳市市场监督管理局标准处史诗桢处长表示，洁净

协会从 6 月到 9 月，三个月内召开两次大型标准宣贯会议，

将深圳洁净领域的标准化建设工作不断向前推进，促进团

体标准在市场活动中的实施应用，具有非常重大的意义。

（深圳市生物与工业洁净行业协会）

聚势共赢，同心致远

2023 亚太洁净展已圆满落幕，2024 年 8 月广州再会！

由 Informa Markets、中国医药保健品进出口商会主办，

上海博华国际展览有限公司协办的第二十一届世界制药

原料中国展 (CPHI China 2023) 暨第十六届世界制药机械、

包装设备与材料中国展 (PMEC China 2023) 在上海新国际

博览中心成功落下帷幕。 在国际交往恢复畅通，全球经

济重振的关键时刻，为期 3 天的展会展出面积达 20 万平

方米，汇聚 3,360 家国内外知名企业参展，共迎来 129 个

国家和地区超过 9 万人次的专业观众，其中包括 16,919

人次海外买家，观众业务覆盖制药工业链，超 75% 专业观

众来自决策层。参展企业和观众数量均创历届新高。展会

现场举办了 80 余场重量级同期会议，邀请到 400 余位国

“十四五”是我国高端制造业发展重要时期，也是洁

净产业乘势发展的历史机遇时期。为进一步推动洁净行业

高质量发展，助力企业乘势而上，2023 年 8 月 8-10 日，

由广东省洁净技术行业协会、广东鸿威国际会展集团有限

公司联合主办，并携手全国各省市各行业协会共同协办的

2023 第七届亚太洁净技术与设备展览会在广州 · 中国进出

口商品交易会展馆 B 区 11.1 馆和 13.1 馆华丽启幕。开展

首日，来自全国各地超 40000 名专业采购商和专业观众络

绎不绝涌入现场“选品买货”，与 300+ 参展企业洽谈合作，

共同见证这一“最干净”产业当下发展盛景和所爆发出来

内外药政药监官员、医药行业专家和企 业家分享制药全

产业链热点话题。 10,000+ 参会听众（人次）。历经二十

余年积淀与发展，CPHI & PMEC China 已经成为医药企

业宣传品牌形象，将新技术、新产品推向世界的重要舞台。

2023 年 9 月 4 日 -6 日下一站广州，CPHI & PMEC

China 主题巡展华南站，融合创新，深化大湾区及亚洲市

场医药产业合作。

2024 年 6 月 19-21 日，第二十二届世界制药原料中

国展 CPHI & PMEC China 于上海新国际博览中心，期待

与你，再聚申城。

（CRC 编辑）

的巨大财富商机。

为满足多样化的市场需求，为业界提供一个完善的

供需交流平台，本届展览会现场展示了洁净室构架、洁净

室用品、检测仪器仪表、洁净室设备、实验室设备、物料

供应等产品技术，倾力打造一站式商贸合作、交流平台，

为行业深度链接上中下游产业资源，让采购商和观众在百

花齐放的新产品、新技术和新理念中，领略到行业新动态、

新硕果，也采购到心仪的好产品。让每一个前来参观参展

的洁净人都能有所收获。

2024 年 8 月 8-10 日，我们广州再会！（CRC 编辑）

风向 Wind Direction

6 洁净室 CleanRooms China 2023年 9月刊

137 场专题论坛，13 万平米展览，6 万余人参会、参观，

CHCC2023 盛况空前

由筑医台、国药励展、中国医学装备协会医院建筑

与装备分会、筑而瑞联合多家权威机构共同举办的“第

二十四届全国医院建设大会暨国际医院建设、装备及管理

展览会”（简称 CHCC2023）6 月在四川 · 成都中国西部国

际博览城成功举办。

作为医院建设领域一年一度的行业盛会，CHCC 再次

刷新多项历史数据，在行业高度、学术深度、产业广度等

方面提升显赫，为行业高质量发展做出新贡献。本届大会

举办 137 场专题论坛，1112 位权威专家悉数到场，吸引

9180 位参会代表学习交流，856 家展商，15 大主题展区，

吸引 49589 位专业观众前来了解趋势寻求合作。

全方位呈现美好医院建设的完整知识体系

CHCC2023 与“第七届中国智慧医院大会”“第六届

医学工程发展创新大会”“第五届全国医养结合机构建设

发展大会”“中国医院学科发展大会”“第五届中国新时期

医院建设发展企业家峰会”六会同行，从战略发展、产业

升级、学科发展、规划设计、装备配置、项目管理、技术

创新、智慧运维等多层次、多维度深度交流思想、共享智慧。

本届大会在论坛场次、邀请嘉宾、参会代表数量

等方面相较 2022 年均有大幅增长。专题论坛同比增长

22.32% ；邀请行业权威专家分享同比增长 39.00% ；参会

代表较 2022 年增长 48.64%。本次大会规格更高、规模更

大、知识体系更丰富，将为医院建设行业未来发展指明方

向，带来深远的学术意义和影响力。

本届大会邀请嘉宾涵盖中国科学院院士、中国工程院

院士、国家卫健委、发改委、住建部等各部委领导及全国

各级卫生行政部门主管领导、医院建设领域行业领袖、专

家学者与高级管理者等，跟往届相比，本次大会邀请嘉宾

阵容更加强大，研究领域更广泛，演讲课题更细分。与会

嘉宾对于此次本次大会给予高度评价。

2023 年，参会代表人数再创新高，达到 9180 位，其

中以管理决策层（院长 / 副院长 / 基建负责人）为核心的

参会代表人员比例持续增高，占比 72.93%。

本届全国医院建设大会准确把脉美好医院建设发展

方向，汇集众多医建领域权威专家多维度分享智慧，助力

医院建设管理者打通知识体系，一站式解决现代医院建设

所有问题，为医院建设同仁带来全球前沿医院建设思路，

激发思维碰撞，开阔视野。

一站式解决医院建设者所有学习交流采购需求

2023 年，CHCC 紧贴全球医院建设市场需求，展区

规模再度升级，超大规模展示面积按照医院建设采购全流

程创新布局，一站式解决医院建设者所有学习交流采购需

求。展会汇聚优质供应商，全方位展示了医院建设领域的

新技术、设备、产品、解决方案及最新发展趋势，为政、产、

学、研、用、融各方面搭建一个全产业链协同发展的广阔

平台。

根据总体分析，疫情放开后，国际展商占比持续增高，

2023 年，国际展商占比 8.41%，来自 12 个国家的 72 家国

际品牌入驻 CHCC，CHCC 的国际影响力正在不断提升。

根据 CHCC2023 展商满意度调查数据显示，对本届展

会整体参展效果满意度达到 98%，参展商参展体验和参展

成效斐然，对观众数量和质量满意度达到 97%，并有 96%

以上参展供应商表示 2024 年扩大或考虑扩大展会投入。

精准观众参观

学习交流，了解趋势，寻求合作

Wind Direction 风向

洁净室 CleanRooms China 2023年 9月刊 7

台积电斥 900 亿新台币建先进封装厂

近日，据中国台湾媒体报道，台积电计划斥资近 900

亿元新台币（约合 205.7 亿元人民币），于新竹科学园区

辖下铜锣科学园区设立生产先进封装的晶圆厂。目前管理

局已正式发函同意台积电铜锣科学园区的租地申请，并安

排进行租地简报。

根据台积电的计划书，该项目计划于 2024 年下半年

开始动工，2026 年完成建厂，在 2027 年上半年、最迟第

3季开始量产，月产能11万片12英寸的3D Fabric制程晶圆。

7 月 20 日的法说会上，台积电总裁魏哲家表示，AI

相关需求增加对台积电是正面趋势，预测未来五年内将以

接近 50% 的年平均增长率增长，并占台积电营收约 1 成，

台积电也决定将资本支出中加重在 CoWoS 先进封装产能

的建设，而且是越快越好。

（来源 ：JSSIA 整理）

粤芯半导体三期厂房封顶

据粤芯半导体官微消息，7 月 28 日，粤芯半导体新

建 12 英寸集成电路模拟特色工艺生产线项目（三期）主

厂房顺利封顶，三期项目将进入洁净室和动力安装建设阶

段，预计明年年初工艺设备搬入。

据悉，三期项目在一、二期项目的基础上，持续瞄准

工业电子和汽车电子领域，在已有技术平台基础上重点聚

焦工艺平台质量规格的精进，深度与国内工业芯片终端用

户和汽车终端厂家及一级供应商合作，给客户提供更优、

更高品质的产品。粤芯半导体表示，将继续加快推动总投

资 162.5 亿元的三期项目建设，力争在 2024 年全面建成

并完成投产。

（来源 ：JSSIA 整理）

随着展览规模的进一步扩大及参展领域的拓宽，本

届专业观众人数再创新高，较上一届大幅增长 14.94%，

观展热情十分高涨。根据调研显示，此次展览观众主要了

解行业及市场动态、接洽新的供应商、采购新产品 / 技术

/ 系统解决方案等三大观展目的占比最高 ；在关注领域版

块，医用洁净室、特殊病房工程建设、医院规划设计与工

▲参观目的分析

程总承包、医院建筑装修地面、吊顶、墙面创新材料等占

据前三位。

650+ 主流媒体聚焦 CHCC2023，全球 1000+ 平台全

网推广，1 亿 + 次品牌曝光再次刷新历史数据

现场展位签约火爆 75% 已被预订，CHCC2024，再聚

蓉城，共谱新篇

第 25 届全国医院建设大会暨国际医院建设、装备及

管理展览会（CHCC2024）将于 2024 年 5 月 17-19 日在成

都举办。

第 25 届大会暨、展览会 (CHCC2024) 展位签约包括

140 家 VIP 展位及两天内 19 个展区的普通展位 314 家企

业完成现场预订。

（CRC 编辑）

Cover Story 封面专题

洁净室 CleanRooms China 2023年 9月刊 9

完成 480 个超导腔制程，基础设施需

要进行优化，以实现每月约 21 个的

峰值产量。认证效率为 80%，每月可

在冷质量链上安装 17 个超导腔。超

导腔制程工作流程周期（等式 1）是

以可用的工作时间除以超导腔数量。

生产制程

根据工艺设施的升级设定基线超

导言

FRIB 基线设计一共需要 341 个

经认证的超导腔，用于低温恒温器安

装。另有 30 个超导腔用于制造备用

模块。假设 20% 的超导腔需要进行

再加工，那就需要 480 个超导腔制程。

表 1 汇总了预估需要的数量。

FRIB 基准超导腔制程和冷质量

计划，包括 6 个月的启动和 30 个月

的生产。在 30 个月内，平均处理速

率为每月 16 超导腔。预计 20% 的计

超导腔制程和洁净室设施升级

摘要

密歇根州立大学（MSU）超导腔制程和冷质量组装基础设施正在升级，以满足多个 SRF 项目的生产需

求，包括稀有同位素束流装置（FRIB）的直线加速器（LINAC）驱动和密歇根州立大学回旋加速器（MSU

Reaccelerator）。其目标是改造当前的基础设施，以提高产量和优化工艺流程，同时最大限度地减少对整个试制

计划的影响。设施升级包括增加洁净室、带有局部蚀刻罩的化学室、洁净室制备区，以及全新超纯水系统。新的

处理卡具和专用工具正在实施中。目前正在研究各种方法，以简化工作流程，提高可重复性，提高制程安全性，

减少交叉污染和废物。已提出了洁净室的布置、制程要求、优化的工作流程策略和持续改进计划。

表 1 ：FRIB 的超导腔数量

描述 推荐基线

经认证的超导腔 341

经认证的备用模块 26

出故障的超导腔 10%

超导腔的总组装量 400

再加工部分 20%

制程数量 480

冷质量总数量 55

划内故障时间和制程延期，这将导致

只有 24 个月的可用制程时间。为了

封面专题 Cover Story

10 洁净室 CleanRooms China 2023年 9月刊

导腔制程计划（表 2）。

基线制程工作程序可根据试制超

导腔的测试研究（即认证后的高压冲

洗和低温烘烤）的结果进行修改。超

导腔（SRF cavity）制程和测试设备

被设计成每天最多认证一个超导腔。

制程设施升级

洁净室设施

由于 FRIB 冷质量的尺寸最长可

达 20 英尺，且需要在受控环境下处

理的数量和体量很多，目前的 SRF

洁净室设施无法满足生产加工和组装

的需要。图 1 显示了拟建的 2700 平

方英尺（约 251 平方米）的洁净室设

施，其中包括一个新增的冷质量组装、

一个次高压冲洗和一个第二吊装舱

口。升级包括 ISO 5 和 ISO 6 洁净室。

实施精益制造原则，以简化工作流程，

最小化交叉污染风险，最终提高 SRF

的处理能力。表 3 和表 4 描述了洁净

室任务的关键步骤流程。高压冲洗和

超导腔 / 冷质量组装等关键工序，必

须在 ISO 5 洁净室环境下进行。而超

声波清洗、低压冲洗、泵送和检漏等

不太重要的工序，可在 ISO 6 洁净室

环境中进行。

洁净室的温度和湿度需要控制。

对气流进行定期检查，以确保气流

速度在 85-110 ft/min（0.43-0.56 m/s）

之间。大气粒子计数器持续监测认证

区域，并将其集成到设施监测网络

中。手持粒子计数器在关键制程步骤

之前使用。SRF 最近增加了一个表面

粒子计数器，用于超导腔组装前的清

洁制程开发研究和质量控制（见海报

TUPO059）。

水系统

生产期间， SRF 制程设施最大

清洁水预计使用量为每天 2000 加仑

（7570 升）。拟建的水系统包括一个去

离子水系统，用于准备进入洁净室的

物品，以及一个双回路超纯水（UPW）

系统，用于制程和洁净室组装，图 2。

表 3. 超导腔垂直杜瓦测试的洁净室工艺步骤

制程描述

1 组件的超声清洁（ISO 6）

2 超导腔高压冲洗（ISO 5）

3 超导腔和组件组装（ISO 5）

4 超导腔组装到垂直测试插件中（ISO 5）

表 4. 冷质量组装的洁净室工艺步骤

制程描述

A1 杜瓦测试和拆解后的超导腔净化认

证（ISO 5）

A2 拆解基波功率耦合器（ISO 5）

A3 将提升装置组装到电磁线圈和超声

洁净上（ISO 6）

B 冷质量轨道接收 / 准备（ISO 6）

C 将认证过的超导腔 /FPC/ 电磁线圈

组装到轨道系统（ISO 5）

D 泵送 / 检漏冷质量（“调查进行中”

的低温建筑提升温度）（ISO 6）

表 2 ：基线超导腔制程计划

制程步骤

脱脂超导腔 供应商

批量缓冲化学抛光剂

（BCP） 供应商

纯水冲洗 供应商

氢气脱气 密歇根州立大学

和 JLab

脱脂超导腔和组件 密歇根州立大学

Light BCP （10~30 微米）密歇根州立大学

超纯水高压冲洗（HPR）密歇根州立大学

测试插块组装（RF 认证）密歇根州立大学

插块的清除和移除 密歇根州立大学

安装到冷质量链上 密歇根州立大学

Cover Story 封面专题

洁净室 CleanRooms China 2023年 9月刊 11

在洁净室准备区，使用超声波

清洗器，采用清洁剂去除零件上的油

污。洁净室制备水系统有一个 210 加

仑（795 升）的储水箱，由反渗透（RO）

水系统供给，补给率为 0.5 gpm（1.9

lpm）。反渗透系统有一个碳基氯过滤

器、一个 5 微米微粒过滤器、反渗透

膜和一个混合树脂去离子床。水制备

系统的水持续循环，并通过 0.1 亚微

米过滤器和紫外线灯泡，保持超声波

清洗的最佳质量（5 兆欧电阻率）。

洁净室制程步骤中需要用到超

纯水（UPW，电阻率 >18 MΩ · cm）。

UPW 系统有一个 1500 加仑（5678 升）

的储罐，由 5.2 gpm（19.7 lpm）反

渗透（RO）补给系统供给。1500 加

仑的水箱为两个循环抛光回路供水 ：

一个用于洁净室水槽、超声波清洗

机和 HPR 1，另一个用于化学设备

和 HPR 2。每个循环回路的设计速

度均为 3-5 ft/s（0.91-1.52 m/s），以满

足湍流，减少生物膜的堆积。在计划

内或计划外停机的情况下，管道的设

计应确保所有使用点都能从一个循

环回路接收 UPW。诊断监测包括总

固体溶解浓度（TDS）、电阻率、总

有机碳浓度（TOC）和颗粒分布。外

购的一台液体 TOC 监测仪和液体

颗粒计数器监测现有的水系统，制

定改进的维护和制程流程（见海报

TUPO059）。主要部件备件存放在室

内，并同时进行定期维护，以减少系

统停机时间。

化学制品设施

BCP 化学制程包括对 FRIB 项

目的所有超导腔体和铌组件的光蚀

刻，以及用于密歇根州立大学回旋

加速器超导腔体的生产。光蚀刻需

要从超导表面去除大约 10μm-30μm

的表面。

拟建的化学蚀刻设施，内部至

少需要 400 ft2

，外部至少需要 80 ft2

，

用于冷却装置、洗涤器和机电设施。

设施应位于地面首层，便于运输重型

和 / 或危险物品。高空提升设备用于

蚀刻工艺中的超导腔移动。

洗涤器的空气流速和填料堆的尺

寸应确保 NO2 浓度水平低于 OSHA

规定的 5 ppm 短期暴露限值，并确保

酸性气体的安全排放。

该化学设施配备一个批量蚀

刻 罩 组 件 和 一 个 废 水 中 和 系 统。

中和系统每周需要 1 升氢氧化钠

（NaOH）。所有用过的 BCP 将由密

歇根州立大学的放射化学和生物安

全办公室处理。

蚀刻超导腔在蚀刻过程中产生的

大约 4 千瓦的热量，必须采用化学方

式去除。这需要两个冷却装置 ：一个

用于超导腔热交换器，一个用于 BCP

水箱热交换器。

为 估 算 产 品 消 耗， 我 们 假

设当溶液中的铌浓度达到 20 g/L

时（SRF2011，Chicago， IL USA

TUPO059）时需要替换 BCP。对比垂

直测试性能与铌在溶液中的数据，进

行分析，优化该值，但迄今为止研究

还没有定论。每蚀刻一个超导腔，将

消耗约 3- 5 升的 BCP。从业界购买的

BCP 酸溶液，已预混在 35 加仑 (133

升 ) 的液桶中。在 FRIB 生产期间，

每 5 周需要更换一次液桶。

高压冲洗能力

最终化学处理后，需使用高压冲

洗（HPR）工具清洁超导腔的内表面。

HPR 工具设置于 ISO 5 洁净室，机械

泵、过滤器等设置在洁净室外。

HPR 工具必须坚固且易于操作。

在 1200-1500 psi （83-103 bar）的压力

下，HPR 工具使用可变杆速的流量为

1.5-2 gpm（5.7-7.6 lpm） 的 超 纯 水。

建议购买一个新的 HPR 工具，并将

现有的 HPR 升级作为备件，以实现

冗余和灵活性。

精益战略

在所有洁净室流程中进行精益生

产培训，以减少浪费。确定产品关键

路径和瓶颈操作，改进可视控制，并

提高安全性。正在创建时间周期、标

准（整套）操作和工作流等数据，以

最大限度地缩短超导腔的制程时间，

保持低库存，优化化学耗材的消耗率

和存储容量。

设施风险和缓解方法

已识别出与加工基础设施相关的

风险，并已有实施降低风险的方法。

如果制程工具因维护或维修而不可

用，会影响生产进度。通过更换旧的

基础设施，规划并行的维护计划，储

备所有消耗品，就可以降低风险。通

过保留备件、对故障进行根因分析，

并在预期寿命结束之前更换组件，可

以减少因组件故障而停机的时间。制

程工具的冗余价值可有效缓解这两种

风险。

通过对加工装配制程的不断研

究，可以提高超导腔在垂直测试中的

合格率。采用可重复的方法可以减少

污染和真空泄漏。用于监测和控制过

程质量的诊断工具，可快速发现问题，

并进行纠正。

（CRC 编辑）

技术前沿 Tech Frontier

12 洁净室 CleanRooms China 2023年 9月刊

6、在 1073B Tyvek Pouch 上使用薄膜时，密封蠕变

在伽马辐射或环氧乙烷灭菌中是否具有更高的风险？

Elwell ：环氧乙烷灭菌的密封蠕变风险更高，由于其

包括加热和真空相结合的灭菌周期，而伽马辐射均无。如

果遵循网上研讨会中讨论的建议，则可降低风险。

7、测试前，对来自工艺认证（OQ/PQ）样品进行灭

菌是否合适？

Elwell ：通常，灭菌并非 OQ/PQ 过程的一部分，由

于 OQ/PQ 过程输出用于过程监控（除非您计划在正在进

行的生产中使用灭菌后样品进行过程监控）。应通过设计

验证过程解决包装过程后的活动（灭菌、分发、储存等），

并与 OQ/PQ 过程确定的最低规格相联系。有关更多信息，

请参考 ISO 11607 第 1 部分和第 2 部分。

不久前，包装和灭菌专家 Oliver Healthcare Packaging

公司高级首席工程师 Jeremy Elwell 在网络研讨会

“无菌屏障包装 ：灭菌方式的影响”中探讨无菌屏障系统

的设计和开发 ；STERIS 应用灭菌技术全球技术高级总监

Brian McEvoy 则概述了环氧乙烷（EO）、辐照和汽化过氧

化氢（VHP）灭菌方法。

Elwell 和 McEvoy 回答了许多与会者的问题，并对一

些回答进行了扩展。下面就是几位专家的访谈实录。

1、使用灭菌样品进行加速老化测试时，我们如何降

低风险？

Elwell ：在任何包装验证研究中，都有必要了解所选

材料的性能。有必要根据行业标准正确设置测试方案。您

可通过验证研究前执行更高强度的可行性测试或利用现

有数据来降低风险。在某些情况下，通过提高温度或改变

Q10 水平来缩短加速老化条件的持续时间可能可行（根据

ASTM F1980）；但必须进行适当的分析，因为这可能会导

致包装和设备材料带来额外的风险。

2、最大剂量研究是否也适用于电子束灭菌？

McEvoy ：根据 ISO11137，将在所有三种辐射模式中

进行评估最大剂量影响 ：伽马射线、电子束或 X 光。

3、涂层 Tyvek 是否比未涂层 Tyvek 更能兼容极限调

理（2x EO 杀菌 + 加速老化）？

Elwell ：虽然涂层 Tyvek 确实可以改善某些密封方面

的问题，但这两种类型的无菌屏障系统经测试，证明能够

承受极端条件。

4、您是否发现 Gamma 相对 E-Beam 灭菌后对包装

材料的影响更大？

McEvoy ：由于测试由我们的客户进行，因此我们通

常无法知道结果和效果，我们并未观察到任何具体的情况。

据我们所知，包装材料往往并非此处主要关注点…其通常

是与产品本身相关的材料。

5、如果产品在双托盘系统（密封托盘内的密封托盘）

中灭菌，如果打开外托盘，产品是否视为无菌产品？

Elwell ：如果已进行适当的验证和确认测试，并且内

托盘标签符合必要要求，则在这种情况下，只要无菌屏障

仍完好无损，可将内托盘视为无菌。

平衡无菌屏障包装和灭菌要求

Tech Frontier 技术前沿

洁净室 CleanRooms China 2023年 9月刊 13

McEvoy ：辐射会对敏感电子元件产生影响。需对此

进行评估，并探索（辐射）屏蔽 / 衰减机会。VHP 作为表

面消毒将会是一种有效方法。

12、标准 VHP 和 VHP 等离子灭菌过程是否存在区

别？（或者相同？）

McEvoy ：许多医疗保健服务消毒和室内净化提供商

提供 VHP 解决方案变体，例如 VHP 与其他化学品或过程

结合使用。等离子体属于变体，由于 VHP 等离子体比非

等离子体 VHP 等离子体更倾向于使用更高浓度的消毒剂，

因此其中有必要怀疑等离子体在通气阶段有助于去除消毒

剂。

13、如果我正降低环氧乙烷浓度并增加环氧乙烷停

留时间，则是否需要重复进行老化研究？

McEvoy ：调整此类参数将对环氧乙烷产品残留物产

生影响，由于浓度较低，可能会减少。在高于环境温度的

温度下，增加停留时间将增加整个过程的时间。额外时间

仍会使过程低于原始过程的最大时间，因此可能会产生影

响，但应在变更管理过程中对其进行审查和风险评估。

14、装在环氧乙烷 - 二氧化碳混合物中是否比在环氧

乙烷 - 氮气循环中具有更大的风险？

McEvoy ：我们尚无此类影响的信息 / 数据。CO2 和

N2 两者属于惰性气体。环氧乙烷 ：在更大的压力范围内

进行 CO2 混合气体过程，在大气压以上进行其中一部分

过程。需评估压差影响。

15、在 3 至 5 年内，钛 / 钢植入物的主要灭菌方法是

什么？

McEvoy ：植入物可获得辐射（尤其是伽马射线）处

理带来的优势。在未来几年内，X 光可能会提供一种有益

于替代和必要的能力 ：相同的穿透和批量处理选项，而不

依赖钴辐射源。

16、氮时间对环氧乙烷灭菌中的稀释过程是否起着

至关重要的作用？我们在报告中无法查看该时间 - 将该时

间载于灭菌批次报告中是否重要？

McEvoy ：N2 的作用旨在帮助稀释和去除空气。空

气和环氧乙烷形成爆炸性混合物。N2 用于降低室内的空

气浓度，使其在引入环氧乙烷气体后不会产生爆炸性气体。

8、直接在 Tyvek 上印刷是否会影响无菌包装的孔隙

率吗？

Elwell ：预计在医用级 Tyvek 上印刷不会显著影响基

材孔隙率。Tyvek 为纤维材料。当油墨在印刷过程中应用

于 Tyvek 时，将其放置在暴露的纤维表面，并且通常不会

“填充”和阻挡材料的透气性。Oliver Healthcare Packaging

使用 Gurley Hill 孔隙率测试仪进行一项孔隙率研究，以

便证明这一点。Tyvek 样品在胶版印刷过程中使用全部

油墨（最坏情况）。然后在印刷区域测量孔隙率，并与相

邻未印刷 Tyvek 区进行比较。数值以格雷秒为单位（100

立方厘米空气通过 1.0 平方英寸材料所需秒数）。结果表

明，油墨完全沉积对 Tyvek 孔隙率几乎没有影响。Oliver

Healthcare Packaging 可应要求提供该研究。

9、是否具有推荐包装设计（例如柔性小袋设计或带

有顶盖的刚性泡罩设计）以便在包装将经受电子束或 γ

射线灭菌时使用？

Elwell ：我们在网络研讨会上回顾大多数材料与电子

束和伽马射线兼容。有关兼容性的更多信息，您可以参考

AAMI TIR 17 或观看网上研讨会记录。但包装设计的选择

更有可能基于设备要求和最终用户需求。

10、对于新环氧乙烷循环的验证，评估代表包装配

置系列的最坏情况是否合适？

McEvoy ：一般来说，对每个产品系列进行灭菌验证

可行。但需要解决包装系统和包装设备的各方面。某些推

荐考虑的因素是包装产品 / 托盘负载的密度、设备设计的

相似性、包装配置和材料、包装模式、标签和 IFU 放置。

11、随着电子技术融入医疗器械，最佳灭菌方式是

什么？

技术前沿 Tech Frontier

14 洁净室 CleanRooms China 2023年 9月刊

介绍一下新建和现有厂房提高能效的几个技巧。这些

技巧不但提供了可靠的技术，风险也最小、而且费

用低或者不需要花钱，而投资回收期又很吸引人。

一、 低断面风速设计断面风速就是空气处理部件中空

气经过过滤器或者加热 / 冷却盘管的速度

低断面风速（LFV）设计使用更大的空气处理器和较

小的风机，从而降低空气的流速，降低能耗和设备寿命成

本。

大部分工程师根据“经验”把空气处理器设计成 500

英寸 / 分钟。这样的设计虽然节省时间，但是却增加了运

作费用。在低断面风速（LFV）设计中，使用更大的空气

处理器和更小的风机，从而降低空气的流速，降低能耗和

设寿命成本。

压降决定了风机的能量损耗。由“平方定则”可知压

降与速度下降的平方成正比。如果断面风速降低 20%，那

么压降将下降 36% ；如果断面风速降低 50%，压降将下

降四分之三。根据“立方定则”，风机能耗的变化与流量

变化的立方成正比。如果空气流量降低 50%，风机能耗将

下降 88%。

因此，较大尺寸的空气处理器、较大的过滤器和盘管

面积消耗较少的风机能量，可以使用比较小的风机和马达。

小风机给空气添加的热量比较少，降低了冷却的难度。厚

度小的盘管更容易清洗、工作效率更高，所以冷冻水的温

度可以更高。过滤器在低断面风速情况下，工作效果更好、

寿命更长。

LFV 设计减少了空气和水的压降，减小了冷却盘管

的带水量。流线型设计，几乎没有尖角，从而使压降减少

10% 到 15%。

LFV 设计也可以把压降降低四分之一。目标是使能

量损耗降低至少 25%，减小变速风机的大小。最优的断面

风速范围是 250-450 英尺 / 分钟，具体取决于使用情况和

能量消耗。

二、换气次数洁净室维持一定的空气流量来保持清洁

度和颗粒数。

提高能效

流量根据每小时的换气次数来确定，同时这也决定了

风机尺寸、建筑构型和能量消耗。在保持洁净度的前提条

件下，空气流速的降低可以降低建造及能耗成本。换气次

数降低 20% 就可以使风机的尺寸降低 50%。空气洁净度

比节约能耗更重要，但是最新的研究成果已经有降低洁净

成本的记载了。

关于最佳换气次数还没有达成共识。许多原则都已过

时，是建立在老观念上，采用低效的空气过滤器。调查显

示，ISO 第 5 级标准的洁净室推荐的换气次数变化范围是

从 250 到 700 以上。

美国的一所国家实验室正在确定 ISO 第 5 级洁净室

的标准。研究显示，实际换气次数范围是 90 到 250

比操作规程标准低很多，而且不会影响生产和洁净度。因

此建议 ISO 第 5 级洁净室的换气次数大约是 200，保守的

上限是 300。

三、马达效率马达消耗了洁净室的大部分电能。

连续运转的马达每月消耗大量的电力。适当地提高效

率、适当地调节尺寸，在翻新后，经济效果多半是不错的。

效率增加几个百分点，利润就可增加。

使用优质高效的马达，不一定会花费太多。高效率意

味着最小，在改变马达的尺寸之前先尽量减小负荷。在输

出量变化时，利用变速驱动（VSD）可以提高操作效率。

四、变速驱动的冷冻机变速驱动冷冻机能节省大量的

能量和金钱。

许多洁净室的设计人员和操作人员认为，没有必要使

用变速驱动冷冻机，因为负荷通常是恒定的，多级冷冻机

机组通常控制为高负荷运转。但是负荷恒定的冷冻机通常

工作在满负荷以下。变速驱动冷冻机通常工作在全负荷的

90%-95% 以节省能量。一台 1000 吨的冷冻机稳定工作在

满负荷的 70%，如果使用了变速驱动，每年就可节省两万

到三万美元。根据生产商的数据，电能的价格是 0.05 美

元 / 千瓦时，这样大约一年就可以回收成本。

多级冷冻机冷水式机组很少高负荷运转。通常情况

下，现场负荷通常不是正好匹配机组的能级变化。许多操

Tech Frontier 技术前沿

洁净室 CleanRooms China 2023年 9月刊 15

作人员运行额外的冷冻机以求可靠，一旦某个冷冻机发生

故障，其它的冷冻机可以立刻补充，接替其全部负荷，因

此冷水式机组经常是让冷冻机在制冷能力的 60% 到 80%

运转。

在购买新冷冻机的时候，指定购买变速驱动冷冻机是

划算的。用变速驱动冷冻机可降低能耗，同时让其他冷冻

机可靠性运行。有许多的研究和实验证明，变速驱动冷冻

机的效果是很好的。二十多年来，变速驱动冷冻机制造厂

商制造出更可靠性的产品，用在新建的和升级的洁净工厂

里面。

五、双温度冷冻循环冷冻系统通常设计成可以承受最

大负荷，不管最大负荷发生得是否频繁。

流程中处于冷冻循环的冷冻水温度，是由所有负荷中

只占一小部分的极端热负荷来确定，这只是许多情况中的

一两种。这会造成冷冻能力过剩，在负荷不足的情况下效

率低下。当供给的冷冻水的温度较低时，冷冻机的工作效

率也会很低。平均来说，冷冻水的供给温度每增加一华氏

度，冷冻器效率就提高一个百分点以上。如果划分负荷，

提供两个不同温度的冷冻水，那么工作效率将会更高。

设计者可以使用并联循环管路，将他们分成两个子系

统，这样可以在需要最大冷量的时候，冷冻机可以工作在

相对不很苛刻的条件下。

设计人员可以使用并联循环管路，将他们成两个子系

统，这样可以在需要最大冷量的时候，冷冻机可以工作在

相对不很苛刻的条件下。用专用冷冻机进行中等温度的循

环（例如 55oF 到 65oF），它的运作是针对冷冻水的温度

进行优化的，可以满足工厂的大部分需要。另一个较小的

高效冷冻机提供温度较低的循环（例如 ：39oF 到 43oF），

可以满足负荷中要求苛刻的部分。

这个方案可以迅速增加整个冷冻机机组的效率提高

百分之二十五或更多。对于相同容量的冷冻机，高温工作

要比低温工作花费小得多。

六、冷却塔的优化高效冷却塔通过降低冷凝水的供给

温度来提高冷冻机效率。

所有的冷却塔都应该并联工作，在表面积增加的情况

下蒸发冷，效果却达到最佳。

从冷冻机中每输出一吨冷冻水，一般的冷却塔需要

100 瓦的能量。效率提高可高达十倍，例如采用更为接近

入口、出口温差、更有效的气流设计、优质高效的配有变

速驱动马达的风机、减少高度以限制泵的扬程以及增加填

充面积（选择大尺寸的塔）等。

不同的外界空气的湿温度和冷却水的供给温度，这个

温差有所不同，应该控制在 3oF 到 5oF 之间。

所有的冷却塔都应该并联工作，在表面积增加的情况

下蒸发冷却达到最佳。

许多任务厂使用多级塔，它们使用单速或双速的风

机，并且把塔分成不同的阶段。一个塔全速运转直到负荷

超过它的承受能力，然后另一个塔开启，它工作在较低或

较高的功率状态。这个方案可以导致冷却塔负荷出现较大

的、不断递增的变化，频繁地低于或者超过要求的额定值，

从而出现锯齿状的能耗状况，降低冷冻机的效率。

因而所有的冷却塔都应该并行工作，在表面积增加的

情况下蒸发冷却达到最佳。如果更多的塔在低速状态下工

作，使用变速驱动调节风机的速度，随负载变化而调整，

根据“立方定律”，在较低的速度下风机可以节省能量。

工厂通常采用专门一个冷却塔为每一个冷冻机供应

冷凝水。这种构想不允许冷冻机利用冷却塔并行运作。只

有为冷凝水系统加上普通的集管才允许冷却塔并行运行，

不考虑冷却要求。

七、自由冷却使用外面的空气进行冷却是经济的，在

商业大楼得到广泛采用。

另外一种“自由冷却”方案适用于需要恒定的冷冻水

以及风机盘管的系统，比如洁净室。

自由冷却技术直接利用处在低温或低湿度环境中的

冷却塔制造冷冻水，减少或取代冷冻机的使用。根据天气

的变化，使用自由冷却系统可以把冷却系统的耗能减少到

十分之一（从 0.5 千瓦 / 冷吨减少到 0.05 千瓦 / 冷吨）。

直接与工艺负荷进行热交换，可以使自由冷却技术利

用（净化工程）外面温度较高的大气，要比用在二级或者

三级热交换系统进行热交换的时间长出若干个小时。由板

式热交换器分隔开来的冷却水和冷凝水之间的温差很接近

（比如只有 2oF）。当温度和湿度相当低时，冷却塔可以独

立运行，无需风机。根据温湿图，很多地方每年有很多的

时间都可以进行自由冷却。

八、热量回收

许多任务厂都要消耗大量的能量来制热，同时又消耗

技术前沿 Tech Frontier

16 洁净室 CleanRooms China 2023年 9月刊

Tech Frontier 技术前沿

洁净室 CleanRooms China 2023年 9月刊 17

更多的能量从工艺过程中移除“废”热，却没有把这两个

过程结合起来。回收的热量可以用来预热新风，送风再热，

以及其它用途。AHU 预热盘管可以用废水预热外来的空

气（在炎热的天气下也可预冷）。

再热盘管可以从空气压缩机或者冷冻机的冷凝器回水

中回收废热，同时节省了冷冻机能量和锅炉燃料。热交换

器可以使不能混合或者直接接触的不同介质进行热量交换。

九、变频泵过去配备变频驱动的设备经常出现故障，

而且控制复杂，所以很多工程师和管理人员不愿意使用变

频驱动。

可靠性比节能更重要，而老的变频驱动可靠性差。最

近十年中，变频驱动可靠性提高了，价格降低了。许多关

键系统现在都在使用变频驱动。

我们认为在洁净室中的许多系统和各类的泵上使用

变频驱动是安全（净化工程）和划算的。实际上，可以证

明考虑投资回收率却不使用变频驱动是不负责任的，因为

其投资回收期不满一年。

冷冻水和冷凝水的泵系统流量变化较大，冷冻水和

冷凝水系统有最小流量要求，基本上在 50% 到 75% 之间。

根据“立方定则”，流量减少很小，就会产生可观的能量

节约。流量减少 20%，就会产生几乎 50% 的泵功率下降。

大多数已知的冷冻水系统使用一级泵定流量 / 二级泵

变流量设计，二级泵采用变频驱动。使用变频驱动时，所

有冷冻水要使用双道通阀，否则就失去使用变频泵的意义

了。

新建工厂时，使用变流量一级泵系统，不再需要二

级泵，节省了工程费用。运行适当，这套简单可靠的系统

可以通过冷冻机中的冷冻水流量变化而节约大量能源。这

项技术被冷冻机供应商和各种专业协会所广泛宣扬，例

如 ASHRAE（American Society of Heating, Refrigerating

& Air Conditioning Engineers）。

十、离心式压缩机空气压缩机的改进节约了大量能

源。

离心式压缩机是无油的，比螺杆式压缩机的效率高很

多。但是离心式压缩机不能空转，这使得他们在负载低的

情况下效率很低。最有效和经济的办法是离心式和螺杆式

压缩机两者结合使用。选用离心机组满足基本负荷，再用

小一些的螺杆式机组满足峰值负荷。压缩机组应该配有热

回收系统。

另一种方案是整个现场用高效的离心式压缩机作为

一个大的压缩空气装置，外加大的储气罐和连接管道作为

缓冲器。这样可以保证整个工厂维持一个恒定载荷，减轻

加载与卸载对设备的损耗，并且降低能量浪费。

（CRC 编辑）

实验室自动化 4.0 已成为未来实验室建设的趋势，将

引领现代化高效低碳实验室自动化建设的方向。

云端实验室

云端实验室是指科学家可以通过网络浏览器登录在

线云实验室平台，在一张空白画板上，画出想要制造的分

子化合物框架结构，平台使用机器学习来预测所需的成分

和混合的顺序，然后将指令发送到远程实验室的机器人去

执行。云端实验室结合有自动化仪器设备、实验室机器人、

人工智能和云计算平台的集成化实验室，实验人员只需远

程设定好实验步骤，远程实验室机器人就可以在云端实验

室接受指令负责解决下游的实验操作过程，并将实验数据

反馈给实验技术人员。在全球目前比较成规模的商业化云

端实验室有 Emerald Cloud Lab 和 Strateos 等公司。国际

商业机器公司 IBM 也建立了一个名为 RoboRXN 的云端

制药实验室（图 6），该实验室能使科学家足不出户就能

设计并合成新分子。科学家只需在浏览器上登录便可进入

实验室，在服务器上画出需要制造的分子骨架结构，平台

会将指令发送给远程实验室里的机器人来执行这个过程，

实验完成后平台就会将结果报告发送给科学家。

（曼森生物整理）

图 6 ：RoboRXN 化学实验室机器人科学家

上接第 21 页

技术前沿 Tech Frontier

18 洁净室 CleanRooms China 2023年 9月刊

一点，也是目前国际上开始重视的一个

方面。

请参考下表 ：100 级无尘室车间是

不允许有 ≥5um 的大颗粒粒子存在的，

但是我们公司用针对性的大颗粒粒子检

测设备（颗粒宝）对国内客户（日本大

型半导体厂家 S 公司）100 级无尘室车

间测量的真实案例中，≥5um 的大颗粒

粒子居然每平米有 30000 个之多，已经

接近 10000 级无尘室车间标准。

J ：刚刚您提到了大颗粒粒子检测

设备 - 颗粒宝。听说目前已经在日本及

欧美众多拥有无尘室的企业中广泛使

用。也得到国内半导体、光学膜材、医

疗行业广泛重视。能请您简单介绍一下

产品的功能与原理吗？

金总 ：好的。从 2020 年我司就与

日本半导体巨头 I 公司合作。I 公司对

尖端技术制造领域的企业提供异物改善

方案，对大颗粒异物的改善有着丰富的

经验。颗粒宝产品的优势是对生产环境

进行快速（6 秒左右）高效的全面采集，

并可以即时分析异物各粒径区段内的数

量、异物成分（纤维、反射类、非反射类）。

可以找到异物源头进行改善、从而达到

减少不良率、提高生产效率，降低生产

成本的目的。这方面的异物管理符合德

洁净室新的管理思维和概念已经开

始席卷欧美和日本，现在韩国、

台湾也在逐步跟进，如果你是洁净车间

的相关管理人员，一定需要了解如何检

测表面颗粒及大颗粒粒子的清扫必要性。

伴随着精细化生产的进步，异物

不良问题已经成为洁净室中最大的待解

决问题，每家企业都在拼命控制异物数

量，但是为什么提高了洁净室级别，却

无法从根本上解决异物呢？

为此，记者（以下简称 J）采访了

专业异物不良方案解决商 -- 深圳市华商

龙商务互联科技有限公司电子材料事业

中心的金成进总经理 ( 以下简称金总 )，

对业界的技术现状以及发展进行一次深

入交流。

J ：金总，您好，为什么说无尘室等

级从 1000 级提升到 100 级，大多数企业

仍然无法根本上解决异物不良问题？

金总 ：首先，大家有一个认知误

区，总认为提高洁净度等级可去除异物，

其实提高无尘室等级不等于解决了异物

产生问题、不等于就控制了异物数量。

投资百万改建提高无尘室等级，实质上

只是加强了无尘室内浮游粒子的数量管

控，却往往忽视真正造成异物不良的大

颗粒粒子的存在。而这其实是最重要的

洁净车间异物管理，与时俱进！

—— 专访与探讨

国汽车工业协会标准 VDA19.2「组装过

程的洁净技术」、也符合 ISO14644-9 规

格与原理的洁净度的新内容的要求。颗

粒宝完全符合根据 VDA19.2 所要求的直

接或间接测定原则，也符合 ISO14644-9

所要求的视斜光系统测定方法。

如下图所示、测定器先遮蔽外部

光，接着从鉴定区域的左右 LED 射

入光线。异物反射光经由透镜汇聚到

CCD 相机来判读。只要几秒钟数字化

过程、就可以得到粒子的立体外形、大

小数量等全面的信息。

Tech Frontier 技术前沿

洁净室 CleanRooms China 2023年 9月刊 19

目前市场产品只能对空气进行采样，分析小颗粒粒子的

浓度 ；只能检测浮游粒子、无法分辨粒子成分且统计数据不

够全面。

设备对比 ：

J ：贵司除洁净设备以外，还有哪些方面优势产品？

金总 ：我司是专门深耕环境监测 · 监测设备生产及方案

商。除了洁净室设备以外，还有一些监测设备被航天及风力

发电等领域采用。此外还有实时监测落尘设备粒子监控仪，

最短每 5 分钟，监测一次落尘粒子数量，并进行粒子大小分析，

组建长期稳定的监测系统。

J ：贵司在环境监测设备方面还是十分专业的，能否介

绍下贵司的情况？

金总 ：深圳市华商龙商务互联科技有限公司是属于资金

密集型（贸易）企业， 18 个阿米巴经营单位以及市场管理部，

包含多个境内外交易主体，2022 年销售额达 51 亿元人民币。

这款产品由德国一家异物管理研究结构进行技术支持，

一直以航空太空、防卫、F1 等尖端·精密领域为中心提供服务。

随着国内的半导体行业的进步与发展，精密生产车间的异物

不良问题一定是巨大的阻碍，希望我们积累的国际异物不良

处理经验能够为各大厂商提高生产良品率、为增加产品竞争

力贡献一份力量。

J：可以听出来科技含金量很高，那客户使用贵司产品后，

实际效果如何？

金总 ：以 T 公司为例，最直观的效果是异物不良由年度

6% 直接下降到年度 2%，帮助客户提高了生产效率、实现了

可观的成本控制。

J ：那除了贵司，业界是否还有同类产品？

金总：大颗粒粒子的检测和监控，目前我所掌握的信息，

在使用便捷、提取结果迅速、数据精准等方面，我们的产品

属于独享一档。而且目前市场上主流的产品都是针对空气悬

浮粒子进行监测的设备。颗粒宝产品是通过取样垫片（Tape

Lift Pad）对产品线的各个部位（或者无尘服、设备等）进行

取样检测。而同类产品目前还是通过抽取空气后，对空气中

粒子浓度进行分析检测。虽然听起来好像差不多，实际上天

差地别。空气悬浮粒子是可以通过洁净室内的空气循环系统

抽离到室外，一般粒子尺寸 ≤5um。而大颗粒落尘监测的主

要目标是 ≥5um 粒径粒子，这些大颗粒粒子是无法通过空气

循环系统的滤嘴排除到室外，它们会在室内短暂漂浮且掉落，

这种落尘会直接或者间接附着在产品表面上，最终导致异物

不良产生。

另外，也有部分大型面板厂使用频谱分析仪来进行监测，

而频谱分析仪的缺点是 ：价格昂贵、测量时间长、需要建立

异物频率库、操作难度大等。

我司颗粒宝可以对洁净室关联空间内的装备和产品表面

进行采样 ：

优势 ：快速解析粒子种类和对应粒径的数量、可以直接

针对表面进行测量。

简介 ：

金成进，深圳市华商龙商务互联科技有限公

司（隶属于英唐智控，股票代码 ：300131）

电子材料事业中心，总经理。

特写 Special Report

20 洁净室 CleanRooms China 2023年 9月刊

无人化实验室局部

实验室的自动化发展

实验室自动化是通过“机器人换人”、“人工智能替代

人类智能”的现代技术，对传统劳动密集型实验室进行技

术改革，实现无人化、精准化和高效化的效果，其技术特

点是自动化、智能化和云端化。实验室自动化的应用市场

包括医药研发、生物学、医学检验、食品药品安全检验检

测、环境和水质监测等领域，这些领域都是目前全世界各

国关注的热点问题。

实验室自动化和智能化正在成为一种趋势，就像工厂

的自动流水线一样，实验室机器人会按照标准化的工作流

程完成实验操作。未来我们把这类融合了自动化、实验室

机器人、人工智能、大数据、物联网、云计算等信息技术

以及现代化学和生物基础知识的实验室称为智慧实验室。

实验室自动化发展大体上经历 4 个主要阶段。

实验室自动化 1.0 阶段

实验室自动化 1.0 是指单一设备自动化，属于设备自

动化范畴，功能比较单一，一个自动化设备往往只有一种

或一两种功能，需要人来操作使用，只解决了检测工艺流

程中的一步或一两步。例如自动化配液，自动化称量，自

动化离心，自动化消解以及自动化测试等操作，如乳品质

量检测中使用的乳品分析仪（图 1）、功能食品检测电子

舌（图 2）等，这些设备在乳品质量安全检测中执行比较

单一的地特定功能检测。

实验室自动化的发展历程

编者按

目前的各类实验室基本上都是属于非常消耗人力和时间的劳动密集型场所，而且还容易出现人工操作产生的

差错。这种现状决定了需要由低通量的人工操作向高通量的自动化操作模式转变，实验室自动化无疑解决了这个

问题。

图 1 ：乳品分析仪

Special Report 特写

洁净室 CleanRooms China 2023年 9月刊 21

这些单个设备零散分布在实验室的不同地方，人工操

作单个设备仪器，功能单一，国内相当多的实验室处于该

实验室自动化 1.0 阶段。

实验室自动化 2.0 阶段

实验室自动化 2.0 是指工作站形式的自动化，仍然属

于设备自动化范畴。一台设备整合了多种功能，一个批次

可以处理一定数量的样品，一个批次内可以做到无人值守，

批次之间需要人工补料和下料。例如，液体处理工作站（图3）

实验室自动化 3.0 阶段

实验室自动化 3.0 是指流水线形式的自动化，自动化

设备与设备之间自动传输样品，实现了全实验室自动化，

多以流水线形式呈现，类似于工业自动化，包括自动化样

本运输、自动化开盖压盖、自动化离心、自动化混合、自

动化过滤以及自动化上机检测等。流水线形式自动化应用

最多的是医学检验，如生化检测自动化流水线、免疫检测

图 2 ：功能食品检测电子舌

自动化流水线、血液检测自动化流水线、微生物检测自动

化流水线等（图 4）。

实验室自动化 3.0 的出现大多是在医学检验和生物医

药等领域，主要是由于这些特殊领域检验时效性要求和工

作重复繁重特点，这种社会需求使该领域成为实验室自动

化 3.0 的排头兵，目前国内在医学检验领域基本普遍采用

该流水线自动化工作方式。

实验室自动化 4.0 阶段

实验室自动化 4.0 是指智能化自动化的实验室，属于

流程自动化，在全实验室自动化3.0基础上，加入人工智能，

实验室自动化 4.0 技术，不仅仅代替劳动力，而且还代替

了一部分脑力劳动，具有机器学习、自动判断、自我决策

能力，这里自动化实验室多用在研究型实验室领域，特别

是解决多品种、小批量、多批次、高时效的检测需求，在

全实验室自动化基础上，融入机器深度学习等人工智能，

即实验室智能化操作和管理，通过对智能实验室机器人发

出指令，进行所有的实验室操作，包括样品前处理、分析

检测和实验数据的处理，并可以循环往复地进行，如利物

浦大学的案例（图 5）、伊利诺伊大学的案例、zymergen、

ginkgo 等公司的应用。

图 3 ：液体处理工作站

图 4 ：生化免疫自动化流水线

图 5 ：人工智能机器人科学家

下转第 17 页

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22 洁净室 CleanRooms China 2023年 9月刊

应用材料公司发布最新可持续发展报告

应用材料公司近日发布了其最新的可持续发展报告，

详细介绍了公司在过去一年开展的 ESG（环境、社会和

公司治理）项目的举措及成果。报告强调了公司在 ESG

方面的努力对组织内部、供应商和客户以及全球电子生态

系统的影响。

应用材料公司总裁兼首席执行官盖瑞 · 狄克森表示 ：

“半导体技术在我们生活中的重要性日益凸显，而应用材

料公司居于半导体技术前沿地位。在将颠覆性的创新产品

推向市场的同时，我们与供应商和客户密切合作，通过减

少产品的资源消耗和碳排放来实现对环境影响最小化。我

们也持续与坚定地致力于构建包容文化，应用材料公司的

每位员工都有平等的机会在自己的职业生涯中做出贡献和

成长。”

伴随人工智能（AI）的崛起和智能互联设备数量的

急剧增长，预计未来十年内半导体市场规模将翻一番，达

到 1 万亿美元。为实现这一预期增长能够与行业的碳排放

脱钩，芯片制造生态系统必须协同攻关。

2022 年，应用材料公司持续地在减少碳足迹方面

收获进展，实现了在美国 100% 、全球 69% 使用可再生

电力能源，并达成公司的“范围 1”和“范围 2”排放比

2019 年的基准减少了 3%。与此同时，应用材料公司的能

源消耗约增加 13%，这表明公司在将排放增长与业务增长

脱钩方面取得了进展。应用材料公司深知未来仍需再接再

厉，因此向科学碳目标倡议（SBTi）提交了基于科学的“范

围 1”、“范围 2”和“范围 3”减排目标。此外，公司还

设定了新目标，即到 2030 年将新半导体产品中“范围 3 -

类别11”（已售产品的使用）的每片晶圆排放量减少55%（以

2019 年为基准）。

应用材料公司正携手主要客户和行业联盟，着力在

全球范围内推动行业对可再生电力能源的需求，并加速

向低碳未来的过渡。应用材料公司是半导体气候联盟的

创始成员及理事会成员，也是微电子研究中心可持续半

导体技术和系统项目、RE100 全球倡议和清洁能源买家

协会的成员。

拜耳细胞疗法治疗帕金森病 ：

首个 I 期临床试验取得积极结果

研究性疗法 Bemdaneprocel（BRT-DA01）的耐受性

良好，12 名患者在一年内均未出现重大安全问题

次要终点评估展示了移植的可行性，以及细胞存活和

植入的证据

预计 II 期临床试验将于 2024 年上半年开始患者招募

主要和次要终点的详细 I 期试验数据将在 2023 年国

际帕金森病与运动障碍大会上公布

德国柏林和美国马萨诸塞州剑桥，2023 年 6 月 28

日 – 拜耳集团及其旗下独立运营的临床阶段细胞治疗

子公司 BlueRock Therapeutics LP 今 天 宣 布， 研 究 药 物

bemdaneprocel（BRT-DA01）的 I 期临床试验取得了积极

结果。Bemdaneprocel（BRT-DA01）是一种帕金森病的潜

在首创细胞疗法。试验表明，迄今为止，bemdaneprocel

在研究中的所有 12 名患者中显示了良好的耐受性，且没

有发生重大安全事件。此外，对该研究次要终点的评估展

示了移植的可行性，以及细胞在大脑中存活和植入一年

的证据。根据这些结果，该研究的 II 期临床正在计划中，

并预计于 2024 年上半年开始招募患者。

“我们的使命是利用细胞疗法的力量，通过恢复

帕金森病患者失去的功能来帮助他们重新掌控自己的

生 活，”BlueRock Therapeutics 高级副总裁兼开发主管

Ahmed Enayetallah 说。“Bemdaneprocel 的安全性、细胞

存活和植入的早期证据令人鼓舞，标志着我们为帕金森病

患者开发潜在新疗法迈出了非常关键的一步。这些重要数

据为启动下一阶段研究提供了强有力的依据。我们期待推

进这一临床计划。”

帕金森病是一种渐进性神经退行性疾病，由大脑神

经细胞损伤引起，可导致多巴胺水平降低。在被确诊时，

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洁净室 CleanRooms China 2023年 9月刊 23

企业微时间 Enterprise Micro Time

24 洁净室 CleanRooms China 2023年 9月刊

总承包单位组织精兵强将、投入充足资源，项目部全体人

员全力以赴，高标准、高质量地完成了 FAB 厂房结构施

工任务，希望项目团队继续攻坚克难，保证项目顺利竣工。

中电二公司高级副总经理吴学刚表示，作为国内高科

技工程建筑领域的领先企业，中电二公司将以高度的社会

责任感，一流的专业水准，全力推进项目建设，将一个崭

新的厂房高标准、高质量地交到果纳半导体的手里，共同

助力国家半导体产业建设发展。

二公司项

目团队自进场

以来，始终坚

持高标准、严

要求，认真策

划、精心组织，

期间克服了高

压线迁移、污水管改道、高温及梅雨季节等种种困难，如

期完成了项目主 FAB 厂房主体封顶的重要节点，为项目

后续的设备搬迁及竣工投产奠定了坚实基础。

中电二公司将始终坚持“以终为始，精益建造”的理

念，安全质量双拳出击，进度口碑齐头并进，不断打造更

多客户满意、社会肯定、行业认可的标杆项目。

（中电二公司）

患者可能已经失去 50-80% 的多巴胺能神经元。失去神经

元会导致运动功能逐渐丧失，并出现震颤、肌肉僵硬和运

动障碍等症状。据美国帕金森病基金会称，全球有超过

1000 万人患有帕金森病，其中大约有 100 万人生活在美国。

这种疾病无法治愈，且当前疗法的效果会随时间推移而降

低。

Bemdaneprocel（BRT-DA01）是一种研究性疗法，由

多能干细胞产生的多巴胺能神经元组成，可以通过手术植

入帕金森病患者大脑。这些细胞在被移植后将有可能重塑

被帕金森病破坏的神经网络，有望恢复患者的运动和非运

动功能。

“在拜耳，我们致力于为帕金森病患者推进细胞和

中电二公司承建的浙江果纳 EPC 项目 FAB 厂房

主体结构顺利封顶

7 月 24 日，中电二公司承建的浙江果纳 EPC 项目

FAB 厂房主体结构顺利封顶。海宁市委常委、海昌街道

党委书记、海宁经济开发区党工委书记徐洪华，果纳半导

体创始人、董事长兼总经理叶莹，中电二公司高级副总经

理、华东大区总经理吴学刚出席封顶仪式，业主单位、监

理单位及中电二公司项目团队等共同参加。

浙江果纳项目位于海宁市经济开发区，项目总占地面

积约 26032 平米、总建筑面积约 40753 平米。项目建成后

具备每年生产 800 台晶圆传输设备及相关零部件的能力。

叶莹董事长代表浙江果纳半导体技术有限公司向海

宁市各级政府以及项目协作方对果纳的坚定支持表示由衷

的感谢，她表示自项目落地以来，中电二公司作为 EPC

基因疗法的创新。帕金森病是一种神经退行性疾病，对

人们的生活造成严重影响，目前没有治愈方法，治疗

选择也十分有限，”拜耳处方药事业部执行委员会成员

兼全球研发负责人 Christian Rommel 说。“首次针对帕

金森病的细胞治疗临床试验取得了积极结果，不仅给

bemdaneprocel 开发计划注入强心针，也鼓舞了我们整个

基于多能干细胞的平台，证明它值得在更大的患者群体

中做进一步研究。”

上述研究主要和次要终点的详细 I 期试验数据将于

2023 年国际帕金森病与运动障碍大会上公布。该大会将

于 8 月 27 日至 31 日在丹麦哥本哈根举行。

（拜尔）

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洁净室 CleanRooms China 2023年 9月刊 25

中电三公司与上海强华实业股份有限公司顺利签订施工

总承包合同

中电三公司与上海强华实业股份有限公司施工总承

包签字仪式 2023 年 6 月 27 日在上海举行，中电三司总经

理谭志坚与上海强华实业股份有限公司总经理周文华，分

别在上海强华股份集成电路核心装备关键新材料生产基地

项目工程施工总承包合同上签了字。

中电三司总经理谭志坚发表讲话表示，强华实业是

国内外知名半导体企业的核心供应商，也是中芯国际零部

件模组战略供应商，致力于主攻国家重点“卡脖子”项目，

这与中电三公司“加快建设科技强国，实现高水平科技自

立自强”的发展目标不谋而合，双方具有深厚的合作基础

和发展共识。谭志坚强调，本项目作为中电三公司在上海

的重点项目，公司将秉承“以客为尊，服务领先“的理念，

以专业的技术和高度的责任心，全力打造放心工程、精品

工程、样板工程，彰显央企风采。

周文华表示，中电三公司作为高科技工程建设的主

力军，凭借自身实力在众多竞争对手中脱颖而出，展现出

了全方位的优势，非常高兴能够与三公司达成合作，希望

致力于主攻国家重点“卡脖子”项目，实现高水平科技自立自强

在将来建立起更高层面、更深层次的合作关系。同时，他

指出，本次项目施工难度大、时间紧、任务重，相信三公

司能够高质量、高标准完成项目交付，为半导体产业注入

强劲动力。

签约仪式上，双方就合作意见达成一致 ：在机遇中

乘势而上，在大局中担当作为，在新时代开启合作共赢新

篇章，共同创造“芯”未来。（中电三公司）

中电四承建芯视佳 12 英寸硅基 OLED 产业园开工建设

2023 年 6 月 17 日，芯视佳 12 英寸硅基 OLED 产业

园开工暨项目动员大会在安徽淮南市高新区隆重举行。淮

南市市委常委、常务副市长孙良鸿，高新区党工委书记、

管委会主任李群，华南理工大学新型显示技术研究院院长

彭俊彪教授，芯视佳创始人兼董事长曹绪文及相关领导出

席活动。公司总裁助理兼华中总部总经理陈战龙代表公司

应邀出席活动并致辞。

芯视佳是一家专注于半导体显示技术研发和产品制

造的创新型科技公司，主要业务包括硅基 OLED、显示

IC 设计以及柔性 OLED 模组。芯视佳 12 英寸硅基 OLED

K2 工厂的开工建设，将进一步完善高新区显示产业布局。

该项目预计 2025 年正式进入量产阶段，一期满产产能将

达到每月 4000 片 12 英寸晶圆，年产值达到 35 亿，将为

推动淮南新一代显示产业的快速发展贡献力量。

中电四公司为该项目的工程总承包（EPC）单位，项

目建筑面积约 9 万平方米，建设内容主要包括新建生产厂

房、模组厂房、综合动力站、综合楼、生产研发楼等建筑

企业微时间 Enterprise Micro Time

26 洁净室 CleanRooms China 2023年 9月刊

物，并配套建设其他公用工程。

作为施工方代表陈战龙表示，中电四公司将高度重视

芯视佳 12 英寸硅基 OLED 产业园项目建设工作，调拨优

势资源，科学安排、精心组织，服从管理、积极配合，坚

持科学施工、文明施工、安全施工，把项目建设成精品工

程、优质工程、放心工程，为与淮南高新区和芯视佳公司

的合作打下坚实的基础。

（中电四公司）

艾比森推进 MicroLED 的未来发展

深圳 / 美通社 / -- MicroLED 是引领 LED 显示走向未

来的一项技术。与传统 LED 相比，其体积更小、功能更

强大，给 LED 显示带来重大进步和提升。作为一名创新

领导者，艾比森因其对研发的广泛投入而备受尊重，自

2016 年以来，该公司积极开发 IMD 和 COB 技术，并于

最近在全球推出了新的 MicroLED KLCOB 系列。

艾比森行业产品总监 Christian Czimny 进入专业 AV

行业 25 年，对 LED 市场以及产品与客户需求的关系有着

广泛的了解。过去四年，Christian 帮助指导艾比森取得战

略增长。他谈到了艾比森的 MicroLED 技术以及艾比森在

未来显示领域的发展战略。

MicroLED 对市场的重要意义何在？

谈到 MicroLED 为何如此重要，Christian 解释说：

“MicroLED 技术实现了像素间距更小的 LED 产品的量产。

这些产品的屏幕尺寸更小，分辨率更高，满足 4K 和 8K

的需求。为此，MicroLED 技术的市场前景广阔，除商用

LED 显示和屏幕外，MicroLED 还将进军消费市场。”

2016 年，艾比森在其位于惠州的智能制造中心建成了

第一个 COB/MicroLED 洁净厂房和生产线。凭借其对研发

的承诺，艾比森在推进新技术方面取得了长足的进步，但

Christian 提醒道 ：“时间就是一切。成为新技术的早期使

用者，也可能是第一个使用者，固然很好，但考虑到生产

能力壮大的需要，还是要将我们的做法进一步推向市场。”

Christian 承认，制造业依然面临着大规模转移的挑战。

他描述说 ：“一如既往地专注于将 LED 故障率保持在尽可

能低的水平”，并指出 COB（板载芯片）是 MicroLED 解

决方案之一。“目前，搭载芯片的整个 PCB 板可以被封装

或‘密封’。”

当然，艾比森同样在 MicroLED 方面取得了不俗的进

展，为娱乐科技行业带来了 MicroLED 产品系列。该公司

的 KLCOB MicroLED 系列可通过艾比森广泛的增值合作

伙伴网络在全球范围内销售。

MicroLED 在 LED 显示方面取得重大进展

那么，MicroLED 技术到底是什么？它又有什么优势？

Christian 解释道 ：“MicroLED 建立在倒装芯片技术的基础

上，该技术能够改变单个 LED 内红、绿、蓝的电气连接。”

他进一步介绍说，技术的进步使得 LED 芯片内部的

电线连接被移除，在保持亮度不变的同时降低了功耗。他

接着说 ：“此外，将内部组件的顶部翻转 180 度，建立更

加稳定和直接的板到板连接，会让亮度比现有屏幕技术提

供的还要大。“

所幸，艾比森并未就此止步，而是继续专注于画面性

能质量。此番努力的结果就是不仅提高了对比度，还开发

出黑色哑光显示屏表面处理工艺，即黑色涂层技术。

Christian 表示 ：“这项技术为我们提供了更深的黑色

和更高的对比度，同时实现了更加丰富但又非常自然的色

彩，这也是 HDR 的一个基本组成部分。但哑光处理带来

的好处更多，包括不受环境光环境影响的令人印象深刻的

画面表现。”

艾比森的研发投资确保了产品能力的进一步提升

除了高性能画质和功耗更低的、更加可持续的产品

外，艾比森的 MicroLED 还具有更多实用功能，比如表面

保护技术能让 LED 产品在清洁时不用担心遭到损坏，并

且其安装机会也比以前的 LED 技术更多。

Christian 保证说 ：“艾比森的 MicroLED 的一大优势

是拥有强大的表面保护功能，使显示器具有防潮、防尘、

防静电、抗氧化和防止碰撞损坏等特点。“

该公司在研发方面的持续投资使其处于一个令人羡慕

的位置。Christian 说道 ：“你可以想象一下，我们说到的这

些改进和优势无不提供了一个非常有吸引力的投资主张，市

场上以及我们行业内的许多公司都渴望加入到这个行列。”

（消息来源 ：艾比森）

Products Showcase 新品橱窗

洁净室 CleanRooms China 2023年 9月刊 27

锂电池洁净室

锂电池洁净室不论外在环境条件如何变化，洁净室内

均能维持设定所要求的洁净度、温湿度及压力等性能。

锂电池洁净室主要性能参数 ：

温度范围 ：25℃，（可调节）

湿度范围 ：40%RH（涂布室、电极浆料制作室、物

料室）。

露点湿度：-40℃（手套箱室、转绕叠片室、注液室）。

换气次数 ：≥15 次 / 小时。

新风量 ：≥30 立方 / 小时 / 人。

静压差 ：≥5Pa( 不同洁净等级区域之间 )。

静压差 ：≥10Pa( 洁净区域与非洁净区域之间 )。

尘粒最多允许数（≥0.5μm）：3500000 个。

尘粒最多允许数（≥5μm）：20000 个。

浮游菌数 ：≤500 个 / 立方米。

沉降菌数 ：≤10 个 / 立方米。

检验方法 ：GB 50591-2010。

完美的外观、合理的设计。

使用的安全及高可靠性。

超静音。

可扩展性。

洁净度要求 ：锂电池洁净车间应达到一定的洁净度要

求，包括空气洁净度等级和表面洁净度等级。空气洁净度

等级应达到 ISO 7 级或以上，表面洁净度等级应达到 ISO

8 级或以上。

环境控制 ：锂电池洁净车间应严格控制温度、湿

度和光照等环境因素。温度应控制在 20℃ -25℃，湿度

应控制在 40%-60%，光照强度应控制在 300-500 Lux。

设备选择 ：在锂电池洁净车间中，设备的选择应符合以下

要求：a) 设备应具有高精度、高稳定性、高效率等特点；b)

设备应易于清洗、消毒和维护 ；c) 设备应配备必要的防护

装置，确保操作人员的安全。

原材料和试剂 ：锂电池生产过程中使用的原材料和试

剂应符合相关标准和规定，确保产品质量和性能。

洁净度等级要求 ：锂电池生产车间的洁净度要求严格

按照 ISO14644 标准分级，洁净度等级一般要求在第六级

以上，即每立方米空气中的粒子数量不超过 3500 个 /m3

。

空气流动要求 ：锂电池生产车间的空气流动要求也很

严格，一般要求有一个良好的空气循环系统，每小时至少

要循环 15 次，每次循环时间不超过 4 分钟。

静电控制要求 ：锂电池生产车间的静电控制要求也很

严格，一般要求接地电阻低于 3Ω，以防止静电对锂电池

生产过程的干扰。

锂电池是以锂金属或锂合金为负极材料，使用非水电

解质溶液的电池。由于含锂离子，所以其锂金属的化学性

质异常活跃，在实际生产、加工或保存锂金属的时候对环

境的要求相对更高。

湿度控制是关键一步，由于锂电池生产设备普遍较

大，生产线较长，生产车间空间也相应较大，冷负荷较大。

除湿机组的设计选型和位置的选择必须综合计算整个空间

的总湿度和冷负荷，同时考虑节能减排的需要，冷水机、

水泵、换热装置等设备应统一安装在站房内，并预留管道

和阀门，以备后期可能扩建之用 ；然后通过冷冻水管道分

区输送冷源。

锂电池洁净室环境目前在锂电池行业个应用较广，但

由于制造和生产成本处于高耗能状态，如果做好有效的成

本控制，提高管理效率，应在项目建设前期以及生产过程

中就实施成本节约。还要做好锂电池洁净室相关的配套措

施，除了上述提到的要有较高效率的除湿设备、除尘设备

基础设施，还要对外在的影响因素进行预防，保证常规情

况下无尘车间可以正常运行，保证车间大环境的整体稳定。

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28 洁净室 CleanRooms China 2023年 9月刊

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版发行，每年出版四期 , 印刷 杂志免费赠阅给七千多合资格的中

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最受欢 迎的刊物。

《洁净室》的宗旨是为中国使用污染控制技术的工程师和高

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联盟隶属指导机构：上海市制冷学会。

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圳洁净行业协会。

洁净技术联盟让参与者有更多机会接触更广的洁净产业链专家与企业及用户。

《洁净室》 CleanRoom China杂志

自2001年开始以简体中文出版发行，每年出版四期, 免费赠阅给8,000多合资格的中国洁淨与污染控制行业的设计、建造、制造、管理专

业人员, 《洁净室》杂志亦提供电子版，发行与13,000多名读者。中文版提供有关先进的污染控制技术及应用、设备、材料、技术标准及其发

展趋势及全球和中国市场的最新信息，是中国洁净技术领域最权威、最受欢迎的刊物，是国内洁净行业唯一的技术刊物，是洁净工程技术人员

及管理人员的必读技术刊物。出版至今19年，以读者数据库每年更新叠加统计，纸质版和电子版累计读者数量十分可观。

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洁净技术联盟/《洁净室》杂志在上海、深圳、苏州、南京、杭州等地举办洁净室研讨会暨产品展示已连续18年29届。近年更举办洁净技

术大会，高校、院所和一线企业专家领衔报告，以高端技术、当下热点、企业需求为切点，提供污染控制技术及应用、设备、材料、技术标准

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