该页无缩略图
www.cleanrooms-china.com
洁净室无尘环境
控制的重要性
11
地下 2400 米处，有个“超洁净空间
7nm 以下芯片黄光制程光源
GMP 标准下医药厂房洁净室设置要求
14
21
7
2024年 第3期
2024年亚洲电子生产设备
暨微电子工业展览会
2024.11.6-8 ▏深圳国际会展中心（宝安）
同期举办
主办单位
参展咨询，请联系： 徐乙冰 先生 电话: +86 21 2231 7051 邮箱： bruce.xu@rxglobal.com
参观咨询，请联系： 李海宾 女士 电话: 400 650 5611 邮箱：ǘƊǞƦǞȁخǶǞۊȲɮǐǶȌƦƊǶخƧȌǿ
www.nepconasia.com
NEPCON
官方微信服务号
2 洁净室 CleanRooms China 2024年 第三期
关于雅时国际商讯 (ACT International)
雅时国际传媒集团成立于 1998 年，在高增长的中国市场上为众多高科技领域提供服务。通过其产品系列，包括印刷和数字媒体以及会议和活动，雅时国际为国际营销公司和本地企业提供了进入中国
市场的机会。雅时国际的媒体品牌为电子制造、机器视觉系统、激光 / 光子学、射频 / 微波系统设计、洁净室 / 污染控制和半导体制造 , 化合物半导体 , 工业 AI 等领域的 20 多万名专业读者和受众提供
服务，雅时国际也是一些世界领先的技术出版社和活动组织者的销售代表。雅时国际的总部设在香港，在北京、上海、深圳和武汉设有分公司。 www.actintl.com.hk
About ACT International Media Group
ACT International, established 1998, serves a wide range of high technology sectors in the high-growth China market. Through its range of products -- including magazines and online publishing, training, conferences and events -- ACT
delivers proven access to the China market for international marketing companies and local enterprises. ACT's portfolio includes multiple technical magazine titles and related websites plus a range of conferences serving more than 200,000
professional readers and audiences in fields of electronic manufacturing, machine vision system design, laser/photonics, RF/microwave, cleanroom and contamination control, compound semiconductor, semiconductor manufacturing and AI
in Manufacturing. ACT International is also the sales representative for a number of world leading technical publishers and event organizers. ACT is headquartered in Hong Kong and operates liaison offices in Beijing, Shanghai, Shenzhen and
Wuhan. www.actintl.com.hk
《洁净室》杂志
《洁净室》ACT International 旗下的专业季度出版印刷杂志，面向 8,000 名中国读者定期发行，同时亦运营网站，发行电子快讯及电子书等等，服务于超过 27,000 的业界人士。《洁净室》为中国使用污染控制技术的工程师和
高级管理人员提供先进的污染控制技术和应用、设备、材料、技术标准、发展趋势和全球市场的最新信息。本刊的内容是针对中国读者的需要而编辑的，同时保持 ACT International 品牌的编辑风格。《洁净室》杂志是科研、
设计、施工、维护、应用各方与生产厂商、代理商、经销商等产业链间的沟通交流、提供需合作的最佳平台。
CleanRooms China Magazine
CleanRooms China provides builders and operators of cleanrooms as well as contamination-control specialists with in-depth information about advanced, contamination-control technologies and news from around the world. Over 27,000 engineers,
purchasers, and senior managers look to CleanRooms China's print magazine, website, e-newsletters, and conferences for must-know information. CleanRooms China provides a vibrant platform for ommunication and cooperation within the entire
industry chain—from cientific research, to design, to construction, to maintenance. CleanRooms China magazine—the portal's foundation stone—is a quarterly publication, serving over 8,000 engineers and senior executives in China.
目 录
封面专题 Cover Story
11 洁净室无尘环境控制的重要性
Table of Contents
2024 年 第三期
Issue 3, 2024
36 广告索引 AD Index
特写 Special Report
31 准确测量半导体制造过程中的水分、湿度和温度
4 钛升科技 E-Core System 大联盟 ：引领玻璃基板技术进入量产时代
5 里瑞通 (Digital Realty) 高性能冷却、布局和连接的数据中心推出首
个 NVIDIA DGX H100 就绪型数据中心
5 2024 第 9 届亚太洁净展已圆满落幕，2025 年 8 月 10 日广州再会！
6 苏州林森净化集团有限公司广东分公司盛大开业
7 地下 2400 米处，有个“超洁净空间”世界最深、最大的极深地下实
验室正式投入科学运行
风向 Wind Direction
28 洁净车间里的“黑马”
29 大众汽车电芯测试实验室
29 广东锂电池洁净车间装修建设项目设备入场完成
30 开启 OLED 画质新时代，LG Display 首次推出 META Technology 2.0
企业微时间 Enterprise Micro Time
技术前沿 Tech Frontier
14 7nm 以下芯片黄光制程光源
16 浅谈洁净室主要性能参数检测
21 GMP 标准下医药厂房洁净室设置要求
24 洁净室鉴定细菌的重要性
33 产品荟萃 Products Showcase
24
28
21
11
Editor’s Note 编辑手记
洁净室 CleanRooms China 2024年 第三期 3
社长 Publisher
麦协林 Adonis Mak
adonism@actintl.com.hk
副总经理 Deputy General Manager
秦泽峰 Floyd Chun
floydC@actintl.com.hk
管理编辑 Managing Editor
张彦雯 Yeva Zhang
yevaz@actintl.com.hk
销售总监 Sales Director
姚丽莹 Hatter Yao
hattery@actintl.com.hk
品牌 / 产品经理 Product Manager
彭珊 Sophie Peng
sophiep@actintl.com.hk
发行 Circulation
谭良辉 Ivy Tan
ivyt@actintl.com.hk
广告服务 AD Service
杨柳 Genevieve Yang
genevievey@actintl.com.hk
财务总监 Financial Director
黃文豪 Howard Wong
howardw@actintl.com.hk
办公室 Offices
中国 / 香港特别行政区 China/Hong Kong SAR
出版社 Publisher
雅时国际商讯 ACT International
香港九龙 Unit B, 13/F, Por Yen Building,
长沙湾青山道 478 号 No.478 Castle Peak Road,
百欣大厦 Cheung Sha Wan,
13 楼 B 室 Kowloon, Hong Kong
电话 (852) 2838 6298
传真 (852) 2838 2766
深圳 Shenzhen
电话 86 755 25988571
传真 86 755 25988567
上海 Shanghai
电话 86 21 62511200
传真 86 21 52410030
北京 Beijing
电话 / 传真 86 10 84844007
《洁净室》专家委员会
涂光备、徐文华、林忠平、秦学礼、
杨子强、钟柯、李峥嵘、吴雪红、
杨一心、张霭珺、张彦国、梁磊、
张训彪、徐义强、丁满生、严建敏、
徐火炬、赵斌、陈尹
ISSN 1817-6925
© 2024 版权所有 翻印必究
www.cleanrooms-china.com
Editor’s Note
洁净议题热辣滚烫
由夏至秋，半导体、生物医药会议、展览扎堆爆棚。《洁净室》杂志应邀
参与和自办会议有时密集到无缝对接及至叠加。在经济景气指数尚未乐观之
下，半导体、生医等高新支柱产业、新质生产产业不可或缺的洁净技术产业，
似并未现冬冷之境。
3 月 医 药 行 业 绿 色 智 能 制 造 大 会， 长 三 角 洁 净 技 术 高 峰 双 论 坛，
SEMICON，4 月洁净技术与终端路演，NEPCON，5 月中国国际制冷展，电
子电路展，全国医院建设大会，绿色厂务大会 ；6 月空气环保展，世界半导体
大会，世界制药原料、机械、材料展暨洁净技术论坛，实验室大会，世界医
疗器械研发生产中心成立，7 月制药工程大会，8 月全国室内空气化学污染控
制研讨会，9 月世界医疗器械展，10 月长三角洁净技术高峰双论坛 ......
今年由《洁净室》杂志 3 月、6 月和 10 月主办的洁净技术论坛吸引了
业内人士眼球。首届长三角洁净技术高峰论坛 3 月中旬在苏州举办，以双会
场分设半导体和生物制药两大主题，并设新产品展示。中国电子院、中国建
科院、电子十一院、国药集团、上海医药、中电二、三、四公司等顶层单位
的领衔专家，就行业最前沿和最热点的研发应用课题做报告，吸引专业听众
近 500 人。集技术研讨、信息发布、新品展示 、咨询对接、合作交流于一体
的首届长三角洁净技术高峰论坛，共同探讨助推高新产业发展的使命路径，
提振洁净技术创新信心。
2024 生物医药洁净技术高峰论坛 6 月 20 日在上海新国际博览中心举办，
与世界制药机械、包装设备与材料中国展同时同地。展会论坛协同发力，双
向加持。生物制药产业的发展离不开洁净技术的支撑。绿色、节能、数智化
的应用为生物医药创新注入新的活力。国药集团、生物医药行业协会、江苏
疾控、卫生建筑设计院等头部机构、企业专家带来行业最新报告。
2024 年 10 月 24 日洁净技术高峰论坛双论坛，即将在上海浦东举办。这
是继三月份首届长三角洁净技术高峰论坛以来再次举办洁净技术双论坛。A
厅半导体 B 厅生物医药的本届论坛，议题热辣滚烫——《全国首条 8 英寸“超
越摩尔”研发中试线洁净话题》，《12 英寸半导体洁净厂房环境营造及节能设
计》，《我国医药工程项目 GEP 中工程设计实践》，《洁净技术与应对 GMP 飞检》，
《洁净室建设优化设计》，《5nm 芯片制程黄光源》，《高效过滤器容尘新试验方
法》——中国建科院，上海工研院，国药集团，同济大学，中微半导体，中
电三公司，十一院，上海电子院——院长教授总经理，各路影响力专家登场
报告，吸引众多半导体、生物医药企业洁净专家到会，双会场报名早超容定
人数。成功举办可以期待。
事实上，随着制造业的升级，新质生产力的发力，洁净技术的覆盖面正
呈快速放大态势，技术能级也持续攀升。
比如石墨烯薄膜的洁净转移。2024 年 11 月中国国际石墨烯创新大会将在
宁波举办，《洁净室》杂志作为特邀媒体将组织洁净专场报告和活动。洁净技
术围绕石墨烯产业的瓶颈解题创新，领域拓展，值得关注。
（《洁净室》杂志编辑 张彦雯）
风向 Wind Direction
4 洁净室 CleanRooms China 2024年 第三期
钛升科技 E-Core System 大联盟 ：
引领玻璃基板技术进入量产时代
高雄 2024 年 9 月 2 日 / 美通社 / -- 钛升科技 (8027.
TWO) 于 2024 年 8 月 28 日在台湾台北举办了玻璃基板供
应商联合交流会，并发起“E-Core System”计划（E&R
与 Glass Core 的组合，并取自 \"Ecosystem\" 的谐音），成
立了“玻璃基板供应商 E-core System 大联盟”，与十多家
台湾优质半导体设备、载板业、自动化、视觉影像、检测
及关键零组件公司合作，联手推动玻璃基板中的核心制
程——Glass Core。此联盟旨在汇聚各自的专业技术，齐
心协力推动完整解决方案，为海内外客户提供适用于下一
代先进封装的玻璃基板设备与材料。
钛升科技 (8027.TWO) 的 E-Core 联盟包括 ：
湿蚀刻 ：Manz 亚智科技、辛耘企业
AOI 光学检测 ：翔纬光电
镀膜 ：凌嘉科技、银鸿科技、天虹科技、群翊工业
电镀 ：Manz 亚智科技
ABF 压合设备 ：群翊工业
其他关键零件供应商 ：上银科技、大银微系统、台湾
基恩斯、盟立集团、罗升企业、奇鼎科技、Coherent
钛升科技将持续引领台湾玻璃基板技术的发展，不断
优化制程，并期望与更多业界伙伴携手合作，共同在玻璃
基板领域创造卓越成就。
随着 AI 晶片，高频高速通讯设备和元件需求的快速
增长，玻璃基板在先进封装技术中的重要性日益凸显。与
当前普遍使用的有机铜箔基板相比，玻璃基板具有更密集
的布线能力与更高的讯号性能潜力。此外，玻璃的平坦度
极高，并且能承受高温和高电压，这些优势使其成为传统
基板的理想替代方案。
玻璃基板制程涵盖玻璃金属化（Glass Metalization）、
后续的 ABF 压合制程，以及最终的玻璃基板切割。在玻
璃金属化，Glass Core 中一制程涉及 TGV（Through-Glass
Via）、湿蚀刻（Wet Etching）、AOI 光学检测、镀膜（Sputtering）
及电镀（Plating）。玻璃基板的尺寸为 515×510mm，无论
在半导体和载板制程中均属于全新制程。
玻璃基板技术中的关键在于第一道工序——玻璃雷
射改质（TGV）。尽管这项技术早在十年前就已问世，但
其速度未能满足量产需求，仅能达到每秒 10 至 50 个孔
(10~50 via/sec.)，使得玻璃基板在市场上并未能崭露头角。
钛升科技（8027）自五年前起，与北美 IDM 客户合作研
发玻璃雷射改质 TGV 技术，并于去年成功通过制程验证，
钛升掌握着关键自行研发的技术，已能实现每秒 8000 个
孔（8000 via/sec., 固定图形、矩阵型）或每秒 600 至 1000
个孔（600~1000 via/sec., 客制化图形、随机分布类型），
且精准度可达 +/-5 um，符合 3 sigma 标准内，使玻璃基板
终于能够达到量产规模。
钛升科技将于 SEMICON Taiwan 2024 展会中展示玻
璃基板及最新技术，诚邀莅临并共同探讨先进封装制程技
术新趋势。（消息来源 : E&R Engineering Corp）
钛升科技 (8027.TWO) 于 2024 年 8 月 28 日在台湾台北举办了玻璃基板供应商
联合交流会，并发起“E-Core System”计划，成立了“玻璃基板供应商 E-core
System 大联盟”
钛升 (8027.TWO) 掌握着关键自行研发的技术——Glass Core 中的 TGV（ThroughGlass Via）
钛升 (8027.TWO) 掌握着关键自行研发的 TGV 技术，已能实现每秒 8000 个孔
（8000 via/sec., 矩阵型）或每秒 600 至 1000 个孔（600~1000 via/sec., 随机分布类型）
Wind Direction 风向
洁净室 CleanRooms China 2024年 第三期 5
里瑞通 (Digital Realty) 高性能冷却、布局和连接的数据中心
推出首个 NVIDIA DGX H100 就绪型数据中心
里瑞通位于日本大阪的 KIX13 数据中心经 NVIDIA
认证环境提供高速访问，以支持在全球数据汇聚地
PlatformDIGITAL™ 上加速人工智能工作负载部署。
世界领先的云与运营商中立数据中心、托管和互连解
决方案提供商里瑞通 KIX13 之所以能够获得认证，得益
于其能够针对大规模密集型计算系统部署进行优化，提供
专用、强大且有弹性的环境。
人工智能正在迅速成为多个行业现代科技背后的驱
动力，其应用领域设计优化、预防性维护、虚拟助手、欺
诈检测和异常检测等。 人工智能的部署有望帮助解决世
界上最具挑战性的问题，其成功取决于能否提供人工智能
高效运行所需的高性能冷却、布局和连接的数据中心。
随着现代企业采用人工智能，技术领域的领导者
越来越多地将实时数据访问作为核心战略，以实现即时
变更和决策。里瑞通 (Digital Realty) 高度互联的全球社
区 PlatformDIGITAL® 使客户能够访问海量数据，并在
NVIDIA 加速环境中正常运行 AI 工作负载，以实现创新
和解决世界上巨大挑战性的计算问题，同时克服数据引
力障碍。 借助里瑞通 (Digital Realty) 的全球服务编排平台
ServiceFabricTM，客户可以简化其混合 IT 基础架构的管理，
同时可以访问在单一集中式平台上不断增长的合作伙伴开
放社区，他们可以连接并利用这些社区来获取托管服务。
凭借其产品的规模与精密性、广泛的客户群体以及重
要的技术资源，里瑞通 (Digital Realty) 还提供精密设计的
电源和冷却数字基础设施，可为人工智能的高功率计算需
求提供支持。 在更高的工作负载密度下，液体冷却因其更
有效的散热而成为人工智能部署的一个具有吸引力的选择。
在数据中心领域的丰富经验使里瑞通 (Digital Realty) 能够提
供面向未来的数据中心环境，从容应对从风冷到液冷的演
变。这也有助于 Digital Realty 及其客户在 2030 年之前将范
围 1 和范围 2 碳排量减少 68%，范围 3 碳排量减少 24%。
数据中心在具备想匹配的洁净度要求的环境中运行。
其巨大的能耗对洁净技术是一个新的和重要的挑战。
（里瑞通）
2024 第 9 届亚太洁净展已圆满落幕，
2025 年 8 月 10 日广州再会！
2024 年 8 月 8-10 日，第 8 届亚太洁净展技术与设备
展览会在广州·中国进出口商品交易会展馆 B 区盛大举办。
本届展会总展览面积超 25000 平方米，H&V、AAF、吴
江林森集团、苏净、华翱、莱润、易众铝业、中科圣杰、
中境、玖胜、盾安中央空调、国祥空、迪特股份、中深洁
净集团、利人净化、万众集团、金鼎发、辉爵门窗、通田
风机、尚泰洁净、翔龙、圣奥博创门业、亮美聚、胜鑫空调、
桑玛 | 好压、嘉润、永帝照明、长合兴、南亚中正、金毅、
宝久、濮阳汇通、通路地板、九信等 300+ 家洁净产业链
品牌企业，集中展示洁净全产业链展品，涵盖洁净室设备、
洁净室用品、实验室设备、洁净室构架、HVAC 系统、检
测仪器仪表、物料供应、设计与认证等专业领域的新产品、
新技术、新成果。除外，展会期间还吸引了美国、俄罗斯、
韩国、日本、意大利、乌克兰、阿联酋、巴基斯坦、印度、
新加坡、马来西亚、印度尼西亚、阿尔及利亚、尼日利亚
等多个国家国际采购商，为企业提供了拓展海外市场、寻
求国际合作的机会。通过跨国界的合作与交流，亚太洁净
技术与设备展览会为全球洁净技术的发展提供新的动力，
同时也为参与者开辟了一个充满可能性的新平台。
为推动洁净行业更快地走向国内外市场，促进优质供
应与采购资源的快速对接，展示最新发展成果，进而促进
行业绿色健康高质量发展。2025 第 9 届亚太洁净技术与
设备展览会，将定于 2025 年 8 月 8-10 日在广州 . 中国进
出口商品交易会展馆隆重举行。预设展览面积达 30000 平
方米，参展商超 600 余家，40 家国内外行业组织及外国
驻华商务机构，300 家中外行业媒体合作推广，30 家以中
央电视台为主的合作媒体，预计超 40 个国家观众人数达
50000 人次。
风向 Wind Direction
6 洁净室 CleanRooms China 2024年 第三期
苏州林森净化集团有限公司
广东分公司盛大开业
2024 年 7 月 2 7 日，苏州林森净化集团有限公司广东
分公司在一片期待与瞩目中盛大开业。这一重要时刻标志
着苏州林森净化集团在拓展市场、服务客户的道路上又迈
出了坚实的一步。
开业典礼现场，鲜花簇拥、彩旗飘扬，充满了喜庆的
氛围。苏州林森净化集团高层领导、广东分公司负责人、
各界嘉宾以及众多合作伙伴齐聚一堂，共同见证这一激动
人心的时刻。
集团董事长朱雪林在开业致辞中表示，珠海工厂的成
立，凝聚了集团公司上下的共同努力和辛勤付出，珠海分
工厂作为集团公司的重要组成部分，将秉承集团公司“诚
信立林森，品质赢天下”的经营理念，依托珠海的区位优
势和产业基础，不断提升产品质量和服务水平，加强与本
地企业的合作与交流，共同推动制造业的转型升级和高质
量发展。
苏州林森净化集团有限公司作为行业内的领军企业，
一直以来凭借其卓越的技术、优质的产品和专业的服务，
在净化领域树立了良好的口碑。深耕洁净行业二十余年，
苏州、天津、四川、湖北四个制造中心的成立，林森建立
起辐射华北、华中、华西、华东的业务网络。如今，林森
净化集团广东分公司的建立，是林森基于对广东市场的深
入调研和战略布局的重要举措，是林森建立辐射全国业务
网络的进一步突破。
未来，苏州林森净化集团将继续秉持创新驱动、品质
至上的发展理念，不断提升自身实力，为客户提供更优质
的服务，为社会创造更美好的环境。
（林森净化）
Wind Direction 风向
洁净室 CleanRooms China 2024年 第三期 7
地下 2400 米处，有个“超洁净空间”
世界最深、最大的极深地下实验室——中国锦屏地下
实验室二期极深地下极低辐射本底前沿物理实验设施（简
称“锦屏大设施”）2023 年 12 月 7 日正式投入科学运行，
首批来自清华大学、北京师范大学等单位的 10 个实验项
目组正式进驻。
锦屏大设施是国内第一个极深地下实验室基础设施
建设项目，也是国际上第一次大规模建设具有极低辐射本
底极端条件的综合实验设施。具备“极低环境氡析出”“极
低环境辐射”“超低宇宙线通量”“超洁净空间”等多种优势。
多项第一“在身”，锦屏大设施为何建，如何建？
为何建
打造全球深地科学研究的前沿基地
岩石覆盖超过 2000 米的地下实验室，被称为极深地
下实验室。目前，美国、加拿大、日本、俄罗斯等国都在
建设极深地下实验室。 为何要建极深地下实验室？答案
和暗物质有关。
天文数据显示，目前世界上人类发现的物质只有 5%
左右，剩下 95% 的物质没被发现，这部分物质就是暗物质。
“对暗物质进行研究，将帮助我们很好地认识世界和宇宙。”
锦屏大设施工程指挥部副总指挥、总工程师，清华大学工
程物理系教授李元景说。
但此前，我国研究暗物质的极深地下实验室存在空
白，国内科研院所大多只能租用国外的实验室进行暗物质
与深地科学研究。直到 2010 年，中国锦屏地下实验室一
期建成投运，成为世界最深地下实验室。
本次锦屏大设施投运，使得中国锦屏地下实验室在一
期的基础上，实验厅总容积从约 4000 立方米扩大到约 33
万立方米，同时地上辅助实验平台建筑面积达到约 4000
平方米，有望成为世界深地物理实验的中心。
“锦屏大设施重要的目的之一是为了研究暗物质。”实
验室主任、北京师范大学党委书记程建平介绍，锦屏大设施
作为粒子物理和核物理领域的“国之重器”，不仅为暗物质、
中微子、核天体物理等前沿物理科学研究提供了极低辐射本
底实验条件，还是一个开放共享的大科学装置，为深地岩体
世界最深、最大的极深地下实验室正式投入科学运行
力学、深地医学等深地科学提供了绝佳的研究平台。
国投集团雅砻江公司锦屏地下实验室管理局局长李
名川说，在这里，研究内容不仅有暗物质、中微子探测、
物品的辐射检测和辐射方面的职业健康研究等，也有细胞
分裂、生殖发育、肿瘤免疫等医学研究，还有地震、岩石
力学等研究，甚至芯片的封装也在进行测试。“未来，这
里将形成多学科交叉的开放共享实验平台，打造成为全
球深地科学研究的前沿基地，助力国家科创平台跨越式提
升。”
如何建
地下 2400 米处建设最“纯净”实验室
科学家介绍，研究暗物质就得屏蔽各种宇宙射线，岩
石是天然的阻隔物。而且，随着岩层增厚，宇宙射线衰减
会越来越快，所以实验室不仅要建在地底，还会选择最大
的垂直岩石覆盖。
中国锦屏地下实验室位于凉山锦屏山地下 2400 米处，
锦屏山厚实的大理岩能把绝大部分的宇宙射线屏蔽掉，山
体本身的辐射也极低。“这些条件让这里成为科学家开展
暗物质研究的绝佳实验场所。”李名川说，相比世界第二
大的地下实验室，锦屏地下实验室的空间还要大将近一倍。
足够大的空间，意味着可以安装更大的科学设施，科学成
果取得的周期会大大缩短。
然而，深地实验设施项目对科学实验是优势，对工程
建设却是挑战。
譬如，位于地下 2400 米，厚实的大理岩能隔绝大部
分宇宙辐射，但岩体却会产生具有放射性的氡气，影响实
验精度 ；地下洞室空间有限、环境复杂等因素进一步增加
了工程建设难度……
如何破解建设难题？雅砻江公司与清华大学、中建三
局等单位开展联合技术攻关，创新防水抑氡工艺、研发低
本底设备材料、打造了“世界最深智能工地”。
针对氡气，施工单位创新使用 10 层材料，在 10 万平
方米的洞室表面层层设防，屏蔽岩石产生的水和氡气，氡
气抑制率达 99％。
下转第 13 页
Cover Story 封面专题
洁净室 CleanRooms China 2024年 第三期 11
微粒的来源分为无机性微粒、有机性微粒、有生命微
粒。对人体，易引起呼吸道和肺部的疾病，同时也
会使人过敏，病毒感染 ；对硅芯片而言，微尘粒子之附着
将造成集成电路线路的变形或短路，使芯片失去运作功能，
因此微污染源的控制已成为无尘室管理的重要环节。
洁净室环境控制的重要性在于确保生产过程中的环
境条件符合特定的清洁度标准，这对于许多行业来说至关
重要。以下是洁净室环境控制的重要性和具体作用 ：
1. 确保产品质量
1.1 防止污染 ：在半导体、制药、医疗设备等行业，
微小的颗粒污染物可能导致产品缺陷或失效。通过控制洁
净室内的空气质量和微粒浓度，可以有效避免这些污染物
对产品造成影响。
洁净室无尘环境控制的重要性
无尘室洁净度的维持和控制，除了前期硬件设备投资
外也需要良好的“软件”——管理制度来搭配，方能维持
良好的洁净度。由上图数据结果来看，作业人员对无尘室
内洁净度影响最大，作业人员进入无尘室时尘埃有显著增
加，有人员来回走动等动作时洁净度马上劣化，可见洁净
度劣化的主要原因是人为因素。
1.2 一致性 ：洁净室环境有助于维持生产工艺的一致
性和可重复性，从而保证产品质量稳定。
就玻璃基板而言，微尘粒子之附着将造成玻璃基板的
划伤，短路和贴附气泡等制程品质不良，而造成报废。因
此对污染源的控制已成为无尘室管理的重要环节。
外部尘埃侵入及防止
无尘室适当正压保持（>0.5mm/Hg）, 做好前期施工
工程保证不漏气，人员、设备、原材料、治工具、耗材等
携入无尘室之前必须做好清洁擦拭等防尘动作。同时清洁
工具需妥善放置及定时更换或清洁。
无尘室内发尘及防止
隔间板、地板等无尘室材料的适当选用，制程设备的
发生控制即定期保养清洁，生产人员人在其位不得随意走
动或较大肢体动作，特殊站点采取增加粘尘垫等预防措施。
2. 提高生产效率
2.1 减少废品率 ：通过减少生产过程中的杂质和污染
物，可以降低废品率，提高成品率，从而提高生产效率。
举例来说 ：晶圆生产有 600 个步骤，如果每个程序
的良率均为 99%，请问经 600 个制程程序之整体良率为多
少？答 ：0.99600 = 0.24%。
为了使一程序在经济考量上具有可行性的，试问每一
步骤之良率需多高？
• 0.999600 = 54.8%
• 0.9999600 =94.2%
每个制程良率需要达到 99.99% 以上才能满足最终制
程良率大于 90%，而微粒子的污染就会直接影响到制程良
率。
2.2 加速流程 ：在洁净环境中工作可以减少不必要的
清洁和返工时间，使得生产流程更加高效。
封面专题 Cover Story
12 洁净室 CleanRooms China 2024年 第三期
阶段 操作过程 时间 净化程序 规范要求
1级
不清洁阶
段w
工程施工和初期环
境准备
在隔间吊顶、
地坪安装之前
a.每日清除垃圾；
b.每日打扫工作区；
c.每日检查材料储存，
清理垃圾并转到废品储
存点；
a.禁止在现场吸烟吃、喝、玩。
b.必须在指定的区域进行焊接，管道的切割或其
它的生产操作，且必须放置灭火器。
c.操作过程中所有的钻孔，切割要使用真空技
术。
2级
清洁阶段
隔间、粉刷、吊
顶、地坪处理，吊
顶施工结束后用彩
条布加以维护
空调机试车之
前
a.每日清除垃圾；
b.每日检查材料储存，
清理垃圾并转到废品储
存点；
a.洁净室入口进行管制,强制性保安, 2-3个入口；
b.所有的材料要先解开原来的外包装，再换用木
制或纸制的包装材料；
c.清净室内地面每天都要使用吸尘器吸尘，拖把
擦拭，墙壁、天花吊顶都要使用抹布擦拭。
3级
非常清洁
阶段
空调机试车 高效过滤器安
装之前
a.要运到工作区的材
料，地板和表面用真空
吸尘器清洗；
b.入口处每日用真空吸
尘器清洗打扫；
c.洁净室的入口，要放
置粘尘地垫。
a.仅设一个出入口点,强制保安升级；
b.不允许纸制和木制材料进入净化室；
c.施工区域进行地面保护；
d.现场如果做以下工作，需要有特别批准才可以
进行:钻孔，磨削，打磨；锉/切割，管子套丝；
焊接；喷涂；
4级
超级清洁
阶段
安装高效过滤器 检查之前 a.每日至少进行三次真
空吸尘器打扫和水洗；
b. 进入净化室前，所
有工具和设备要进行无
尘，无油渍清洗；所有
的电线要完好无损；
a.仅设一个入口点/出口点；
b.必须签入，签出登记；
c.入口的配备要符合入口规范
d.不允许纸制和木制产品进入净化室；
e.工作区域进行地板保护；
5级
持续清洁
阶段
洁净室完成前试运
行阶段
呈交业主之前 a.每天做顺擦清洁；
b.每日至少进行三次真
空吸尘器打扫和水洗；
c.没有遮盖的地板每日
用真空吸尘器打扫；
a.仅设一个入口点/出口点；
c.必须签入，签出登记；
d.配备的入口要符合入口规范；
e.纸板和木制产品不许进入洁净室；
f.现场如果做以下工作，需要有特别批准才可以
进行:钻孔，磨削，打磨；锉/切割， 管子套丝；
焊接；喷涂；
3. 保障人员健康与安全
3.1 职业健康 ：对于一些可能释放有害物质的生产过
程，洁净室可以防止有害物质扩散到外部环境，保护工作
人员的健康。人类发展至今，技术进步、设备进步、知
识水平提高，但空气质量却退步了。人一生约吸入 27 万
M3 空气，70% ～ 90% 时间在室内度过。微小颗粒被人体
吸入，沉积于呼吸系统。5 ～ 30um 的颗粒沉积于鼻咽部位，
1 ～ 5um 的颗粒沉积于气管及支气管，1um 以下沉积于肺
泡壁。
长期处于新风量不足的室内易患“室内综合症”，出
现头痛、胸闷、易疲劳的症状，还容易引发呼吸系统和神
经系统等疾病。我国国家标准 GB/T18883-2002 规定，新
风量不应小于 30m3
/h. 人。
洁净室的新风量应取以下两项中的最大值 ：
a. 补偿室内排气量和保证室内正压值所需空气量之和。
b. 保证洁净室工作人员所需的新鲜空气。依据 < 洁
净厂房设计规范 > 每人每小时新风量不小于 40m3
。
3.2 安全生产 ：通过控制湿度、温度等环境参数，可
以避免静电放电等安全隐患，确保生产安全。
4. 满足法规与标准要求
4.1 行业标准 ：许多行业都有严格的洁净度标准（如
ISO 14644），必须在特定等级的洁净室内进行生产。符合
这些标准不仅是法规要求，也是企业竞争力的体现。
Cover Story 封面专题
洁净室 CleanRooms China 2024年 第三期 13
针对于洁净工作台、洁净棚、层流传递窗、风机滤网
机组 FFU、洁净衣柜、层流罩、称量罩、洁净屏、自净器、
风淋系列产品，需要规范对现有产品洁净度检测的方法，
提高产品的可信任度。
4.2 认证与审核 ：通过第三方认证机构的审核，获得
相关认证（如 GMP、ISO 9001 等），增强客户信任，扩大
市场准入。
5. 促进技术创新
5.1 研发支持 ：洁净室为高科技产品研发提供了理想
的实验环境，有助于加快新产品的开发进程。
5.2 工艺优化 ：在严格控制的环境下，更容易观察和
分析工艺变化对产品性能的影响，从而推动工艺改进。
6. 增强品牌形象
6.1 品质保证 ：拥有高标准的洁净生产设施，可以提
升品牌形象，增加客户对产品品质的信任。
6.2 市场竞争力 ：能够在洁净环境中生产的产品通常
被视为高质量和高可靠性的象征，有助于企业在激烈的市
场竞争中脱颖而出。
7. 减少维修与维护成本
7.1 延长设备寿命 ：在洁净条件下运行的生产设备和
工具不易受到腐蚀和磨损，从而延长使用寿命，减少维护
频率和成本。
7.2 降低能耗 ：通过优化洁净室的设计和管理，提高
能源利用效率，减少能耗和运营成本。
无尘室运行管理四大原则 ：
1. 不可带入 ：
HEPA 过滤器的骨架不能漏气。
室内必须维持设计之压力。
作业人员必须更衣，经过 Air Shower 后进入无尘室。
所有使用材料、设备、工具必须清扫干净后始可带进。
2. 不产生 ：
人员必须穿着无尘服。
减少不必要之动作。
不可使用容易发尘的材料。
没有必要的物品不可带入。
3. 不能堆积 ：
不能有不易清洁、清扫之角落及机器周边。
尽量减少外露在室内之风管、水管等。
必须按照标准方法与规定时间实施清洁。
4. 立刻排除 ：
增加换气次数。
在发尘部位附近排气。
改善气流形状以免尘埃附着于产品上。
总之，洁净室环境控制对于确保产品质量、提高生产
效率、保障人员健康与安全、满足法规要求、促进技术创
新以及增强品牌形象等方面具有重要意义。企业在建设和
维护洁净室时应充分考虑这些因素，确保洁净室能够满足
生产和研发的需求。
（苏州迈思德超净科技有限公司 叶茂晨）
中建三局锦屏大设施二标项目经理王伟介绍，为实现
更低的辐射本底，他们定制了所有设备、材料，并成功研
制低辐射水泥、金刚砂、岩棉及一批低辐射机电设备，最
大限度控制实验室辐射本底，打造最“纯净”实验环境。
目前，该项目建成全球最大的物理实验液氮恒温罐和
聚乙烯屏蔽舱，建成全球最长距离新风供风系统，有效解
决地下实验空间环境辐射精准控制难题。
中国工程院院士、中国辐射防护学会理事长罗琦说，
通过攻关关键技术和应用智能建造技术，锦屏大设施已建
设成为具备“极低环境氡析出”“极低环境辐射”“超低宇
宙线通量”“超洁净空间”等多种优势的国际一流深地实
验室，将对我国深地基础科学研究起到极大推动作用，也
为我国辐射防护科学事业提供了国际水平的平台。
此外，锦屏大设施还是国内唯一 1 个校企共建的国家
重大科技基础设施项目，是雅砻江公司和清华大学以产、
学、研合作方式助推国家基础科学研究的重大举措，开国
有大型企业支持国家基础科学研究的先河。
实验室管委会主任委员、雅砻江公司董事长祁宁春表
示，公司将和清华大学一道在基础研究、关键技术攻关上
持续发力，探索实现产学研深度融合，促进科学成果转化，
助力推动我国在基础研究领域的自主创新能力和科技综合
实力提升。
（四川日报全媒体记者 宁宁）
上接第 7 页
技术前沿 Tech Frontier
14 洁净室 CleanRooms China 2024年 第三期
500 nm 以下的黄光。近几年流行的 LED 灯加滤光片方案
做到了截止波长 520 nm 以下的黄光。随着芯片的更新迭
代，5nm 以下的制程芯片展现出低功耗和超强计算能力，
但 5nm 制程对光源提出了更高要求，截止波长需要在 550
nm 以下，上述传统荧光粉和 LED 黄光灯都无法满足 5nm
以下制程。
随着芯片制程不断推进，黄光制程几乎没有任何变
化，采用传统荧光灯叠加黄色荧光涂层，获得截止波长
500 nm 的光线（如下图为黄光光源光谱图）。
新型 LED 发光芯片的效率远高于荧光灯因此在照明
领域得到广泛应用。它采用了高效蓝光 LED 激发不同配
比荧光粉（如图 2 为日光灯光谱图），再叠加滤光片方案
获得了获得截止波长 520 nm 的光源，以获得更高的光通
量和更低的发热量。由于荧光粉的转化效率和光谱原因，
上述黄光仍然含有大量的蓝光成分，在经过滤光片后光能
量损失巨大。由此又发展了黄光单波长 LED 发光芯片（如
图 3 为黄光 LED 光谱图），利用黄光滤光片滤除其中的消
防蓝光，有效的提高了黄光有效光通量。
上面我们分析了三种黄光光源，不难看出 LED 光源
比传统荧光粉黄光源有了长足进步，但是对于 5nm 以下
光制程是芯片光刻的关键步骤，它利用短波长光对光
刻胶曝光制作出纳米级蚀刻线路，包括 436 纳米的
G-line、405 纳米的 H-line、365 纳米的 I-line、248 纳米的
Deep UV、193 纳米的 Deep UV、157 纳米的 Vacuum UV。
若无尘室内的照明灯具发出接近上述波段的光线，会造成
光刻胶异常结晶影响芯片生产良率。
芯片制程对照明的要求
针对黄光制程中光刻胶对不同波长光波的敏感度，考
虑人眼对光波的视觉函数，芯片黄光制程采用特殊波段光
源。传统的方案采用荧光粉加滤光片方案做到了截止波长
黄光制程是芯片制造过程的关键环节，传统的黄光使用不含有 520nm 波长以下光谱的光源以避免光刻胶结晶等异常
导致芯片报废。由于科技的进步和迭代，芯片制程从 28nm、14nm、7nm 不断进步，传统的黄光截止波长 520nm 的光源
已经不能满足 7nm 以下芯片制程要求。最新的芯片黄光制程专用光源截止波长为 535nm，甚至有些要求达到 550nm 以下
波长截止。除此之外还有光效高、省电、低眩光、无频闪、寿命长，不含汞等，因此新型 mini-LED 量子点黄光将取代传
统荧光灯和老式 LED 灯成为新一代芯片黄光制程专用光源。
邱晓华 惟怡科技
7nm 以下芯片黄光制程光源
Tech Frontier 技术前沿
洁净室 CleanRooms China 2024年 第三期 15
黄光，535nm 以下的光能仅占总能量的 0.1% 以下。在芯
片黄光制程实际使用中未发现光刻胶的结晶现象，完美的
解决了 5nm 以下芯片黄光制程中对光源的特殊要求。科
技的进步不仅带来了光效越来越高，而且在寿命、发热量
等方面都优于传统的 LED 黄光源。
我们针对市场上能够采购到的 LED 黄光灯（600mm）
进行了对比测试（右表）。我们看到在相同功率情况下，
日本台佳产品在色温的表现上略微领先其他客户，在辐射
亮度上比同类产品高约 30%。在一个灯组中原来需要 4 根
灯管的亮度等同于台佳 3 根灯管的亮度。除此之外整个灯
板的发热量大幅降低，LED 光源的寿命也有所延长。另
外芯片制程设备的交流电压为 277V，mini-LED 黄光源设
计具有抗突波组件，确保黄光源的寿命和可靠性。
结论
光源科技的进步不仅为人民生活带来品质提升，也给
工业产品带来了契机。不仅能耗降低，光效提高，光线定
制化满足客户的需求。在先进纳米制造的要求下，miniLED量子点材料一定会有更广泛的应用，在芯片存储领域，
TFT-LCD 领域、新型定制波长的照明系统将成为常态。
（维怡科技 邱晓华）
的先进芯片制程任然存在巨大隐患。 首先 500-535nm 波
段的绿光仍然会导致光刻胶产生细微的结晶，虽然光刻胶
的结晶颗粒可以小到 2-3nm，其针对 14nm 以上的芯片制
程 2nm 的晶粒缺陷不足以让集成电路产生重大瑕疵，但
针对 5nm 以下的先进芯片制程 2-3nm 的晶粒缺陷会让产
品良率急剧下降。
量子点 miniLED 黄光源给芯片先进制程带来了机遇
2023 年诺贝尔化学奖授予了量子点的三位发明人以
表彰他们在光转化材料领域做出的突出贡献。量子点材料
是一种无机物纳米颗粒，它的特性是可以吸收短波长光能，
受激辐射出长波长的光能，并且波长可根据量子点纳米颗
粒的粒径进行调控。不仅如此，量子点材料还具有半峰宽
窄、光转化效率高等特性。以 CdSe 为核心的量子点光转
化率更是可以达到 93% 以上，远高于其他荧光材料。
量子点材料的应用为特定光线定制化带来了可能，日
本台佳株式会社专为芯片黄光制程开发的黄光光源，采
用了新型 mini-LED 蓝光灯激发辐射波长为 585nm 的量子
点材料。由于量子点材料的高转化率，从其光谱曲线分
析其蓝光光能部分仅占总能量的 3-5%，再搭配针对 430-
470nm 的光吸收材料，获得了 535nm 的截止波段的优质
项目 欧洲P牌 欧洲O牌 国产A 台佳
功率 9.78 10.63 9.356 9.233
电压 229 229.6 229.7 229.6
电流 0.050 0.052 0.046 0.045
Wx 0.5282 0.4713 0.5483 0.5503
Wy 0.4707 0.5176 0.4592 0.4587
Ev 8487 8467 7579 12080
T 2339 3252 2099 2079
Lm/W 102.8 102.1 81.0 130.1
图 3 ：黄光 LED 叠加滤光片光谱图。
图 2 ：白光 LED 光谱图。
技术前沿 Tech Frontier
16 洁净室 CleanRooms China 2024年 第三期
洁净室性能是否达标对产品良率有非常重大的影响。
众所周知，半导体元器件生产对生产环境要求很严，
其生产技术的特殊性对生产环境中的洁净度、温湿度、正
压差、气流速度、气流总量以及气流分布、噪音振动、光
照度和静电防护（ESD）都有严格要求，因此需要对洁净
室性能做定期检测，以确保有持续满足生产的洁净室来保
障半导体生产有更高良率和更长使用寿命。
江苏美那集团在长期服务半导体洁净室环境运维中
总结了下面的洁净室性能参数需要定期检测，这些性能的
持续稳定达标并控制在合理范围内即可以提升产品良率，
同时也避免设备运行能耗过高。
洁净室性能参数建议定期检测以下项目 ：
1. 洁净室洁净度检测（0.1μm~5μm 粒经）
1.1 确定采样点数量和位置
1.1.1 确定最少采样点数量 ：NL= √ A （A= 洁净室的
面积平方米）
1.1.2 采样点在整个洁净室均匀分布，并位于主要工
作面高度
1.2 确定采样点的单次采样量
1.2.1 每个采样点的采用量不得少于 2L，采用时间不
得少于 1min
1.3 首先根据设备厂商推荐的方式将尘埃粒子计数器
开机预热、测量时间周期设定、设定采样点数和采样次数
等参数
1.4 将尘埃粒子计数器的采用探头应指向气流，如果
不能判断气流方向则将探头的进气口方向垂直向上。
1.5 每次采样前都要对设备采样气路进行自净
1.6 每个采样点重复采用 3 次，记录平均值
1.7 对数据做分析
1.7.1 95% 置信上限 UCL
1.7.2 如果每个采样点平均值均未超过 95% 置信上限
UCL，则可认为符合洁净度等级。
1.7.3 如果出现数据超限，可以重复测量，以排除操
作失误或设备不稳定等可能因素，如果还是数据异常，则
认定洁净度不达标。
1.7.4 建议每月至少做一次洁净度检测
1.7.5 对 12 个周期内的数据做统计分析
浅谈洁净室主要性能参数检测
计算采样点平均值的总平均值 X、计算平均值的标准
差 S，计算 95% 置信上限 UCL
2. 风量 & 风速检测
2.1 非单向流的洁净室检测送风量
2.1.1 为了排除送风口处局部气流的扰动和气流喷射
的影响，建议采用风罩测量末端 FFU 的送风量
2.1.2 可使用配有流量计的风罩直接测量
2.1.3 或用风罩出风的风速乘以有效面积求出送风量
2.1.4 如果没有风罩，可以用风速仪测量各个末端
FFU 出风面的风速，风速 X 出风面面积就是送风量
2.2 单向流的洁净室检测风速
2.2.1 单向流的风速决定单向流洁净室的性能
2.2.2 用风速仪在靠近末端过滤器表面测量风速
2.2.3 风速测量点距离过滤器出风棉 150mm~300mm,
2.2.4 测点数量 = √ 10A，最少不少于 4 个测点
2.2.5 多次测量，可记录平均值
2.2.6 垂直单向流风速 0.25m/s~0.5m/s, 水平单向流风速
0.3m/s~0.5m/s，这种气流可创造出 100 级、10 级，甚至 1 级
2.2.7 风速的均匀性测量
2.2.7.1 在生产设备和工作台安装到位后，应对每台
FFU 的出风卖弄上至少有一个测点，用以判断风速的均匀
性即愤俗分布数据。
下面的参数可供参考，最终按洁净室的设计要求为检
测依据
3. 封闭洁净室的空气压差检测
3.1 在检测空气压差前，应线确定送风量符合规定要求
采样点数量m 2 3 4 5 6 7~9
t 6.3 2.9 2.4 2.1 2.0 1.9
气流流型 洁净等级 送风量m/s
换气次数 (次/h)
单向流 垂直 10
100 >0.25
水平 100 >0.3
非单向流
1000 0.052 50~60
10000 0.4713 25~30
100000 0.5176 15~20
Tech Frontier 技术前沿
洁净室 CleanRooms China 2024年 第三期 17
3.2 所有的门保持关闭
3.3 如果有多间洁净室，先测量最里层房间与相邻房
间之间的压差，然后依次向外层测量，直至测量到最外层
的洁净区域与室外环境之间的压差
3.4 压差一般很小，测量方法不正确很容易造成数据
不准确，设定固定位置作为测量点，测量点建议设置在洁
净室中央，远离可能影响测量结果的局部压力的送风口和
回风口处
3.5 建议每月做一次空气压差检测
3.6 用微压计或压差计依次测量每个洁净区的绝对压
差，并记录数据
3.7 从换鞋区到更衣区到缓冲区到低洁净度到高洁净
度区域依次的绝对压差为 5Pa,10Pa,15Pa,20Pa,25Pa ……维
持合理的递增压力梯度，
3.8 计算相邻的洁净区之间的相对压差
3.9 相对压差一般建议维持在 5~15Pa
3.10 洁净度等级越高相对压差越大
依据洁净室的具体要求可选择检测的参数包括以下
项目 ：
1. 已装过滤系统捡漏
1.1 该项检测应在空态或静态下进行
1.2 或在更换了过滤器之后进行
1.3 使用气溶胶光度计检测，在过滤系统上风向引入
气溶胶发尘，在过滤系统下风的风管中采样。
1.3.1 在过滤器上风向气溶胶发尘浓度为 10 ~100 mg/
m3, 并记录所有注入口和采样点，气溶胶浓度随时间变化
不应超过 -15%~+15%
1.3.2 将光度计采样探头在下风向查找漏点。采样探
头距过滤器出风面约 3cm, 以 5cm/s 扫描速度覆盖整个过
滤器出风面及周边和框架密封处。
1.3.3 记录读数，如果读数大于气溶胶浓度的 10-4
（0.01%）时，可认为存在渗漏
1.4 与光度计相比，粒子计数器更灵敏，对过滤系统
的污染也更小
1.4.1 在过滤器洁净侧扫描检测，采样探头距出风面
约 3cm 处，如果发现读数大于可接受观测计数值，则可
能存在渗漏，多次检测确认
2. 温湿度监测
2.1 使用温湿度计对室内空气检测
2.2 记录结果，应满足洁净室标准要求
2.3 温湿度计传感器应在被检测环境中处于稳定状
态，检测时间不少于 5min
2.4 温湿度计的检测位置周围应没有明显的影响温度
和湿度的设备
3. ESD 检测
3.1 静电检测 3.1.1 表面电压测量
3.1.1.1 使用静电电压计测量工作表面或产品表面的
正负静电荷
3.1.1.2 首先将静电电压计清零，使探头的感应口与金
属板平行，探头与金属板的距离依设备说明书要求
3.1.1.3 测量表面电压时，将探头靠近被测体表面，探
头距离方式和清零时相同
3.1.1.4 依据防静电等级标准检测
3.1.2 表面电阻测量
3.1.2.1 测量表面电阻（表面不同位置之间电阻）和泄
漏电阻（表面与大地之间的电阻）
3.1.2.2 使用的表面电阻测试仪时应采用质量和尺寸
都适当的电极来测量，并且保持电极和物体表面充分接触
3.1.2.3 依据防静电要求检测，一般表面电阻率控制在
105~1011，甚至可以控制在 106~109.
3.2 离子发生器检测
3.2.1 离子发生器的主要性能有放电时间和补偿电压
3.2.2 放电时间检测使用具有已知的电容监测板进行测量
3.2.2.1 首先用电源给监测板充电，使其达到或正或负
的电压。
3.2.2.2 将监测板置于离子发生器的电离气流中，用静
电电压计和计时器测量监测板上的静电荷随时间的变化
3.2.2.3 放电时间的定义是监测板上的静电电压减少
到 10% 的初始电压的时间
3.2.2.4 监测板上的正电和负电都有进行检测
3.2.3 用安装在绝缘体上的充电监测板测量补偿电压
3.2.3.1 首先将监测板接地以消除残余电压，并确认板
上电压为零
3.2.3.2 将监测板暴露在电离气流中，直到静电电压计
的读数稳定，此时的电压就是补偿电压
以上是美那集团在实际服务中的总结，依据行业不
同洁净室等级和产品要求不同适当调整检测参数和规范标
准。（ 江苏美那洁净科技集团）
联系方式：
电话：13570869826 13570863916
网址：www.xjvav.com邮箱：sunking6688@163.com
电子半导体照明方案
YJGP冠系列
嵌入式洁净天棚灯
⸆桦8
YJ4A禹
䅺Ⰶ䒭䌄缺鴝峇ⲙ抧
⸆桦8
生物医药照明方案
YJTBar02
䅺Ⰶ䒭륫낧抧
YJTBar03
エ곝ծ䅺Ⰶ䒭륫낧抧
体积⼩亮度⾼易安装
适⽤于等级为
10-1000的应⽤场所
⽩⻩双⾊可选
防⽌灰尘积聚空⽓乱流
体积⼩亮度⾼易安装
适⽤于等级为
10-1000的应⽤场所
⽩⻩双⾊可选
防⽌灰尘积聚空⽓乱流
⸆桧10/15/24W
FFU⻰⻣嵌⼊ 嵌⼊吸顶两种安装⽅式
⼴泛⽤于各类电⼦⾏业
⻋间/半导体组织芯⽚制
造⻩光作业等各种⾼
等级洁净室
外置驱动电源
尺⼨光⾊可定制、灯罩根
据安装⾼度选择透明
条纹/磨砂
YJMB-A
䅺Ⰶ䒭♳唬⥝湧匣抧
灯体和光源任意组合
⽩⻩光双⾊可选
可定制不同功率和规格
单开双开两种检修⽅式
⸆桧54/72W
可配置不同品牌T5/T8
灯体完美配合FFU
⻰⻣安装
YJMB-B
䅺Ⰶ䒭♳唬⥝湧匣抧
SMD进⼝芯⽚，光效⾼
寿命⻓
灯体可接受⾮常规定制
最⼤承受重量为120KG
单开双开两种检修⽅式
⸆桧40/60/80/100/120W
可定制不同功率和规格
YJLZ-A
抧盗䒭岦棟抧
灯体和光源任意组合
⽩⻩光双⾊可选
可根据需要配置带公⺟
接头连接线
⸆桧9/13/18/24/36W
可配置不同品牌
T5/T8光源
SMD泪珠灯
YJLZB
可根据需求定制不同
尺⼨和功率
光源模块化设计，安装
维修简易
灯体采⽤单⾊⻩光光源
抗UV⻩光罩双重设计
⸆桧10/16/24/36/54/80W
泪珠平滑造型，防⽌
灰尘集聚空⽓乱流
可根据需要配置带公⺟
接头连接线
泪珠平滑造型，防⽌
灰尘集聚空⽓乱流
⸆桧10/15/24/36/54W
YJTBar02 YJTBar03
双⾊可选
YJLZ-A YJLZ-B
灯管式上检修盲板灯 贴⽚式上检修盲板灯 洁净区
⾼效过滤器
检修区
吊顶
YJHN虹系列 YJ4A系列 YJGP冠系列
吊顶
洁净区
检修区
YJHN赙禹
LED防⽔峇ⲙ⾯板灯
⸆桦fl8
通过CQC权威认证满⾜IP67防护要求
实现全防⽔标准
正⾯螺钉、暗藏⽀架、背部强磁三种
安装⽅式满⾜不同需求
外壳特殊涂层⽆惧VHP、盐雾等
消毒环境
整灯UGR⼩于19、蓝光危害等级RG0
双⾊可选 双⾊可选 双⾊可选
Pc透明⾯板
灯体完美配合FFU
⻰⻣安装
灯具外壳为6063航空铝材，保证灯体
强度和散热，保证灯具寿命
灯具正⾯防护级别⾼达IP65，保证
灯具⽓密性，⽆惧泄漏⻛险
⼩翻边设计，⼏乎保证灯具与顶板
⻬平，美观⼤⽅
光源、电源模块化设计，更易于
检修及更换
后检修设计，避免室内检修，保证
室内洁净度
以上产品均可配置⻩光光源，有效⾰除500nm紫外线，⾰除率⼤于99.9%可⼴泛应⽤于
PCB线路板、光刻、蚀刻、印刷制版、微电⼦等⽣产加⼯区域
地址：深圳市⻰岗区宝⻰街道宝⻰社区翠⻰路6号⻰德健康产业园⼤厦7层
⽹址：www.yjledcn.com 电话：（+86）755-22955466 传真：（+86）755-22957466
廩⻌云Ꞥ撑明猰技有限公司ⴔ
湖北省武汉市武昌区中北路259号越秀星悦峯912
歏霢（T E L）027-87711120
㔋䊛✻Ꞥ撑明猰技有限公司ⴔ
㔋䊛溁䧭鿪䋑武⣵⼓㣔䏎♲遳1599〿㣐彂妅⛙곩5叿
歏霢（T E L）028-87696765
国药⼯程与云镜照明联袂发明专利产品
国内⾸创的创新型拼接模块化安装⽅式
《⽣物安全疫苗⽣产⻋间建筑技术规范》
指定照明设备
可满⾜定制化需求，最⼤尺⼨
40000*1180，最⼤功率1000w
覆盖所有洁净照明需求
灯具下沿与顶板平⻬，简洁美观
灯具正⾯防护IP65，满⾜洁净室
⽓密性要求
帿㖕䋑✻Ꞥ撑僈猰䪮剣ꣳⰖ僽♧㹻⚁⚌➢✲「䱽梠㞯撑僈霃㢊灇〄ծ欰❡⿺Ꝉ㈒涸넞倝䪮助⟱⚌ծ⚁礵暵倝⟱⚌կⰖ䧭用✵
䎃䚪鿈⡙✵帿㖕㹈륫䊨⚌㔩䭆剣⚎蛵⿺䟃䊜⚙㣐ⵖ鸣⚥䗱ⴔ霃⼶⽂ծ⼶⚎ծ⼶⚥ծ銯⽂㔋㣐蠒Ꝉ⚥䗱կⰖ⚺蠒⚌⸉⺫ゎ䊨⚌撑僈
霃㢊ծ峇ⲙ㹔撑僈霃㢊ծ兰腊嶊禹絡ծ兰腊撑僈禹絡կ✻Ꞥ撑僈⣜ꬑ珘㹁涸❡品品餘ㄤ霟⥌涸絑蠒椚䙁䊺䧭⚹峇ⲙ撑僈遤⚌涸곭ⱙ⟱⚌
Ⱆ㨤絊⚁岤䎇帿罭峇ⲙ撑僈絈ⴔ遤⚌䎇䡦⚹霪遤⚌⨴䐀ծ葻䚍〄㾝⡲ⴀ不䥮㖑⸖⸂ㄤ餑柄կ䧮⟌涸㸺傋僽䌐⸔ざ⡲罏䧭⸆
Tech Frontier 技术前沿
洁净室 CleanRooms China 2024年 第三期 21
（一）洁净区的分类与标准
洁净级别的划分主要依据空气中的颗粒数量和空气
洁净度。
悬浮粒子 ：
GMP 规定了对洁净区内空气悬浮粒子的严格控制。
根据药品的生产工艺和质量要求，洁净区通常分为 A、B、
C、D 四个级别。不同级别的洁净区对空气中的微粒数量、
微生物限度、温度、湿度和压差等都有严格的规定。
A 级洁净区 ：为高风险操作区，如灌装区、放置胶塞
桶和与无菌制剂直接接触的敞口包装容器的区域及无菌装
配或连接操作的区域，通常用单向流操作台（罩）来维持
该区的环境状态。
B 级洁净区 ：指无菌配制和灌装等高风险操作 A 级
洁净区所处的背景区域。
C 级洁净区和 D 级洁净区 ：为无菌药品生产过程中
重要程度较低的洁净操作区。
具体数值上，A 级区域可能要求悬浮粒子浓度达到“百
级”水平（即每立方米空气中悬浮粒子数不超过一定数量，
如 ISO 4.8 标准下的某些粒径粒子数），而 B 级、C 级、D
级区域则依次放宽。
沉降菌 ：
沉降菌是指能沉降在地面或物体表面的微生物。
GMP 对洁净区内沉降菌的数量也有明确限制。不同洁净
级别的区域对沉降菌的容忍度不同，高级别区域要求更为
严格。例如，在某些 GMP 标准下，A 级区域的沉降菌数
量可能要求极低，甚至接近无菌状态 ；而 D 级区域虽然
要求相对较低，但仍需控制在一定范围内。
浮游菌 ：
浮游菌是指悬浮在空气中的微生物。GMP 同样对洁
洁净室是现代科学技术发展的产物，它将特定空间内
的空气中的尘埃、微粒子、有害空气、细菌等污染
物排除，并将室内温度、湿度、洁净度控制在一定范围内
的特殊环境。从 20 世纪 60 年代发展至今，洁净室已广泛
应用于医药生物、电子信息、航空航天、精密仪器等行业。
这些行业依靠洁净室通过最大限度地减少环境污染物和保
持精确的清洁标准来确保产品质量和安全。按洁净室主要
控制对象划分洁净室可划分为：生物洁净室、工业洁净室。
工业洁净室是以控制非生物微粒的污染为主要任务，而生
物洁 净室则以控制生物微粒的污染为主。
生物制药洁净室，是生物制药行业的关键环节，在生
物制药中扮演着重要的角色，其环境的严格把控直接关系
到药品质量和生产效率。严格的法规推动了洁净室技术，
确保了药品安全生产的无菌环境。我们在从事生物制药行
业时，其生产的全过程通常必须满足药品生产质量管理规
范（Good Manufacturing Practice,GMP），才能对产品的质
量加以保证。GMP 标准旨在最大限度地降低药品生产过
程中污染、交叉污染以及混淆、差错等风险。GMP 标准
涵盖了从原材料选择、生产过程、设备和设施、产品质量
控制等生产环节。
一般来说，生物制药车间洁净区会根据 GMP 标准被
分为不同的等级，对于不同级别的洁净区域，有着具体且
严格的要求，这些要求涵盖了多个方面，包括悬浮粒子、
沉降菌、浮游菌和表面微生物的限度标准。这些标准不仅
是制定清洁消毒程序的基础，也是评估清洁消毒效果、确
保药品生产环境持续符合洁净标准、保障产品质量与安全
性的重要参考。
GMP 标准下医药厂房洁净室设置要求
洁净度级别 悬浮粒子最大允许数/立方米
静态 动态(3)
≥0.5μm ≥5.0μm(2) ≥0.5μm ≥5.0μm
A级(1) 3520 20 3520 20
B级 3520 29 352000 2900
C级 352000 2900 3520000 29000
D级 3520000 29000 不作规定 不作规定
技术前沿 Tech Frontier
22 洁净室 CleanRooms China 2024年 第三期
我们可以根据不同的生产需求选择不同等级的生物
制药洁净车间。下面是各类常见的生物制药车间洁净区对
GMP 洁净度等级的要求 ：
• 无菌生产车间 ：无菌生产车间用于生产无菌药品，如
注射剂、眼药水等。在 GMP 规定下，这类车间的洁
净区需要满足最高级别的洁净度等级，通常是 GMP
的 A 级。
• 生物制剂车间 ：生物制剂车间用于生产生物药品，如
抗体药物、疫苗等。这类车间的洁净区洁净度等级要
求可能会因为生产过程的不同而不同，但通常至少需
要达到 GMP 的 B 级。
• 细胞培养车间 ：细胞培养车间用于进行细胞培养相关
的操作，如细胞分离、细胞培养、细胞冻存等。这类
车间的洁净区洁净度等级要求可能会因为操作的不同
而不同，但通常至少需要达到 GMP 的 C 级。
• 有害物质处理车间 ：有害物质处理车间用于处理有害
物质，如放射性物质、毒性药品等。这类车间的洁净
区洁净度等级要求可能会因为物质的危险性和处理过
程的不同而不同，但通常至少需要达到 GMP 的 D 级。
（二）洁净区的环境要求
环境控制是微生物防控的第一道防线。通过精准的温
湿度控制、高效的通风系统以及先进的空气净化设备，可
以显著降低 GMP 车间内的微生物数量。此外，定期对车
间进行大扫除和深度清洁也是必不可少的环节。如空气中
的微生物可以通过通风系统进入车间，并附着在设备表面
和产品上。
温度、湿度和压差的严格控制
• 温度 ：适宜的温度范围能够保证生产过程中物料的
稳定性和操作人员的舒适度，一般控制在 18 - 26℃。
• 湿度 ：相对湿度通常控制在 45% - 65%，以防止微生
净区内浮游菌的数量进行了规定。与沉降菌类似，不同洁
净级别的区域对浮游菌的容忍度也有所不同。浮游菌的监
测和控制对于评估洁净区的无菌状态具有重要意义，因为
浮游菌的存在可能直接威胁到产品的无菌性。
表面微生物 ：
GMP 还规定了洁净区内表面（如设备、墙面、地面等）
的微生物限度标准。这些表面是微生物可能滋生和传播的
重要场所，因此必须定期进行清洁和消毒。洁净区内表面
的微生物监测通常包括使用接触碟法、棉签擦拭法等方法
进行取样和培养，以评估表面的微生物污染状况。
生物安全实验室
生物安全实验室是通过防护屏障和管理措施，来避免
或控制被操作的有害生物因子危害，从而达到生物安全要
求的生物实验室和动物实验室。作为生物洁净室的重要应
用领域，生物安全实验室对于洁净空间中的微粒、微生物
等的控制要求更为严格，相比于普通生物洁净室，生物安
全实验室采用负压结构，并对洁净度、最小换气次数、温度、
湿度等多项指标有着更为严格的要求。其主要技术指标为：
洁净度
级别
浮游菌
cfu/m3
沉降菌(f90mm)
cfu/4小时(2)
表面微生物
接解(f55mm)
cfu/碟
5指手套
cfu/手套
A级 <1 <1 <1 <1
B级 10 5 5 5
C级 100 50 25 -
D级 200 100 50 -
注 ：(1) 表中各数值均为平均值
(2) 单个沉降碟的暴露时间可以少于 4 小时，同一位置可使用多个沉降碟连续
进行监测并累积计数。
洁净区微生物监测的动态标准如下 ：
级别
相对于
大气
的最小
负压
与室外方向上
相邻相通房间
的最小负压差
(Pa)
最小换气
次数
(次/h)
BSL-1/ABSL-1 - - 可开窗
BSL-2/ABSL-2中的a类
和b1类 - - 可开窗
ABSL-2中的b2类 -30 -10 12
BSL-3中的a类 -30 -10
15或12
BSL-3中的B1类 -40 -15
ABSL-3中的a类和b1类 -60 -15
ABSL-3中的b2类
BSL-4
-80
-60
-25
-25
ABSL-4 -100 -25
Tech Frontier 技术前沿
洁净室 CleanRooms China 2024年 第三期 23
物滋生和物料吸湿。
• 压差 ：不同洁净级别区域之间应保持适当的压差，
以防止污染和交叉污染。一般来说，洁净区与非洁
净区之间的压差应不小于 10 帕斯卡，相邻不同级别
洁净区之间的压差应不小于 5 帕斯卡。
空气质量与微粒监测
• 空气质量 ：应定期检测空气中的微生物和尘粒数量，
确保其符合相应洁净级别的要求。
• 微粒监测 ：采用合适的监测设备和方法，对空气中
的微粒大小和数量进行实时监测，并对监测数据进
行分析和评估。
洁净区表面的要求
洁净室（区）的内表面应满足以下标准 ：
• 平整光滑 ：内表面必须平整、光滑，无裂缝和颗粒
物脱落。
• 接口严密 ：接口要严密，以防止污染物的进入。
• 耐清洗和消毒 ：材料必须能够耐受频繁的清洗和消
毒。
• 弧形设计 ：墙壁与地面的交界处宜成弧形，或采取
其他措施减少积聚并便于清洁。
• 照明 ：洁净区的光照度应不低于 300 勒克斯，有特
殊要求的生产部位可设置局部照明。
（三）洁净区的管理要求
人员是 GMP 车间中最不稳定的因素之一。因此，必
须建立严格的人员管理制度，包括定期的培训和考核、严
格的着装要求、进出车间的管理以及健康监测等。通过这
些措施，可以有效降低人员带来的微生物污染风险。
洁净室的管理要求
• 人员进入要求 ：进入洁净室（区）的人员必须按要
求更鞋、更衣、洗手、消毒，严格控制人员数量，
定期培训工作人员，监督和登记外来人员。
• 缓冲设施 ：洁净室（区）与非洁净室（区）之间应
设置缓冲设施，人流和物流走向合理。
• 洁净工作服管理 ：10 万级以上区域的洁净工作服应
在洁净室内处理，必要时灭菌。
• 设备表面要求 ：设备保温层表面应平整、光洁，不
得有颗粒物脱落。
• 卫生工具：应使用无脱落物、易清洗、易消毒的工具，
并存放于专设的洁具间内。
• 洁净状况监控 ：静态下检测尘埃粒子数、沉降菌数
必须符合规定，定期监控动态条件下的洁净状况。
• 空气循环 ：净化空气可循环使用并适当补入新风，
对产尘量大的工序，回风应排出室外以避免污染。
• 系统维护 ：空气净化系统应定期清洁、维修、保养
并记录，室内消毒与地漏清洁也应有记录。
• 物品存放 ：生产工具、容器、设备等应定置存放，
并有状态标记。
• 个人卫生 ：严格按照生产人员卫生要求执行。
物料管理、存储要求
必须建立严格的物料验收、储存、传递和使用制度，
确保物料在各个环节中都不会受到污染。同时，对设备进
行定期的清洁、维护和消毒也是必不可少的环节。只有这
样，才能确保设备在正常运行的同时不会成为微生物滋生
的温床。
• 仓储区取样 ：仓储区可设取样室，取样环境的空气
洁净度应与生产要求一致。
• 温湿度控制 ：按规定条件储存对温度、湿度有特殊
要求的物料、中间产品和成品。
• 分开储存 ：固体、液体原料应分开储存，挥发性物
料应避免污染其他原料。
• 清洁容器 ：加工后的药材应使用清洁容器或包装，
并与未加工药材严格分开。
• 复验制度 ：物料储存期内应有定期复验制度，特殊
情况及时复验。
• 危险品管理 ：易燃易爆、有毒腐蚀性强的物品应储
于专用危险品库，并有防火安全设施。
此外，风险评估是微生物防控体系中的重要环节。通
过对生产过程中各个环节进行风险评估，可以识别出潜在
的微生物污染源并采取相应的防控措施。同时，建立完善
的监控系统对 GMP 车间内的微生物水平进行实时监测和
下转第 25 页
技术前沿 Tech Frontier
24 洁净室 CleanRooms China 2024年 第三期
母菌种最合适的生长温度。
气流曾经是污染的常见原因，但
是如今的洁净室 HVAC 系统几乎消除
了空气污染。洁净室内的空气被定期
地进行颗粒计数，活菌数，温度和湿
度的控制和监测（比如，每天，每周，
每季度）。HEPA 过滤器用于控制空
气中微粒计数，它具有过滤掉微粒使
颗粒物下降到 0.2µm 的能力。这些过
滤器通常是在一个标定流量下保持持
续地运行，从而维持房间内的空气质
量。湿度通常保持在一个较低的水平
以防止像细菌和霉菌这样的喜欢潮湿
环境的微生物增殖。
事实上洁净室最高水平和最常见
的污染来源是操作人员。
污染的来源和进入路径并不因行
业的不同而有显著区别，但是在可容
忍的和不可容忍的污染水平方面行业
之间还是有差异的。比如，可摄取片
剂的生产商不需要保持与直接导入人
体内的可注射试剂的生产商同样的清
洁程度。
制药生产商对于微生物污染要比
高科技电子产品制造商有更低的容忍
度。生产微观产品的半导体制造商不
洁净室主要有两种污染来源 ：颗
粒和微生物，这两种污染可能由于人
员和环境因素，或者过程中的相关活
动因素而产生。尽管尽最大的努力，
污染还是会渗入洁净室内。具体常见
的污染载体包括人体（细胞、毛发），
环境因素比如灰尘、烟、雾或设备（实
验设备、清洁设备），还有不当的擦
拭技术和清洁方式。
最常见的污染载体是人，即使最
严密的着装和最严格的操作步骤，训
练不当的操作人员是洁净室内最大的
污染威胁，不按照洁净室指导规则来
操作的员工是一个高风险因素，只要
有一个员工操作错误一步或者忘记一
个步骤，就将导致污染整个洁净室。
公司只有凭借零污染率地持续监控和
不断更新培训来保证洁净室的清洁。
其他的主要污染来源是工具和设
备，如果一个推车或一台机器在进入
洁净室之前只经过粗略的擦拭，就有
可能带入微生物。通常情况下，工作
人员并没有意识到轮式装备在推向洁
净室的过程中滚过污染了的地面，表
面（包括地板、墙壁、设备等）是通
过使用专门设计的接触碟，其中含有
胰酪胨大豆琼脂（TSA）和沙氏葡萄
糖琼脂（SDA）的生长培养基，对活
菌计数进行定期检测。TSA 是专为细
菌设计的生长培养基，SDA 是专门
为霉菌和酵母菌设计的生长培养基。
TSA 和 SDA 通常在不同的温度下培
养，TSA 暴露于 30-35˚C (86˚-95˚F)
温度范围内，这是对大多数细菌来
说最佳的生长温度。而 20-25˚C (68˚-
77˚F) 温度范围是对大多数霉菌和酵
洁净室鉴定细菌的重要性
能接受任何微粒污染，以保证产品的
功能性。因此，这些公司只关心要植
入人体的产品的无菌性和芯片或手机
的功能性。他们对于霉菌、真菌或其
他在洁净室内的微生物污染形式关注
相对较少。另一方面，制药公司关注
所有的活的和死的污染源。
制药行业受 FDA 管制，必须严
格遵照生产规范 GMP 规定来操作，
因为制药行业受污染影响的结果具有
很大的危害性。药品制造商不仅要确
保他们的产品是没有细菌的，同时他
们被要求所有的一切都需要有文件进
行记录追踪，一家高科技设备公司只
要通过其内部的审核，比如一台笔记
本电脑或电视机能正常运转，那么就
可以正常发货。但是对于制药行业来
说并没有那么简单，这就是为什么拥
有、使用并记录洁净室的操作守则对
于一个公司来说至关重要的原因。基
于成本的考虑，许多公司请外部专业
清洁服务公司来做清洁服务。
全面洁净室环境检测项目应包括
Tech Frontier 技术前沿
洁净室 CleanRooms China 2024年 第三期 25
很多方面，制造环境的生物测定 ；终
端产品的细菌鉴定测试 ；无菌产品和
水中没有被命名的生物 ；生物行业的
发酵储存技术的质量控制 ；验证过程
中的微生物测试验证。FDA 通过细菌
鉴定来确认能够在一个特殊的环境中
生存的方法将变得越来越普遍。当微
生物污染水平超标或无菌测试结果表
明污染时，需要验证清洁和消毒剂的
效果评定以及排除污染来源鉴定。
可见的和不可见的空气微粒。虽然没
有要求在这些控制环境中所有的污染
微粒都要进行微生物识别。环境控制
程序应该包括样品提取细菌鉴定的一
个适当水平，目前有许多可用的细菌
鉴定方法。
细菌鉴定的第一步，尤其是涉及
到洁净室隔离，是革兰氏染色法，因
为它可以提供微生物污染来源的解释
线索。如果微生物分离鉴定显示革兰
氏阳性球菌，污染可能来源于人类，
如果微生物分离鉴定显示革兰氏阳性
杆菌，污染可能来源于灰尘或耐消毒
剂的菌株。如果细菌分离鉴定显示为
革兰氏阴性杆菌，污染来源可能来自
于水或任何潮湿表面。
制药洁净室的微生物鉴定是非常
有必要的，因为它关联到质量保证的
有两种洁净室环境表面监测方法：
1. 接触碟法
这些特殊的培养皿中包含了无菌
生长培养基，这个准备好的培养基比
器皿边缘要高出为宜。接触碟盖盖住
需要被取样的表面，任何表面可见的
微生物将附着在琼脂表面并且孵化。
这个技术能够显示表面的可见的微生
物数量。
2. 棉签擦拭法
这是无菌的并且存储在一个合适
的无菌液体中。棉签在测试表面进行
取样，通过将棉签在介质中进行回收，
从而鉴定微生物的种类。棉签通常被
用在表面不平整的区域，或者被用于
难以用接触碟取样的区域。棉签取样
更多的是一个定性测试。
（ITW TEXWIPE）
记录也是至关重要的。通过数据分析
可以发现潜在的问题并及时采取改
进措施。即使建立了完善的微生物
防控体系，也难免会出现意外情况。
因此，必须制定完善的应急预案以
应对突发的微生物污染事件。应急
预案应包括发现污染后的处理流程、
追溯机制以及后续改进措施等内容。
只有这样，才能在最短时间内恢复
生产并降低损失。
GMP 作为国际通行的药品生产
质量管理标准，对制药厂的洁净区
环境管理提出了明确的要求 , 对于
制药企业来说，满足 GMP 规范要求
是保障药品质量的必然选择。随着
技术的不断进步和市场的不断需求，
GMP 净化工程必将呈现出一系列新
的发展趋势。
GMP 净化工程未来将更加注重
智 能 化、 绿 色 环
保和全球化合作，
市场规模将进一
步扩大，为医药、
食品等行业提供
更 加 高 效、 安 全
和环保的生产环
境 ：一 是 技 术 集
成 与 智 能 化， 洁
净车间将与物联网、大数据、人工
智能等技术深度融合，实现环境参
数的实时监测、自动控制、故障预
警等功能，提高生产效率和质量控
制水平。二是法规标准与国际接轨，
随着全球药品、医疗器械市场的开
放，GMP 洁净车间的设计、建造、
运行将更加遵循国际标准，如 ISO、
FDA 等，以满足跨国生产、出口认
证等需求。三是绿色建筑与可持续
发展，洁净车间将采用节能、节水、
减排、可再生材料等绿色建筑技术，
降低能耗，减少环境污染，实现可
持续发展。四是服务模式创新与产
业链整合，洁净车间提供商将提供
从设计、施工、验证、运维到培训、
咨询的一站式服务，同时，与上游
设备供应商、下游生产企业等建立
紧密合作关系，形成产业链协同效
应，提升行业整体竞争力。（王磊）
上接第 23 页
企业微时间 Enterprise Micro Time
28 洁净室 CleanRooms China 2024年 第三期
洁净车间里的“黑马”
25 微升的血液能同时检测多少
个指标？一款小小的留置针何时才能
实现国产替代？检测一味药材主要成
分的含量需要多久？近日，记者在南
昌多家医药健康企业的洁净车间里找
到了新答案。
医药健康产业是南昌的特色产
业，它既是战略性新兴产业的重要组
成部分，也是未来产业重点布局的领
域。
如今，多家本土企业以研发新技
术、新工序、新产品为切入点，创新
质态、更新工序、引领风向，以“黑
马”之势为南昌加快形成新质生产力
增添新动能。
从“1”到“12+”的技术领跑——
“要做就做第一”
“这是我们新招募的研发人员，
来自同济大学的高材生。今年一季度，
我们的研发投入占营业收入的 16%。”
刚走进位于南昌高新区创新一路的江
西赛基生物技术有限公司（以下简称
“赛基生物”）办公区，总经理熊霞就
自豪地向记者介绍。
赛基生物有工作人员 139 人，其
中研发人员 42 人，占总人数的三成 ；
组建了企业技术中心和市级工程技术
研究中心，设有专门的试验检测室、
PCR实验室和万级、10万级洁净车间。
“我们是全国首家发明新型流式
细胞技术的企业，开创了能够在单一
试管中同时测定 12 个指标的流式荧
光平台。此外，我们与北京协和医院
等国内 500 多家三级甲等医院保持紧
密合作，市场占有率高达 70%。”熊
霞娓娓道来。
7 年前，公司刚成立时只有熊霞、
两名研发人员和一名业务员。“同时
测 12 个指标”，对当时的国内免疫检
测领域而言，就像一个遥不可及的梦。
据介绍，之前国内的免疫检测企
业虽然数量不少，但普遍技术水平较
低。其中两种主要的中高端技术——
化学发光法、流式细胞术也分别存在
检测成本高、指标单一、操作复杂等
诸多问题。
“我们通过市场分析后发现，免
疫诊断正逐渐成为体外诊断市场份额
最大的赛道，所以锚定‘从 1 到 12’
这个目标开始突破，立志要做就做第
一！”熊霞告诉记者。
江中药谷液体制剂车间加装近红外设备实现在线检测
功夫不负有心人。两年后，赛基
生物自主研发出了国内首个多指标细
胞因子检测试剂盒。“只需要 25 微升
样本量就可以检测 12 个指标，远超
同类产品用量 100 微升且指标单一的
情况。”熊霞介绍道。
依托这项高度集成化、快速检测
显示且操作简易的新技术，赛基生物
不仅开辟了我国流式细胞检测技术的
新局面，还将其应用范围从原本复杂、
小众的科研领域，拓展到感染、肿瘤、
ICU、生殖和心血管等多门类的临床
诊疗中。
“从 1 到 12”实现了，但熊霞和
她的科研团队并没有松一口气。“其
他企业也在不断研发，很快就会追上
来。”
“12”往上能走多远？这项领先
技术还能运用到哪些领域？
从“12”再出发，赛基生物的研
发部扩团队、抓核心、抢节点，冲向
下一个目标——阿尔茨海默症（以下
简称“AD”）的新型检测试剂。
“以前要取脑脊液，现在只需一
滴血就能确诊是不是 AD，这样的精
准检测能在临床症状出现前识别出病
理改变，为疾病的及时干预争取黄金
时间。”熊霞介绍。
去年初，依托成熟的流式荧光技
术，赛基生物又率先研发出了阿尔茨
海默症外周血联合检测试剂盒。该产
品凭借诊断性能好，兼具高灵敏度、
高特异性、高性价比及安全无创、操
作简便等众多优势，在上个月举行的
第二十一届中国国际检验医学暨输血
仪器试剂博览会上，一举拿下“最佳
创新产品”大奖。 下转第 32 页
Enterprise Micro Time 企业微时间
洁净室 CleanRooms China 2024年 第三期 29
以来严格遵循了最严格的国际安全与
性能标准，更以其不断创新的测试方
法和高标准要求而著称。作为全球最
大的汽车集团之一，大众汽车集团在
动力电池的可靠性验证、测试周期、
测试环境和创新性的测试方法等方面
都提出了高于全球行业标准的要求，
目的是通过对产品性能极限条件测
试、安全边界探索和测试表征结果代
大众汽车电芯测试实验室
5 月 30 日，国轩高科检测实验
中心魏武路实验室正式通过大众汽车
集团电芯测试实验室认证。此次认证
是公司继 2023 年首个标准电芯实验
室认证后，获得的第二个大众实验室
认证，标志着国轩高科成为国内首个
同时坐拥两个大众认证测试中心的电
池供应商，技术实力与质量管理居全
球领先水平。
国轩高科验证工程院拥有电池材
料及零部件测试、电芯测试、系统测
试、安全可靠测试等四大测试平台，
可以实现从电池原材料到电池系统的
全尺度、全生命周期的验证测试分析，
验证能力已达全球领先水平。
* 不断创新测试方法和高标准要求
* 锂电池无尘车间环境控制
大众汽车集团的测试认证，一直
广东锂电池洁净车间装修建设项目设备入场完成
近日，由合景净化工程公司承建
的广东锂电池洁净车间装修建设项目
设备入场完成并在有序调试运行。
该企业是全国产量最大的汽车应
急启动电源电池生产企业，其自主研
发生产的聚合物锂电池产品广泛应用
于汽车应急启动电源、飞行类高端玩
具、电动自行车、储能系统等场景。
该项目总投入 90 亩分多期建设，
总计施工面积 5 层。由多个洁净室、
科研、产线、办公装修等组成，工程
体量涉巨大。锂电池项目投产后，将
为国内锂离子产品供给侧市场实现快
速增长。
公司项目经理、工程师团队积极
应对，第一时间与客户现场沟通当下
问题及未来项目的痛点与预判解决方
案。现场调动资源优势，采用立体式
物料调配体系、设备作业等等，项目
高峰期施工人员达 130 余人，实现了
项目进度统筹有序推进，施工热潮值
拉满。
合景净化工程公司始终秉持精心
筹划、匠心建造，把项目品质放在首
位，科学合理的解决客户所需，为项
目建设、为新能源行业战略，促绿色
节能发展保驾护航 !（合景净化）
表性等方面的严格把控，确保产品的
可靠性、安全性和高性能等。
德国大众负责国轩审核的 Dr.
Westerhoff 表示，深知电池验证测试
十分复杂，不同客户的电芯需求、样
品阶段各有不同。将如此多的测试业
务在一个验证中心实现，更是难上加
难。这需要依赖强大的电芯管理系统、
品质管理系统和管理层的支持。(CRC)
企业微时间 Enterprise Micro Time
30 洁净室 CleanRooms China 2024年 第三期
开启 OLED 画质新时代，
LG Display 首次推出 META Technology 2.0
LG Display 在美国拉斯维加斯首次推出了新技术——
META Technology 2.0。该技术实现目前 OLED 电视面板
中最高 3000 尼特亮度。
超越亮度极限，META Technology 2.0 实现最大
3000 尼特亮度
META Technology 2.0 技术首次在大尺寸 OLED 面板上
将亮度对比目前提升了约 42%，实现目前 OLED 电视面板
中最高 3000 尼特亮度。基于该技术，用户在任何环境下都
可体验到如亲眼所见并具丰富色彩和亮度的立体感画质。
此外，META Technology 2.0 呈现出 LG Display 追求的
自然真实画质。该技术将 META Technology 1.0 结合的 MLA
和 META Booster 分别升级为 MLA+ 和 META Multi Booster，
同时增加 LG Display 独家开发的算法 Detail Enhancer。
MLA+ ：提升画面亮度
MLA 是大幅提升画面亮度的技术，该技术实现了将
424 亿个人眼看不到的微米级凸透镜图案（以 77 英寸 4K
OLED 产品为基准）的光线最大化释放。数百亿个微透镜
需要进行均匀制作，因此该技术难度较大。
基于过去一年间积累的大量数据，MLA+ 将微透镜
图案的角度进行了优化，面板内部少量因反射而消失的光
线也可被释放到屏幕外。图像的明暗差会随着亮度提升变
得更大，使用该技术的屏幕可以更加生动地呈现出瀑布倾
泻而下的立体感以及每一滴水珠在阳光反射下的光泽。
该技术的灵感源于昆虫眼睛，也被称为蜻蜓之眼技术
(Dragonfly Eye Technology)。如同蜻蜓数百万个凸起的复
眼可看到 360 度视角一样，此种技术对应的结构可通过数
百亿个微透镜取得 160 度的宽广视角，从而为用户提供更
加准确且精细的画面内容。
META Multi Booster ：画质变得更加精致
META Booster 是一种亮度优化算法，以 MLA 技术
实现的高亮度为基础，通过精准分析观众观看的影像，以
此提高画面整体亮度和色彩表现力。视频图像中的动态
和静态场景所具有的特性有所不同。META Booster 可以
根据不同场景识别相关特性，为了更完美诠释以上特性，
META Booster 可以精确进行亮度调整并完成实时计算。
最终可为每个图像的场景特性提供优化的亮度和色彩，从
而呈现更加细腻的画质表现。
META Multi Booster 不仅提高了最大亮度 (Peak
Brightness)，还提高了色彩亮度 (Color Brightness)，使画
面更加精准呈现。该算法实现了比目前产品提高 114% 的
色彩亮度，并达到了 1500 尼特。由于色彩亮度更高，在
屏幕显示的内容中明亮部分更加明亮，黑暗部分更加黑暗，
因此其所呈现出 HDR 效果更加出色。如果要表现出在夜
空中极光闪闪发光的鲜明色彩，META Multi Booster 的优
势就可以发挥到极致。
Detail Enhancer ：呈现画质一致的准确色彩
LG Display 独家开发的 Detail Enhancer 是一种在亮态
和暗态影像下都可使屏幕呈现准确色彩的全色阶画质增强
算法。色阶是表示显示屏图像亮度强弱的指数标准，可以
简单理解为画面色彩由黑色到白色的渐变级数。屏幕色阶
越多，可以呈现明暗色彩的等级也越丰富。因此，无断层
的色阶可使得显示效果更加柔和。
一般来说，对比亮态影像（高色阶），显示屏呈现
暗态影像（低色阶）时更难以表现出准确画质。在精准
控制 3300 万个像素（以 8K 为基准）自发光的 OLED
Pixel Dimming 技术和全新的数据处理技术加持下，Detail
Enhancer 可准确传达被摄物体的固有色彩以及原作意图。
因此，用户可通过该技术欣赏到深海黑暗场景中热带鱼的
固有颜色和自由游动的细节。
Special Report 特写
洁净室 CleanRooms China 2024年 第三期 31
半导体制造业流传着一句话 ：“这不是火箭科学，但
比火箭科学难多了！”这句玩笑话背后，实则蕴含了行业
的真实写照 ：半导体制造不仅过程错综复杂，而且耗时冗
长，一个完整的制造周期往往跨越 12 至 20 周。
制造半导体初期投入资金浩大，制造流程所需设备价
格更是高昂无比。于新一轮投资周期启动前夕，单一制造
周期常持续约六年之久，且整体生产流程利润率偏低，这
意味着只有通过实现高产量方能确保盈利稳固。因此，严
控生产质量，力避废品与不良品至关重要。
水分作为半导体制造中的重大污染源之一，其不当的
湿度条件据估算可造成高达 25% 的收入损失。为确保产
品质量与产量的稳定，半导体制造流程中对湿度与温度的
监控必须尤为谨慎。维萨拉公司提供的高精度测量解决方
案，专为制造工艺中的关键环节量身打造，不仅响应迅捷，
更能灵活适应各类极端环境。本文将着重介绍湿度、水分、
微量水分、相关湿度、露点及霜点等关键参数。
高科技纳米级半导体制造
在高科技纳米级半导体制造等超纯应用中，即便在严
格去除了灰尘、油脂及其他污染元素后，微量水分的残留
仍可能成为潜在威胁，对产品质量与产量造成不容忽视的
负面影响。鉴于完全去除流程中每一个水分子几近不可能，
我们需依赖高精度的测量工具，力求将水分含量影响降至
最低。通过这些工具，我们能够实现对水分含量的精准监
控与有效管理，确保半导体制造过程达到极致的纯净与稳
定。
洁净室暖通空调
洁净室中的暖通空调（HVAC）系统，通常被安装在
空气处理装置与风扇过滤装置中。在这些系统中，水分的
潜在威胁不容忽视，它可能污染工艺过程，并与工艺过程
中的化学品发生反应，甚至会加剧静电放电（ESD）问题，
对半导体等精密制造构成重大挑战。在特定场景下，对相
对湿度的测量精度需严格控制在 +/ － 2% 以内，同时温
度测量则需达到 +/ － 0.25℃的准确度。
维萨拉变送器，凭借其可靠的性能，成为调控洁净室
内空调机的理想选择。无论是安装在通风机内部还是墙壁
准确测量半导体制造过程中的水分、湿度和温度
上，它们都能准确地监测并调节环境参数，为高科技制造
提供稳定可靠的支持。
针对洁净室多样化的工艺需求，目标湿度与温度设定
灵活多变。而维萨拉的 HUMICAP® 传感器技术，正是这
一需求的高效响应者。该技术基于先进的聚合物薄膜，不
仅响应迅速、测量准确度高，更展现出可靠的长期稳定性
与低维护需求。在维萨拉自家严格控制的洁净室环境中生
产，每一款 HUMICAP® 传感器都承载着良好的品质保证
与可靠承诺，为半导体等高科技制造领域保驾护航。
工艺管线气体质量
洁净室操作需要高质量的过程气体，监测工艺管线气
体中的湿度水平是防止水分侵蚀、保护材料免遭损失的关
键。其目标在于最大限度地降低含水率，因此，精确追踪
露点成为不可或缺的环节。在选择传感器时，迅速响应与
可靠的耐冷凝性能至关重要。它们共同构筑了可靠运行的
基石，确保即便历经长时间停机，也能助力工艺过程无缝
衔接、迅速恢复高效运转。
维萨拉 DRYCAP® 技术，依托独家的聚合物薄膜创新
技术，展现了高灵敏度与可靠的环境适应性，能够灵活应
对各类应用挑战，即便在极端环境下亦能具有长期稳定性。
其内置的净化机制，巧妙清除薄膜中不必要的残留杂质，
确保即便在次优条件下，测量准确度依然能高效保持。
维萨拉自动校准功能使用专有设计和算法，可消除环
境老化对传感器结构的影响。长期监测传感器性能有助于
传感器即时修正灵敏度波动，提高长期稳定性，从而大幅
延长传感器寿命，远超传统同类产品，并显著削弱恶劣环
境条件的负面影响。维萨拉传感器以其快捷的响应速度，
特写 Special Report
32 洁净室 CleanRooms China 2024年 第三期
能够在系统发生故障时迅速做出反应，有效预防材料损失，
确保生产过程的安全与高效。
压缩空气质量
对维护大多数工业洁净室的严苛环境而言，压缩空气
的洁净度至关重要。因此，对多余水分的控制标准会被设
定在极低阈值，力求达到露点温度低于 -80℃。通常系统
会设置多个警报级别，一旦超出此目标水平即发出警报。
维萨拉产品在整个测量范围内都经过严格测试和校准，以
确保传感器读数高度准确，降低高昂的过度干燥成本。而
维萨拉湿度传感器单元响应迅捷，即时预警，助力客户快
速识别和解决问题，保障生产环境的纯净与高效。（维萨拉）
上接第 28 页
极具新颖的技术与产品，让赛基生物迅速获得了市场
的高度认可，公司年纯收入已突破 2 亿元，且业绩连续多
年实现显著增长。曾经不起眼的小公司，已获评省级“专
精特新”企业、瞪羚企业，成为国内体外诊断行业中一颗
冉冉升起的新星。
“创新是新质生产力的核心，我们致力于成为细分领
域科技创新的领军力量。”熊霞表示，如今公司又有了新
目标——实现从抗原、试剂到服务终端的免疫检测全流程
自主研发。
从 4 小时到 20 秒的绿色升级——“确保产品真的
有效”
两层楼高的钢罐、整齐排列的管道、不停运转的传送
带、始终亮着的屏幕……上千平方米的洁净车间里，只有
两名身穿防护服的工作人员坐在操控台前。
4 月 23 日上午，记者来到“最美中国工厂”——华
润江中药谷的液体制剂车间，只见从左到右，取材、预处
理、提取、灌装、灭菌、包装、成箱、入库，道道生产工
序无缝连接，全部实现自动化。
“里面的工作人员在看什么？”记者问道。
“检测人员在比对产品中主要成分含量的数据。”华润
江中湾里制造基地液体制剂车间主任蔡润发介绍。
“检测不是在实验室做吗？”
“以前是，现在设备加了一道工序，在线检测又快又
准。”
据蔡润发介绍，车间在传输管道上新装了一批近红外
光谱仪，它们可快速观察“路过”产品的化学成分，分析
其主要成分的含量和比例。
“以参灵草口服液为例，这道工序只用 20 秒就能识
别出其主要成分腺苷和皂苷的含量是否达到 30mg/100ml。
若没达标，则会将这一批次产品返回上一道工序，并将实
际数值反馈到控制台。”
以往这个车间的成品检测为人工抽检，在实验室进
行，需 4~6 小时出结果。如今，实验室抽检变为在产线上
全检，且 20 秒内就能完成。
“加一道工序，检测范围全覆盖，精准度更高，时间
也缩减至原来的 1/720，可实现高效率的品控，确保产品
品质。”蔡润发介绍。
近红外光谱技术是近 20 年发展较快的新型分析检测
技术，具有快速、简便、准确和不破坏样品等特点，已广
泛应用于农业、食品、石油化工等行业。近年来，该技术
被引入到中药领域，在中药的定性鉴别和定量分析等研究
上取得了一些进展。
2023 年 9 月，中国仪器仪表学会标准化工作委员会
发布关于拟立项（中药药材质量均一化数据的测量 近红
外光谱法）CIS 标准的公示通告。而早在 2021 年，江中
药谷就引进了近红外光谱仪，并迅速将其“嫁接”在产线
上，与实验室检测同步开展数据比对，不断提高该设备的
准确性、稳定性。
如今，在部分医药生产企业才刚引入这道工序时，江
中药谷就已经完成了所有的前期试验，确定了每一个产品
的数据模型，并计划于今年 10 月将其投入全部产线。
先行先试的场景，在液体制剂车间并不少见。百米
外的分离纯化区，同样通过“加装”新工序实现了更为绿
色化、智能化的生产。
“传统的提纯是用高速离心技术把杂质分离出来，而
我们在此基础上加装了一层真空吸入膜，把已去杂质的产
品再超滤一遍，筛出大分子杂质等无效成分，最大限度地
保留有效成分。”蔡润发告诉记者，这项自主研发的工序
已获国家专利，为江中药谷的“精益制造”金字招牌再添
光彩。（洪观新闻记者 陈茜 文 / 图）
洁净室 CleanRooms China 2024年 第三期 33
CRCC 2024 (Shanghai) Products Showcase 长三角洁净技术高峰论坛(上海)产品荟萃
TSI®
AeroTrak™+ 便携式粒子计数器 A100 系列
—适用于生物制药与电子半导体行业的洁净室认
证、监测以及包括气体测试和高
效过滤器检漏在内的各项专门任
务，并且能够分析产生原因。可见
度高的指示状态 - LED 灯条可在 20
米 / 360°范围内清晰可见 ；符合
GMP 法规的用户控制权限 ；内置
体积校正系数使得气体采样体积更为精准 ；自动生成 ISO
14644-1 和 GMP （欧盟 GMP 和中国 GMP）报表和包括
TrakPro™ Lite Secure 在内的工作流程软件 ；高效过滤器
检漏和调查诊断模式 ( 视听双重模式 ) ；ISO 21501-4 校准
要求 ；支持 WiFi® 连接 ；业内最佳 5 年激光质保 ；适合各
种用途 - 机身采用易于清洁的不锈钢外壳 ；通过 4-20 mA
数据模拟输出信号和环境传感器输入配件，简单便捷地的
集成入第三方系统 ；最新 TrakPro™ Lite Secure 软件支持
多种仪器报告。
美国 TSI 公司
28.3L 尘埃粒子计数器 SX-L110T
该产品是我司研发的新一代触摸屏尘埃粒子计数
器， 采 样 气 量 为 28.3L/min±5%
（1CFM），粒径通道支持 0.1μm，粒
径分布误差 ≤±30%，示值浓度误差
≤±30%FS，自净时间 ≤10min， 重
复性相对误差 ≤10%FS，采样浓度
35000 颗 / 升。仪器采用 7 寸彩色触
摸屏，直流无刷鼓风机，连续工作
稳定 ；内置数字流量传感器 ；内置热敏打印机进行采样数
据打印；支持审计追踪功能，长期的数据存储及 U 盘导出；
可存储 1~10，000 组测量数据，可查询；拥有三级管理权限，
根据操作员、审核员和管理员身份不同设置独立密码和操
作权限 ；可预先设置采样区域、等级标准、粒径选择 ；通
过 GMP 静态、GMP 动态、ISO14644-1 洁净度判定。产
品广泛应用于洁净室洁净度检测，电子、光学、化学、食
品、化妆品、医药卫生、生物制品、航空航天洁净室的日
常维护监测，测量空气中悬浮粒子的
数量。
28.3L 尘埃粒子计数器 SX-L310A
该产品是我司研发的新一代触
摸屏尘埃粒子计数器，采样气量
为 28.3L/min±5%（1CFM）， 粒 径
分布误差 ≤±30%，示值浓度误差
≤±30%FS，自净时间 ≤10min，重复
性相对误差 ≤10%FS。仪器采用 7 寸彩色触摸屏，采用直
流无刷鼓风机，连续工作稳定 ；充足电可连续使用超 12
小时。内置热敏打印机进行采样数据打印，支持审计追踪
功能，支持长期数据存储及 U 盘导出，数据通讯接口支
持 RS485、网口、WIFI 等。可通过设置报警参数实现颗
粒数报警。拥有三级权限，可根据操作员、审核员和管理
员不同身份设置独立密码和操作权限。可预先设置采样区
域、等级标准、粒径选择。可存储 5 百万条普通采样数据、
1 百万条 UCL 采样数据、1 千万条审计追踪数据。产品广
泛应用于洁净室洁净度测试，电子厂、药厂洁净室日常维
护监测，测量空气中的悬浮粒子。
苏州苏信环境科技有限公司
WACKER®
DA 强效防霉醇型硅酮密封胶
醇型环保，零甲醛，低气味，通过 DIN EN
ISO 846 认证，适合洁净室等相关区域的应用，
通过德国 GEV EC1 PLUS 认证和法国 A+ 测试，
更环保，强效防霉抗菌，通过 GB/T 1741-2020
15 倍（420 天）0 级防霉时效测试，表观亮丽，
耐水易清洁，弹性高，延伸率好，抗位移能力强，
快速固化。适用场合 ：DA 常用于高品质家装潮
湿区域的防霉密封。例如 ：浴缸 / 淋浴房，台盆，
水槽，马桶等多种潮湿场景的防霉密封、修补、填缝等应
用，可用于医疗场所的防霉密封。
WACKER®
FA 强效抑菌防霉密封胶
抑菌防霉，通过GB/T21866-2008抑菌标准（Ⅰ
级）测试，通过 GB/T 1741-2020 16 倍（448 天）
0 级防霉时效测试，通过 DIN EN ISO 846 认证，
适合洁净室等相关区域的应用，绿色环保，通过
德国 GEV EC1 PLUS 认证和法国 A+ 测试，低
VOC，零甲醛，通过 NSF S2 非食品直接接触认
证，符合 FDA( 水性 ) 食品接触级标准，抗黄美
观，凭借优异的配方设计，完全固化后，胶条不
易黄变。快速固化，抗拉耐用，位移能力达 25 级，
粘接出色。适用场合 ：FA 常用于家装厨房，卫生间及需
要防霉处理的环境。例如 ：浴缸 / 淋浴房，台盆，水槽，
马桶等多种潮湿场景的防霉密封、修补、填缝等应用，可
用于医疗场所，亦可用于酒吧，面包房，食品店，咖啡厅
等食品加工及食品建筑领域的周边防霉密封应用。
瓦克化学（中国）有限公司
快速门 GM300
自修复功能 ：当门受到撞击后，无需借助任何工具只
需要上升一次，便可自动修复，降低维护成本 ；抗风性
长三角洁净技术高峰论坛(上海)产品荟萃 CRCC 2024 (Shanghai) Products Showcase
34 洁净室 CleanRooms China 2024年 第三期
油，超低金属离子及其
他金属污染物 ；采用大
孔容尘技术，强力颗粒
吸附 , 有效防止擦拭落
屑残留于玻璃表面，布
面蓬松，吸水力强。尤
其适合用于晶圆制造光
罩制造无尘室制程擦拭 ；产品在 10 级无尘室生产和包装，
低颗粒，低纤维、低不挥发残留物 NVR 和离子的污染，
应用于 ISO Class 3-8 级洁净室。
苏州迈思徳超净科技有限公司
文丘里阀
文丘里阀特有的压力无关性，在阀门安装时无需在阀
前后设置直管段。还具有快速响应、精确控制、低噪音、
防腐、防火等特性。圆形阀
体结构，阀门有锥体组件，
该组件随时根据系统压力实
时调整文丘里阀的打开截面
积使空气流量一直都保持在
设定值。
产品特性 ：风量控制精度 ：≤ 控制风量的 ±5% ；稳
定控制 ： < 5% 振荡 ；压力范围 ： 150-750Pa ；高速反应，
压力无关响应时间 ：＜ 1 秒 ；变风量文丘里阀的可调比 ：
DN200: 不小于 19:1 ；DN250: 不小于 20:1 ；DN300 ：不小
16:1 ；DN350 不小于 12:1 ；文丘里阀标定点不得少于 50
个点 ；文丘里阀按类型可分为 ：定风量文丘里阀、变风
量文丘里阀、双稳态文丘里阀 ；文丘里阀按规格可分为 ：
D100、D200、D250、D300、D350，以及组合多阀。
深圳市新景环境技术有限公司
5nm 芯片黄光制程光源 TK-T8-535
新型纳米光转化材料的应用为特定光线定制化带来了
可能，台佳株式会社为芯片黄光制程开发的黄光光源，采
用了新型 mini-LED 蓝光灯
激发辐射波长为 585nm 的
纳米材料。由于纳米材料的
高 转 化 率， 搭 配 针 对 430-
470nm 的光吸收材料，获得
了 535nm 的截止波段的优质黄光，在芯片黄光制程中完
美的解决了 5nm 制程对光源的特殊要求。科技的进步不
仅带来了高光效，而且在寿命、发热等方面都优于传统
LED 黄光源。
日本台佳株式會社
能 ：门两侧 PE 轨道内
设有门帘滑块，此种设
计的门帘可抵御最高
120km/h 的风压 ；轨道
结构 ：采用优质镀锌钢
板制成，整门的设计使得清洁异常简单，无卫生死角，可
以根据客户要求喷涂不同颜色 ；满足频繁通道使用的特殊
需求 ：高速开启及关闭、高使用频率、易于清洁、改善工
作环境。
捷曼（天津）智能科技有限公司
KYE 外转子 EC 直流离心风机 KYE-315ll
通田 EC 风机风量大，噪音低，效率高，无极调速。
在运行过程中不管哪
个档位运行，风机始终
运行的高效区域。真
正做到最大化节能（这
里面分风机高效区域
宽广和 EC 一级节能电
机调速后电机效率接
近高效区），是实验室行业风机迭代的最佳选择。
苏州通田通风设备有限公司
12 寸 FAB 制程专用无尘布
超细纤维弯曲刚性小又柔软拭净力强，超强表面吸附
力，有效包裹灰尘与水分，
污物不 会残留在擦拭布表
面，擦拭效果极佳 ；专利水
洗工艺，手感轻盈细腻，柔
软度高，反复擦拭不刮伤产
品，为高端产品提供理想的
洁净度 ；非对称微纤维结
构能快速使顽固粘附的污染物从产品接触表面和部件上脱
落、截留和去除 , 无需 IPA, 只要纯水就可以 , 减少 IPA 残
留带来的风险 ；高密度、超光滑的特点最大限度地减少了
微米颗粒的脱落，并在用于重型设备清洁任务时，实际
上消除了设备表面 >0.50 微米 FM 的脱落 ；产品在 10 级
无尘室生产和包装，低颗粒，低纤维、低不挥发残留物
NVR 和离子的污染，应用于 ISO Class 3-8 级洁净室。
半导体 CMOS 专用款无尘布
用 100% 完全连续的聚酯纤维 ( 涤纶长丝 ) 编织而成，
布面纹理清晰，耐磨性强 ；良好的吸收溶剂和耐化学品的
能力，可兼容多种溶剂 ；在清理顽固脏污和较大颗粒方面
有良好的擦拭效果，擦拭不起雾不掉尘，不起毛丝 ；无硅
洁净室 CleanRooms China 2024年 第三期 35
CRCC 2024 (Shanghai) Products Showcase 长三角洁净技术高峰论坛(上海)产品荟萃
LED 直管白光 / 黄膜光源——电子洁净厂房提供超高光效
的照明
采用玻璃灯管本体，透光率高，散热性能优越，真正
的长寿命设计。通过 RG0 蓝
光危害检测。白光产品从光
效 100lm/W 到 180lm/W 各 系
列齐全，量产的最高光效可达
200lm/W，黄光产品采用日本
进口黄膜过滤 500nm 以下波
长，性能持续稳定，经久耐用，确保满足工艺要求。为高
能耗、高照度需求的电子车间提供满足照度需求的高效照
明光源。黄光光源适用于电子厂房、洁净空间、半导体工
厂、PCB 工厂、芯片工厂等对 UV 等有要求的场所
LED 上检修洁净灯——高大空间洁净室照明解决方案
金属框架 + 透光板设计，减少灰尘累计，满足万级洁
净厂房使用。上夹层安装及检
修，200kg 承重结构，可搭配
2 支、3 支 LED 直管光源，解
决不同照度需求高空间洁净
室照明需求。专业设计配置检
修开关，解决维修时的痛点。
在灯具的结构设计上优化处理，解决灯具与龙骨安装上的
痛点，极大的为安装和后续维修提供便利。用于 8m 及以
上高空间洁净室照明产品
Panasonic 松下电器
LED 防水洁净面板灯 YJHN 虹系列（IP67）
固定式 LED 防水洁净灯，满足洁净室照明需求，适
用于医药厂房、食品加工车间、电子厂房等洁净室。国内
首取得 CQC 颁发通过 IP67 认证的 3C 证书 ；国内首家独
创的双液槽密闭
结构技术的全防
水室内洁净灯；
灯具采用三合一
安装方式 ：正面
螺丝固定、背部
支架固定、背部强磁固定 ；灯具通过耐 VHP、盐雾、抗
UV 技术要求 -GB/T 33721-2014、GB/T 2423.17-2008 ；灯
具通过《满足洁净室灯具技术要求》-GB/T 24461-2009 ；
灯具满足统一眩光指数小于 19 的技术要求 -IESLM-19 ；
灯具满足蓝光危害等级为 0、满足电磁兼容型式实验要
求 -GB7625.1-2012、GB/T 17743-2017、GB 7000.1-2015、
GB 7000.201-2008+GB 7000.1-2015 ；灯具满足高温环境老
化实验 -GB/T 16422.3-2017、GB/T 9468-2008 ；
LED 嵌入式洁净天棚灯 YJGP 冠系列
固定式 LED 防水洁净灯，满足洁净室照明需求，适
用于医药厂房、食品加工车间、电子厂房等洁净室。国
药工程与云镜照明联袂发明专利产品 ；国内首创的创新
型拼接模块化安装方式 ；《生物安全疫苗生产车间建筑技
术规范》指定照明设备 ；可满足定制化需求，最大尺寸
40000*1180，最大功率 1000w，覆盖所有洁净照明需求 ；
灯具下沿与顶板平齐，简洁美观 ；灯具正面防护 IP65，
满足洁净室气密性要求。
深圳市云镜照明科技有限公司
NSP 623 AS 专业无溶剂环氧自流平防静电面漆
本产品是一款专业无溶剂型双组份环氧防静电自流平
面漆，施工完成后表
面平整美观。可搭配
不同导电中涂层，满
足防静电 ( 静电耗散
型 / 导静电 ) ；功能人
体电压 <50V、摩擦电
压 <100V，静电衰减时间 <0.2s;ISO Class4 级洁净标准，
符合十级洁净度要求；耐磨、耐压、耐冲击；耐酸、碱、盐、
油类腐蚀，特别耐强碱性能好。
NSP FJD 水性聚氨酯防静电砂浆
本产品是由高性能聚氨酯与高强度无机胶凝材料相
互杂化融合而成的自
流 平 砂 浆 地 坪 材 料。
水性气味低，VOC 未
检出，食品级涂料产
品 符 合 防 静 电 标 准，
电 阻 稳 定， 盲 点 率
低 ；通过国标不发火花的测试，防火防爆 抗折强度达到
18MPa 以上，设计锚固槽工艺，杜绝开裂 ；抗压耐重载、
耐磨、防腐等综合性能优异，使用寿命长达 15 年以上 ；
经过 AGV 车生产厂家长期严苛的测试和大量客户应用
案例。
立邦涂料 ( 中国 ) 有限公司
新品橱窗 Products Showcase
36 洁净室 CleanRooms China 2024年 第三期
Advertiser 广告商名称 网址 页码
丰达净化 www.jsfdcg.com BC
FILTER TECH 菲泰克 www.filter-tech.net 27
捷曼门业 www.gemlin.com 8
Nepcon Asia 2024 亚洲电子生产设备暨微电子工业展览会 www.nepconasia.com IFC
Myesde 迈思德 www.myesde.com 10
青岛众瑞 www.zryq.cn IBC
Totim 通田 www.totim.com.cn 9
VEEYEE 惟怡新材料 www.tayka.co.jp 26
新景环境 www.xjvav.com 18
秀珀化工 http://project.nipponpaint.com.cn 20
云镜照明 www.yjledcn.com 19
行政及销售人员 Administration & Sales offices
行政人员 Administration 销售人员 Sales Offices
香港总部
ACT International ( 雅时国际商讯)
Unit B, 13/F, Por Yen Building,
No. 478 Castle Peak Road, Cheung Sha Wan,
Kowloon, Hong Kong
Tel: 852 2838 6298
出版总监
Adonis Mak ( 麦协林), adonism@actintl.com.hk
管理编辑
Yeva Zhang (张彦雯), yevaz@actintl.com.hk
技术编辑
Lance Jiang (蒋小旌), lancej@actintl.com.hk
品牌/产品经理
Sophie Peng (彭珊), sophiep@actintl.com.hk
华南区销售经理
Annie Liu (刘映妮), anniel@actintl.com.hk
华东区销售经理
Season Ji (季一民), seasonj@actintl.com.hk
全球销售总监
Simon Lee (李若龙), simonlee@actintl.com.hk
中国区销售总监
Charles Chang (常磊), charlesc@actintl.com.hk
Clon Luo (罗文龙), clonl@actintl.com.hk
中国区销售经理
Abin Jia (賈志兵), abinj@actintl.com.hk
Hatter Yao (姚丽莹), hattery@actintl.com.hk
广告索引 Advertisers Index
www.cleanrooms-china.com
技术文章
1. 文章主题清析明确，紧扣杂志涵盖范围，內容结构严谨 ；
2. 文字数在 3500 以内及最好附上英文版原稿字数在 2000 以内 ；
3. 文章最好配有 2-4 幅与内容相关的插图或表格 ；插图与表格分
别用图 1、或表 2 等注明 ；
4. 请注明作者姓名、职务及所在公司或机构的名称 ；作者人数以
四人为限 ；
5. 请勿一稿多投 ；
6. 投稿一经接受及刊登 , 版权归《洁净室》/ACT 所有。
欢迎投稿
新产品 / 新闻
1. 内容属实 ；新闻及时 ；可附插图。
2. 有关新产品来稿的内容应包含产品的名称、型号、功能、主要
性能和特点、用 途 ；
3. 短小精悍（中英文字数分别不超过 500 和 250 字）；
4. 来稿请附产品照片，其分辨率不低于 300dpi。
优先刊登中文来稿（翻译稿请附英文原稿）。如果您有什么意见或
建议，或者有什么想 法要同本刊编辑探讨，请不吝指教。
来稿请寄给本刊编辑 张彥雯 电子邮件 ：yevaz@actintl.com.hk 电话 ：(86) 21 62511200 查询 ：crc-editorial@actintl.com.hk
